技术特征：
技术总结
本发明提供银合金靶材、薄膜及其制备方法，该银合金靶材构成为AgxInyMzQn,其中铟的比例为8％≤y≤40％(原子比)，M为锡、金、铂、钯、铌、铑、钌中的至少一种元素，0≤z≤8％(原子比)，Q为稀土元素中的至少一种元素，0≤n≤3％(原子比),且银的含量x≥60％(原子比)。该银合金靶材可由磁控溅射镀，离子溅射镀、真空蒸镀或电子束蒸发制得具有优良耐热性、附着力、导电性、耐腐蚀性及抗硫化性的银合金薄膜，适用于反射电极膜、液晶显示器、光记录介质、有机发光二极管及电致变色等领域。
技术研发人员：许冰文;陈支勇;国星;黄嵚甫
受保护的技术使用者：吉晟光电(深圳)有限公司
技术研发日：2018.10.24
技术公布日：2019.02.05