一种镀膜机的四开门真空室的制作方法

文档序号:15906065发布日期:2018-11-13 19:35阅读:345来源:国知局

本实用新型涉及一种镀膜机,特别涉及一种镀膜机的四开门真空室。



背景技术:

真空镀膜机是电弧蒸发式高真空镀膜设备,主要用于在工件表面上镀金属材料或合金材料,可以镀制TiN、TiC等超硬膜;Al、Ag、Cu等高温低温耐腐蚀膜或不锈钢铜、黄铜等装饰保护膜,在机械、化工、冶金、轻工、电子等领域广泛的使用。

现有的绝大多数真空镀膜设备其原理采用蒸发镀膜,工作流程为将工件放置于真空室内的工件架上,启动真空镀膜设备,使被镀材料蒸发成气态并在工件表面上凝结成膜,再经高温热处理后,在工件表面形成附着力很强的膜层,从而对真空室内的工件进行镀膜,待镀膜完毕后,把真空室内已镀膜的产品从工件架上取出再把下一批需要镀膜的产品放置在工件架上,如此循环工作。完成将工件从工件架上取出再把下一批需要镀膜的产品放置在工件架上的过程需要一定的时间,若真空室的空间越大,则安装、拆卸时间也就越长,同时镀膜机也一直处于等待状态,如此生产效率便十分低。



技术实现要素:

本实用新型的目的是提供一种结构设计合理且可以提高生产效率的镀膜机的四开门真空室。

本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的:一种镀膜机的四开门真空室,包括真空室本体,其特征在于:所述真空室本体内设置有第一容纳腔,所述第一容纳腔设有一对对应的开口,各所述开口的左、右两侧均铰接设置有与该开口相封闭适配的一对室门,各所述室门设置有第二容纳腔,各所述第二容纳腔垂直设置有工件架,所述工件架包括底座、固定杆以及放置盘,各所述固定杆垂直等间距设置于底座上,各所述放置盘套设于固定杆。

通过采用上述技术方案,每一个开口任意一侧室门与真空室本体进行工作时,另外每一个开口另一侧的室门可装卸工件,由此节省了一半的工作时间,提高了生产效率,再者一个固定杆可以等间距套设多个放置盘,并且放置盘大小可以不等,如此可以大幅度提高产量,并且合理的利用空间,同时在同个生产时间内可以对大、小工件同时镀膜,增加了生产效率。

进一步设置为:所述底座正对第二容纳腔底壁一面设置有旋转机构,所述旋转机构包括主轴,所述主轴一端设置于底座上,另一端作为动力输入端穿过第二容纳腔的底壁且裸露在室门外。

通过采用上述技术方案,电机驱动主轴转动,主轴带动底座转动,固定杆带动放置盘随之公转,使得在放置盘上的工件表面镀膜膜层厚度分布均匀。

进一步设置为:所述旋转机构包括从轴以及大齿轮,所述大齿轮包括供主轴穿设的穿孔以及用于固定大齿轮的固定柱,所述穿孔与大齿轮同轴设置且直径大于主轴直径,所述固定柱一端与大齿轮固定连接,另一端与第二容纳腔的底壁固定连接,各所述从轴一端套设于固定杆,另一端穿过底座且设置有小齿轮,所述小齿轮与大齿轮相啮合。

通过采用上述技术方案,主轴驱动底座转动,从轴随之公转,同时小齿轮沿着大齿轮运动,从而固定杆带动放置盘自转,实现了放置盘随底座公转的同时并进行自转,使工件表面镀膜膜层厚度分布均匀,同时保证了工件的质量。

进一步设置为:所述固定杆靠近与从轴固定连接一端端部沿径向设置有一对对应的卡脚,所述从轴与固定杆连接一端设置有供固定杆端部卡设的第一凹槽,所述第一凹槽沿径向设置有一对与卡脚相适配的卡槽。

通过采用上述技术方案,在连接固定杆与从轴时,将固定杆垂直对准从轴,固定杆端部插入第一凹槽,端部两侧的卡脚对准卡槽,如此可以方便安装与拆卸,同时保证了固定杆与从轴之间连接的稳定性。

进一步设置为:所述真空室本体位于开口两侧侧壁上设置有一对对应的用于注入气体的通孔。

通过采用上述技术方案,当室门与真空室本体闭合时,通孔位置位于两个室门之间,如此可以防止两个室门内的工件架上的工件表面镀膜分布不均匀。

附图说明

图1为实施例的整体示意图;

图2为实施例中工件架的示意图;

图3为实施例中A部分的放大图。

图中:1、真空室本体;2、第一容纳腔;3、开口;4、通孔;5、室门;6、第二容纳腔;7、工件架;71、底座;72、固定杆;73;放置盘;74、旋转机构;741、主轴;742、从轴;743、大齿轮;744、固定柱;745、小齿轮;746、穿孔;747、卡脚;748卡槽;749、第一凹槽。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型作进一步详细说明。

如图1至图3所示,一种镀膜机的四开门真空室,包括真空室本体1,真空室本体1结构为长方体,真空室本体1内设置有第一容纳腔2,第一容纳腔2设有一对对应的开口3,各开口2左、右两侧均铰接设置有与开口2相适配的室门5,各开口2两侧的室门5结构为左、右半筒状,各室门5设置有第二容纳腔6,各第二容纳腔6垂直设置有工件架7,工件架7为筒状结构,且沿径向一部分在第二容纳腔6内,另一部分裸露在第二容纳腔6外,当各开口2一侧的室门5向真空室本体1闭合时,工件架7裸露在第二容纳腔6外的的部分放置在第一容纳腔2内,工件架7包括底座71、固定杆72以及放置盘73,底座71为圆盘结构,各固定杆73沿底座71周向垂直等间距设置于底座71,各放置盘73套设于固定杆72,底座71面向室门5底壁一面设置有旋转机构74,旋转机构74包括主轴741、大齿轮743以及从轴742,大齿轮743包括穿孔746以及固定柱744,穿孔746与大齿轮743同轴设置且直径大于主轴741直径,固定柱744一端与大齿轮743固定连接,另一端与第二容纳腔6的底壁固定连接,主轴741一端设置于底座71上,另一端作为动力输入端依次穿过穿孔746与第二容纳腔6的底壁且裸露在室门5外,各从轴742一端套设于固定杆73,另一端穿过底座71且设置有小齿轮745,小齿轮745与大齿轮743相啮合,真空室本体1位于开口3两侧侧壁上设置有一对对应的用于注入气体的通孔4。

将工件放置于室门5内的工件架7上,各开口3一侧的室门5与真空室本体1相闭合,电机驱动主轴741转动,启动蒸发电源对真空室本体1内的工件进行镀膜,同时将上一批已经镀膜的工件从各开口3另一侧的室门5内的工件架7上取下并换上未镀膜的工件,待镀膜完毕后,各开口3另一侧的室门5向真空室本体1闭合并进行镀膜,将如此循环工作。

本具体实施例仅仅是对本实用新型的解释,其并不是对本实用新型的限制,本领域技术人员在阅读完本说明书后可以根据需要对本实施例做出没有创造性贡献的修改,但只要在本实用新型的权利要求范围内都受到专利法的保护。

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