双面镀膜设备及其载板检测单元的制作方法

本实用新型涉及光伏组件制造设备技术领域，特别涉及一种双面镀膜设备及其载板检测单元。

背景技术：

目前，双面镀膜设备中，电池片在整个传输过程中由载板进行承载。

如图1、图2及图3所示，载板01为一个框体结构，对电池片的边缘进行支撑定位，以便于对电池片的上下面进行镀膜。载板01由底板011与盖板 013组成。电池片放在载板底板011的凹槽012上，再用盖板013通过定位销与孔安装在底板011上，将电池片固定。盖板013上具有沉积窗口014。

如图4所示，双面镀膜设备中，沿载板01的工艺流程方向为依此经过进片腔03、前置隔离腔04、前置缓冲腔05、工艺腔06、后置缓冲腔07、后置隔离腔08及出片腔09，由于电池片很薄，仅有180um-200um，在镂空的载板 01上，电池片仅四周与载板01接触，其他部位完全悬空。载板01进入进片腔03内后，进行真空工艺操作，需要对进片腔03进行抽真空操作。由于抽气出口安装在进片腔03底部，抽真空时，电池片上表面与下表面具有压差，电池片极易在此道工序内破碎。并且，进片腔03内还会对电池片进行加热，加热过程中，因载板01或电池片变形也会导致电池片破碎。由于工艺腔06 内为双面镀膜，具有上镀膜装置061及下镀膜装置062，如果载板01中电池片破碎，载板01的中间会有一个缺口。镀膜工艺时，上镀膜装置061的膜层会通过缺口绕镀到电池片的下表面，而下镀膜装置062的膜层又会绕镀到电池片的上表面，导致该板缺口附近的电池工艺失败，无法保证镀膜效果。

因此，如何确保镀膜效果，是本技术领域人员亟待解决的问题。

技术实现要素：

有鉴于此，本实用新型提供了一种载板检测单元，以确保镀膜效果。本实用新型还公开了一种具有上述载板检测单元的双面镀膜设备。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种载板检测单元，包括：

用于设置在工艺腔之前的工作腔；

设置于所述工作腔内，用于检测载板内是否有碎片的检测装置。

优选地，上述载板检测单元中，所述检测装置为回归反射型检测装置，其包括用于设置在所述载板一侧的传感器及用于设置在所述载板另一侧的反射器。

优选地，上述载板检测单元中，所述传感器设置于所述工作腔的底部，所述反射器设置于所述工作腔的顶部。

优选地，上述载板检测单元中，所述检测装置为对射型检测装置，其包括用于设置在所述载板一侧的发射器及用于设置在所述载板另一侧接收器。

优选地，上述载板检测单元中，所述发射器设置于所述工作腔的底部，所述接收器设置于所述工作腔的顶部。

优选地，上述载板检测单元中，所述工作腔内具有带动所述载板移动的传动轮；

所述检测装置固定设置于所述工作腔内。

优选地，上述载板检测单元中，所述检测装置设置于所述工作腔的前侧；

所述工作腔的前侧为所述载板进入所述工作腔的一侧。

优选地，上述载板检测单元中，所述检测装置的数量为多个且与所述载板的电池片列数相同；

沿所述载板的传输方向排列的所述电池片为一列。

本实用新型还提供了一种双面镀膜设备，包括如上述任一项所述的载板检测单元。

优选地，上述双面镀膜设备中，所述工作腔为前置隔离腔或前置缓冲腔。

从上述的技术方案可以看出，本实用新型提供的载板检测单元，通过在工作腔内设置检测装置，以便于对工作腔中的载板内是否有碎片进行检测。由于工作腔设置在工艺腔前，通过上述设置，有效避免了具有碎片的载板进入工艺腔，避免碎片落到工艺腔的下镀膜装置上，确保了镀膜效果。

本实用新型还提供了一种双面镀膜设备，包括载板检测单元，载板检测单元为如上述任一种载板检测单元。由于上述载板检测单元具有上述技术效果，具有上述载板检测单元的双面镀膜设备也应具有同样的技术效果，在此不再一一累述。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为现有技术中的一种载板的结构示意图；

图2为现有技术中的一种载板底板的结构示意图；

图3为现有技术中的一种载板盖板的结构示意图；

图4为现有技术中的双面镀膜设备的结构示意图；

图5为本实用新型实施例提供的双面镀膜设备的结构示意图；

图6为本实用新型实施例提供的载板检测单元的主视结构示意图；

图7为本实用新型实施例提供的载板检测单元的俯视结构示意图；

图8为本实用新型实施例提供的载板检测单元的第一状态结构示意图；

图9为本实用新型实施例提供的载板检测单元的第二状态结构示意图；

图10为本实用新型实施例提供的载板检测单元的第三状态结构示意图；

图11为本实用新型实施例提供的载板检测单元的第四状态结构示意图。

具体实施方式

本实用新型公开了一种载板检测单元，以确保镀膜效果，提高镀膜效率。本实用新型还公开了一种具有上述载板检测单元的双面镀膜设备。

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

如图5所示，本实用新型实施例提供了一种载板检测单元，包括：用于设置在工艺腔6之前的工作腔；设置于工作腔内，用于检测载板1内是否有碎片的检测装置。

本实用新型实施例提供的载板检测单元，通过在工作腔内设置检测装置，以便于对工作腔中的载板1内是否有碎片进行检测。由于工作腔设置在工艺腔6前，通过上述设置，有效避免了具有碎片的载板1进入工艺腔6，避免碎片落到工艺腔6的下镀膜装置62上，确保了镀膜效果。

可以理解的是，工艺腔6的上部设置有上镀膜装置61。

优选地，在本实施例中，检测装置为回归反射型检测装置，其包括用于设置在载板1一侧的传感器42及用于设置在载板1另一侧的反射器41。通过上述设置，提高了检测装置对载板1的检测效果。

在本实施例中，传感器42设置于工作腔的底部，反射器41设置于工作腔的顶部。通过上述设置，方便了传感器42与反射器41的布置，简化了载板检测单元的结构。可以理解的是，受重力作用，载板1下方的碎片更易脱落。

也可以在工作腔内设置支架，支架与工作腔的内壁(底部、顶部或侧壁) 连接，检测装置的传感器42与反射器41中的一个或全部设置于支架上。

在另一种实施例中，检测装置为对射型检测装置，其包括用于设置在载板1一侧的发射器及用于设置在载板1另一侧接收器。通过上述设置，同样提高了检测装置对载板1的检测效果。

优选地，发射器设置于工作腔的底部，接收器设置于工作腔的顶部。通过上述设置，方便了发射器与接收器的布置，简化了载板检测单元的结构。

也可以在工作腔内设置支架，支架与工作腔的内壁(底部、顶部或侧壁) 连接，检测装置的发射器与接收器中的一个或全部设置于支架上。

还可以将检测装置设置为反射式检测装置、电感检测装置、电容式检测装置、光电检测装置、激光检测装置或光纤传感器。

如图6所示，工作腔内具有带动载板1移动的传动轮2；检测装置固定设置于工作腔内。利用传动轮2带动载板1移动，进而实现了载板1与检测装置的相对运动，在便于检测的基础上，简化了载板检测单元的结构。

当然，也可以在工作腔内设置移动装置，以便于带动检测装置相对于载板1运动。

如图8、图9、图10及图11所示，检测装置设置于工作腔的前侧；其中，工作腔的前侧为载板1进入工作腔的一侧。通过传动轮2带动载板1移动，实现了对进入工作腔的载板1的检测，以便于沿载板1的传输方向对电池片进行依此检测。

如图7所示，检测装置的数量为多个且与载板1的电池片列数相同；沿载板1的传输方向排列的电池片为一列。通过上述设置，以便于使得每个检测装置与载板1上的每一列电池片对应设置，该检测装置可以检测到该列电池片是否有破碎。通过上述设置，有效简化了载板检测单元的结构，并且，提高了检测效率。

也可以设置一个检测装置，通过设置移动装置，带动检测装置沿载板1 上电池片的一行排列方向(垂直于一列排列方向)移动。还可以使检测装置的数量多于载板1的电池片列数，在此不再一一累述且均在保护范围之内。

本实用新型实施例还提供了一种双面镀膜设备，包括如上述任一种载板检测单元。由于上述载板检测单元具有上述技术效果，具有上述载板检测单元的双面镀膜设备也应具有同样的技术效果，在此不再一一累述。

如图6所示，双面镀膜设备中，载板1的工艺流程方向为依此经过进片腔3、前置隔离腔4、前置缓冲腔5、工艺腔6、后置缓冲腔7、后置隔离腔8 及出片腔9，进片腔3与工作腔4之间设置有第一门阀a1，工作腔4与前置缓冲腔5第二门阀a2，后置缓冲腔7与后置隔离腔8之间设置有第三门阀a3，后置隔离腔与出片腔9之间设置有第四门阀a4，以便于确保各个腔体的独立操作，避免相互干涉。

其中，工作腔为前置隔离腔4或前置缓冲腔5。当然，工作腔也可以为其他腔体，仅需确保其位于工艺腔6之前即可。

在本实施例中，工作腔为前置隔离腔4，进片腔3与前置隔离腔4之间具有第一门阀a1。检测过程如下：

当第一门阀a1打开，前置隔离腔4开始接收进片腔3的载板1时，检测碎片程序启动，检测装置对载板1进行检测。当n个检测装置的检测信号均为没有碎片时，载板1向前传输；当n个检测装置的检测信号中的一个或几个检测到有碎片时，报警并进行后续处理。如果载板1传输到位，检测装置的检测信号一直为没有碎片时，反馈该载板内无碎片。检测程序关闭，进行下一步工序。

需要说明的时，如果某个检测装置短时间内(时间*速度，传输距离小于 5mm(或其他数值))检测到有碎片时(跳变为0)，认为为传感器抖动或误判，认为没有碎片。

本说明书中各个实施例采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似部分互相参见即可。

对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。