一种磁控溅射仪的靶基距定量可控升降装置的制作方法

本实用新型涉及一种靶基距升降装置，具体涉及一种磁控溅射仪的靶基距定量可控升降装置。

背景技术：

磁控溅射仪是在真空条件下，利用磁控溅射的方法制备薄膜仪器，其样品台固定不动，不可升降，只能通过调节溅射靶升降来调节样品基片和溅射靶之间的距离，而磁控靶可调节的距离非常有限，有限的靶基距很难满足实验者进行磁控溅射镀膜的需要，而且真空室内具体的靶基距测量也非常不便，设计一种定量可控靶基距升降装置是非常必要的。

综上，现有的磁控靶可调节的距离非常有限以及真空室内测量具体的靶基距非常不便。

技术实现要素：

本实用新型为解决现有的磁控靶可调节的距离非常有限以及真空室内测量具体的靶基距非常不便的问题，进而提供了一种磁控溅射仪的靶基距定量可控升降装置。

本实用新型为解决上述技术问题采取的技术方案是：

本实用新型的磁控溅射仪的靶基距定量可控升降装置包括蜗杆1、手轮2、涡轮3、螺杆4、螺母5和支撑平台6，所述手轮2安装在支撑平台的上端面上，螺杆4的上端穿过支撑平台6与手轮2固定连接，蜗杆1的下端与螺杆4的上端固接为一体，蜗杆1与螺杆4同轴设置，涡轮3通过轴支座安装在支撑平台6的上端面上，蜗杆1与涡轮3相互啮合，螺杆4的下部螺纹连接有螺母5，涡轮3与蜗杆1的齿数比u＝20，涡轮3的一侧壁上安装有涡轮盘，涡轮盘上沿其圆周方向均布划分有20个刻度格，涡轮3的涡轮轴上设置有指针，指针的初始位置指在涡轮盘0点位置，螺杆4的导程为5mm，手轮2侧壁上沿其圆周方向均布刻有50个刻度格。

进一步地，螺杆4的螺纹外径为20mm，螺杆4的螺纹内径为17.294mm。

进一步地，螺杆4为双线螺纹，螺杆4的螺距为2.5mm。

进一步地，螺杆4的长度为100mm。

进一步地，蜗杆1的轴面模数为1mm，蜗杆1的分度圆直径为18mm。

本实用新型与现有技术相比具有以下有益效果：

本实用新型的磁控溅射仪的靶基距定量可控升降装置通过转动手轮带动螺杆一起转动，使螺母沿螺杆向上或向下运动，从而调整了靶基距范围，调节方便，靶基距调整范围大；

本实用新型的磁控溅射仪的靶基距定量可控升降装置的涡轮盘上均布划分有20个刻度格，涡轮与蜗杆的齿数比u＝20，螺杆的导程为5mm，故涡轮盘转动一格，螺母沿螺杆向上或向下运动5mm，手轮转动不是整圈时，从手轮的刻度格读取螺母移动的距离，手轮的刻度读数×0.1即为螺母移动的距离；本实用新型实现了定量控制靶基距升降，读出具体数值，方便灵活设计实验变量。

附图说明

图1是本实用新型的一种磁控溅射仪的靶基距定量可控升降装置的整体结构主视图。

具体实施方式

具体实施方式一：如图1所示，本实施方式的磁控溅射仪的靶基距定量可控升降装置包括蜗杆1、手轮2、涡轮3、螺杆4、螺母5和支撑平台6，所述手轮2安装在支撑平台的上端面上，螺杆4的上端穿过支撑平台6与手轮2固定连接，蜗杆1的下端与螺杆4的上端固接为一体，蜗杆1与螺杆4同轴设置，涡轮3通过轴支座安装在支撑平台6的上端面上，蜗杆1与涡轮3相互啮合，螺杆4的下部螺纹连接有螺母5，涡轮3与蜗杆1的齿数比u＝20，涡轮3的一侧壁上安装有涡轮盘，涡轮盘上沿其圆周方向均布划分有20个刻度格，涡轮3的涡轮轴上设置有指针，指针的初始位置指在涡轮盘0点位置，螺杆4的导程为5mm，手轮2侧壁上沿其圆周方向均布刻有50个刻度格。

本实用新型在使用时，工作台7与螺母5可拆卸连接，涡轮盘上均布划分有20个刻度格，涡轮3与蜗杆1的齿数比u＝20，螺杆4的导程为5mm，故涡轮盘转动一格，螺母5带动工作台7沿螺杆4向上或向下运动5mm，蜗轮指针数为5mm的整数倍；

手轮2转动不是整圈时，从手轮2的刻度格读取工作台7移动的距离，手轮2的刻度读数×0.1即为工作台7移动的距离；

本实用新型在使用时，磁控溅射靶台9设置在工作台7的正下方，靶台盖盖合在磁控溅射靶台9的上端面上。

工作台7上升或下降的距离＝蜗轮盘指针数×5mm+手轮刻度×0.1mm；工作台7位置调整完毕，然后通过磁控溅射仪在真空条件下利用磁控溅射的方法制备薄膜仪器。

考虑到涡轮蜗杆传动齿面间相对滑动速度较大的特点，蜗杆副的材料不但要有一定的强度，而且要有良好的减摩性、耐磨性和抗胶合能力；

蜗杆的常用材料是碳钢和合金钢，并要求齿面有较高的硬度和较小的表面粗糙度值；针对本实用新型的蜗杆1采用40或45号钢经调质处理，硬度为220～250HBW；

涡轮3采用铸铁制成。

具体实施方式二：如图1所示，本实施方式螺杆4的螺纹外径为20mm，螺杆4的螺纹内径为17.294mm。如此设计，满足螺杆4由实际装配所需要的设计参数。其它组成及连接关系与具体实施方式一相同。

具体实施方式三：如图1所示，本实施方式螺杆4为双线螺纹，螺杆4的螺距为2.5mm。如此设计，满足螺杆4由实际装配所需要的设计参数。其它组成及连接关系与具体实施方式一或二相同。

具体实施方式四：如1所示，本实施方式螺杆4的长度为100mm。如此设计，满足螺杆4由实际装配所需要的设计参数。其它组成及连接关系与具体实施方式三相同。

具体实施方式五：如图1所示，本实施方式蜗杆1的轴面模数为1mm，蜗杆1的分度圆直径为18mm。如此设计，满足螺杆4由实际装配所需要的设计参数。其它组成及连接关系与具体实施方式一、二或四相同。