一种削角磁钢的磁控溅射阴极的制作方法

本实用新型涉及真空镀膜行业，具体是一种削角磁钢的磁控溅射阴极。

背景技术：

随着社会发展，人们对产品的性能要求越来越高，因此应用而生镀膜技术，镀膜是现有社会经常用到的一种技术，镀膜实际上是在物质表面镀上非常薄的薄膜，使该物质具有耐磨、润滑、导电、光学、装饰等功能。镀膜最普遍的做法就是通过镀膜机镀膜，而使用较多的就是溅射类镀膜，在磁控溅射阴极产品中有一个很重要的指标：靶材利用率，即将一块靶材放到磁控阴极上，用过之后还剩下多少，剩下的越少，说明使用的越多，效果越好，也就是靶材利用率越高。

在授权公告号为“CN206736351U”的中国实用新型专利中，公开了一种高靶材利用率的矩形磁控溅射阴极，包括磁钢和磁轭，一个阴极包括七道磁钢，一个磁轭与七道磁钢连接等，该实用新型的设置有七道磁钢，传统的三道磁钢组件的磁场为“V”字形，而该实用新型会使得磁场转变为U字型，能够对靶面进行更大面积的刻蚀，从而提升了靶材的利用率；但是该实用新型具有以下问题：

1、采用七道磁钢，磁钢的成本会提高；

2、不适用于靶材比较窄的产品，因为没有空间放；

3、磁场调节麻烦，因为磁钢的磁场相互关联，调整任何一个都需要对其他的进行对应调节。

因此提出一种新的技术方案，来解决上述问题。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种削角磁钢的磁控溅射阴极，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种削角磁钢的磁控溅射阴极，包括主体和三道磁钢组件，所述主体的底部设置有第一支撑板，所述主体的顶部设置有上底板，所述上底板的表面设置有第一螺栓，所述主体的内部设置有三道磁钢组件，所述三道磁钢组件由第一削角磁钢、磁轭及第二削角磁钢组成，两个第一削角磁钢远离第二削角磁钢的一侧设置有阳极，所述第一削角磁钢和第二削角磁钢上端于主体的内部设置有隔膜板，所述隔膜板上放置靶材，所述靶材通过第二螺栓固定，所述隔膜板的下方设置有冷却水道。

作为本实用新型进一步的方案：所述磁轭的竖直截面形状为长方形或者其他常规形状。

作为本实用新型进一步的方案：所述磁轭的顶部周边设有第一削角磁钢。

作为本实用新型进一步的方案：所述第一削角磁钢的竖直截面为顶部至少一个内角不等于90度的多边形，如梯形、三角形、菱形等与长方形的组合。

作为本实用新型进一步的方案：所述磁轭的顶部中间设置有第二削角磁钢。

作为本实用新型进一步的方案：所述第二削角磁钢的竖直截面为顶部至少一个内角不等于90度的多边形，如梯形、三角形、菱形等与长方形的组合。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型结构简单，有效提高靶材利用率；

传统的磁控溅射阴极，无论是圆形阴极，条形阴极或者旋转阴极，内部的磁钢均为长方体的形状，因为磁力线总是沿着磁阻最小的路径分布，所以磁力线会在相邻磁钢的临近尖端处形成闭合，到达靶材表面的磁力线的形状为一个倒写的V字型，而磁力线越尖，对应的靶材利用率越低；本实用新型设置的第一削角磁钢和第二削角磁钢，会将相邻磁钢的临近尖端拉远，这样磁力线到达靶材表面时的形状是一个倒写的U字型，磁力线顶端越平整，即磁场的平行分量越多，靶材利用率越高，所以该专利磁钢结构可以有效提高靶材的利用率。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

图2为本实用新型中三道磁钢组件的俯视图。

图3为本实用新型三道磁钢组件中的一种截面组合示意图。

图4为实物剖面图。

图中：1-靶材，2-第一削角磁钢，3-磁轭，4-第二削角磁钢，5-第一支撑板，6-主体，7-上底板，8-第一螺栓，9-三道磁钢组件，10-第二螺栓，11-阳极，12-冷却水道，13-隔膜板，14-隔膜板。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1～4，本实用新型实施例中，一种削角磁钢的磁控溅射阴极，包括主体6和三道磁钢组件9，所述主体6的底部设置有第一支撑板5，所述主体6的顶部设置有上底板7，所述上底板7的表面设置有若干第一螺栓8，用来将上底板7与主体6 固定，所述主体6的内部设置有三道磁钢组件9，所述三道磁钢组件9由第一削角磁钢2、磁轭3及第二削角磁钢4组成，所述磁轭3的竖直截面形状为长方形，所述磁轭3的顶部周边设有第一削角磁钢2，所述第一削角磁钢2的竖直截面为顶部内角不全等于90度的多边形，如梯形、三角形、菱形等与长方形的组合，所述磁轭3的顶部中间设置有第二削角磁钢4，所述第二削角磁钢4的竖直截面为顶部内角不全等于90度的多边形，如梯形、三角形、菱形等与长方形的组合，相邻的第一削角磁钢2和第二削角磁钢4之间经过磁力线形成闭合磁路，两个第一削角磁钢2远离第二削角磁钢4的一侧设置有阳极11，所述第一削角磁钢2和第二削角磁钢4的上端于主体6的内部设置有隔膜板14，所述隔膜板上放置靶材1，所述靶材1通过第二螺栓10固定，所述隔膜板14能够把水封在阴极里面，所述隔膜板14的下方设置有冷却水道12，冷却水道12的顶部两侧与隔膜板14的底部连接处设置有水路13，所述水路13用来冷却靶材1；磁力线总是沿着磁阻最小的路径分布，所以磁力线会在相邻磁钢的临近尖端处形成闭合，所述第一削角磁钢2和第二削角磁钢4之间的磁力线顶端越平整，磁场的平行分量越多，靶材利用率越高，本专利的第一削角磁钢2和第二削角磁钢4，会将相邻磁钢的临近尖端拉远，这样磁力线到达靶材表面时会是一个类似于倒写的U字型，使磁场的平行分量增多，使该专利的磁钢结构大大提高靶材的利用率。

本实用新型的工作原理是：磁力线总是沿着磁阻最小的路径分布，所以磁力线会在相邻磁钢的临近尖端处形成闭合，本专利的第一削角磁钢2和第二削角磁钢4，会将相邻磁钢的临近尖端拉远，这样磁力线到达靶材表面时形状是一个倒写的U字型，磁力线顶端越平整，即磁场的平行分量越多，靶材利用率越高，所以该专利磁钢结构可以有效提高靶材的利用率。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。