真空镀膜机的制作方法

文档序号:18313768发布日期:2019-07-31 20:47阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型公开一种真空镀膜机包括镀膜筒体、抽真空装置以及向镀膜筒体内输送镀膜材料的物料供给装置。镀膜筒体围出用于盛放待镀工件的容置腔,容置腔内安装有用于承载并驱动待镀工件转动的转动架,转动架包括大转盘和位于大转盘外缘的小转盘,大转盘的外环面设有第一齿牙,小转盘通过一固定轴安装于大转盘斜上方,且固定轴外还活动地套设有第一齿轮,固定轴的外表面向外凸设有第一卡合部,第一齿轮的内环面设置有与第一卡合部相配合的第二卡合部,小转盘通过第一齿轮和第一齿牙之间的连接实现与大转盘相啮合。使得本实用新型的真空镀膜机的大转盘和小转盘二者的运动模式多样化且使用起来更加灵活。

技术研发人员:王孟良;陈春奇;陈卓;梅洪蕾;许进;周强;孟健;王孟仁;高春玲;梅艳红
受保护的技术使用者:深圳天成真空技术有限公司
技术研发日:2018.11.30
技术公布日:2019.07.30

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