一种新型磁控阴极多段式供气装置的制作方法

本公开一般涉及真空镀膜设备技术领域，具体涉及一种新型磁控阴极多段式供气装置。

背景技术：

真空镀膜，是指在真空室内材料的原子从加热源离析出来打到被镀件的表面上，真空镀膜的主要功能包括赋予被镀件表面高度金属光泽效果和镜面效果，膜层具有出色的阻隔性能，提供优异的电磁屏蔽和导电效果。被镀件表面膜层颜色是否均匀、结合力是否牢固是判断镀膜质量是否优良的重要指标之一，若被镀件表面膜层颜色不均匀或是膜层出现脱落，则被镀件将作为不合格品而被丢弃。真空镀膜工艺中，供气系统连接靶材提供氧气、氩气的混合气体，通过永磁铁轰击和阴极激励等方式，使涂覆材料微粒子运动而附着在玻璃上，现有的供气装置都是连接供气瓶，不能进行气体存储，在气体不足、气压下降更换气体瓶的时候会对镀膜的效果造成影响，针对上述问题，本方案提出了一种新型磁控阴极多段式供气装置。。

技术实现要素：

鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，期望提供一种新型磁控阴极多段式供气装置。

根据本申请实施例提供的技术方案，一种新型磁控阴极多段式供气装置，包括供气管道、入气管道、抽气装置、排气管道和固定套，所述供气管道包括若干截供气连接段，在相邻所述供气连接段的首、尾两端设有相匹配的固定螺纹，且在供气连接段之间安装固定有所述固定套；在所述供气管道上设有所述入气管道，在所述供气管道的头端安装固定有所述抽气装置，所述抽气装置的出气口与所述排气管道连接，在所述入气管道和排气管道上均安装有电磁阀门，且在所述入气管道的内部安装有滤网，在所述入气管道的内壁上设有滑槽，在所述滑槽的尾端设有固定齿，在所述滤网的外边缘上设有与所述固定齿相匹配的固定槽。

本申请中，在所述排气管道上安装有气压控制器。

本申请中，所述入气管道设置在所述供气管道的尾端。

本申请中，所述固定套为连接法兰。

本申请中，在所述滤网的外边缘上设有拉杆。

本申请中，所述滤网的直径与入气管道的管内直径相匹配。

本申请中，所述入气管道的数量为2个。

综上所述，本申请的有益效果为：便于对气体进行存储及均匀的抽送气体至气室内；供气管道上供气连接段之间可进行拆卸，便于对管道内部进行清理；滤网可以保证进入气室内气体的干净，并且滤网可进行便捷的取出更换。

附图说明

通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本申请的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1为本申请结构示意图；

图2为本申请中供气连接段的结构示意图；

图3为本申请中滤网的结构示意图；

图4为本申请中入气管道的结构示意图。

图中标号：1.供气管道、2.入气管道、3.抽气装置、4.排气管道、5.固定套、6.电磁阀门、7.滤网、1.1.供气连接段、1.2.固定螺纹、2.1.滑槽、2.2.固定齿、7.1.固定槽。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本申请作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关发明，而非对该发明的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与发明相关的部分。

需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。

请参考图1、图2、图3和图4，一种新型磁控阴极多段式供气装置，包括供气管道1、入气管道2、抽气装置3、排气管道4和固定套5，所述供气管道1包括若干截供气连接段1.1，在相邻所述供气连接段1.1的首、尾两端设有相匹配的固定螺纹1.2，且在供气连接段1.1之间安装固定有所述固定套5，所述固定套5为连接法兰。在所述供气管道1上设有所述入气管道2，所述入气管道2的数量为2个；所述入气管道2设置在所述供气管道1的尾端。在所述供气管道1的头端安装固定有所述抽气装置3，所述抽气装置3的出气口与所述排气管道4连接，在所述排气管道4上安装有气压控制器。在所述入气管道2和排气管道4上均安装有电磁阀门6，且在所述入气管道2的内部安装有滤网7，所述滤网7的直径与入气管道2的管内直径相匹配。在所述入气管道2的内壁上设有滑槽2.1，在所述滑槽2.1的尾端设有固定齿2.2，在所述滤网7的外边缘上设有与所述固定齿2.2相匹配的固定槽7.1；在所述滤网7的外边缘上设有拉杆7.2。

安装方式：各入气管道2之间先通过固定螺纹1.2扭紧，然后再用固定套5进行固定，入气管道2与供气管道1之间呈一体结构，入气管道2的尾端可以与供气瓶连接，抽气装置3的抽气口通过管道转接头与供气管道1连接，抽气装置3的出气口与排气管道4呈一体式结构。

工作流程：供气瓶的出气口与入气管道2连接，将气体输送至供气管道1的内部进行储存，抽气装置3对供气管道1内部的气体进程抽送至镀膜装置的气室内，抽气装置3可以避免当供气管道1内气体余量不足时气体的前进速度过慢影响镀膜的效果；供气管道1上各段供气连接段1.1之间可以进行拆卸，以便于长时间进行供气后进行清理工作；滤网7可通过拉杆7.2放入或拉出入气管道2，便于定期进行清理或更换。

本申请中在拉杆7.2的头端还设有拉环。

以上描述仅为本申请的较佳实施例以及对所运用技术原理的说明。本领域技术人员应当理解，本申请中所涉及的发明范围，并不限于上述技术特征的特定组合而成的技术方案，同时也应涵盖在不脱离所述发明构思的情况下，由上述技术特征或其等同特征进行任意组合而形成的其它技术方案。例如上述特征与本申请中公开的(但不限于)具有类似功能的技术特征进行互相替换而形成的技术方案。