长条型靶材的自动绑定加工设备的制作方法

本实用新型涉及一种自动化加工设备，尤其是长条型靶材的自动绑定加工设备。

背景技术：

液晶面板TFT-LCD用溅射靶材，比如平面的铝靶、钼靶、铜靶等，生产过程都有绑定这道工序，即把靶材焊接在铜背板上，焊料为铟，铜背板可以重复使用。绑定这道工序常规方法是，首先把靶材和铜背板加热，然后用超声波把靶材和铜背板的焊接表面涂铟（金属化），把焊料铟熔化覆盖在铜背板上，人工抬起靶材，翻面盖在铜背板上。

随着液晶面板行业的发展，对镀膜靶材尺寸的要求越来越大，除了铝靶比较轻，铜靶和钼靶密度比较大，靠人工抬起翻面，操作比较困难，产品质量也不稳定。

技术实现要素：

为了克服上述问题，本实用新型提供一种长条型靶材的自动绑定加工设备，实现绑定过程的自动化操作，克服人工操作的不足，并可提高生产效率。

本实用新型的技术方案是提供一种长条型靶材的自动绑定加工设备，其包括至少一个同步加热A料和B料的加热台，其特征在于：所述加热台上设置一将所述A料两端抬起的第一抬起机构，所述加热台上方可水平旋转地设置一翻转板，所述翻转板上设置有若干个用于吸附所述A料的耐高温吸盘，所述耐高温吸盘连接负压产生装置，还包括一将所述翻转板送入所述A料下方以吸附所述A料、并驱动所述B料移动至所述翻转板下方以将翻转后的所述A料叠放到所述B料上的驱动机构。

优选的，所述驱动机构包括轨道，所述加热台设置在所述轨道上，还包括驱动所述加热台沿所述轨道移动的平移电机。

优选的，所述轨道上方设置一门形的支架，所述翻转板的两端枢轴设置在所述支架的两立柱上，所述支架上还设置一驱动所述翻转板旋转的旋转电机。

优选的，至少一个所述支架的立柱上设置有带动所述翻转板上下移动的丝杠，所述丝杠与所述翻转板螺纹连接并由升降电机驱动旋转。

优选的，所述第一抬起机构包括设置在所述A料两端的支撑脚以及驱动所述支撑脚上下移动的驱动装置。

优选的，所述加热台上设置抬起所述B料的第二抬起机构，所述第二抬起机构包括设置在所述B料两端的支撑脚以及驱动所述支撑脚上下移动的驱动装置。

优选的，所述驱动装置均为电机驱动的丝杠或气缸。

优选的，所述轨道上设置多个所述加热台。

优选的，所述A料为靶材，所述B料为铜背板。

本实用新型提供一种长条型靶材的自动绑定加工设备，实现加工的自动化操作，克服人工操作的不足，并可提高生产效率。

附图说明

图1是本实用新型最佳实施例的长条型靶材的自动绑定加工设备的立体结构示意图。

具体实施方式

下面对本实用新型的具体实施方式作进一步详细的描述。

如图1所示，本实用新型提供一种长条型靶材的自动绑定加工设备，其包括至少1个加热台10，长条形（或其他板形的）的A料12和B料14在加热台10上同步加热，A料12为靶材、B料14为铜背板,并对其朝上一面进行涂抹焊料作业。加热台10上设置一将A料12两端抬起的第一抬起机构16。第一抬起机构16包括设置在A料12两端的支撑脚以及驱动支撑脚上下移动的驱动装置（未图示），驱动装置为电机驱动的丝杠或气缸。

加热台10上方可水平旋转地设置一翻转板18，翻转板18上设置有若干个用于吸附A料12的耐高温吸盘20，耐高温吸盘20连接负压产生装置（未图示），还包括一将翻转板18送入A料12下方以吸附A料12、并驱动B料14移动至翻转板18下方以将翻转后的A料12叠放到B料14上的驱动机构。驱动机构将翻转板18送至A料12下方，第一抬起机构16落下，使得涂抹焊料完成后，第一抬起机构16将A料12两端抬起，耐高温吸盘20吸附在A料12的背面，从而吸附A料12。A料12随翻转板18翻转后，叠放到B料14上，从而完成A料12和B料14的焊接工作。

具体结构上：驱动机构包括轨道22，多个加热台10设置在轨道22上，还包括驱动加热台10沿轨道22移动的平移电机24，平移电机24可以带动链条转动，加热台10连接到链条上，或者其他能实现加热台10移动的类似结构。

轨道22上方设置一门形的支架26，翻转板18的两端枢轴设置在支架26的两立柱上，支架26上还设置一驱动翻转板18旋转的旋转电机28。

2个支架26的立柱上都设置有带动翻转板18上下移动的丝杠30，丝杠30与翻转板18螺纹连接并由升降电机（未图示）驱动旋转。这样通过升降电机带动丝杠30旋转，从而带动翻转板18上下移动。翻转板18向上移动，可以抬起A料12，方便翻转板18旋转。也方便翻转板18向上顶A料12，从而使得耐高温吸盘20吸附到A料12上。翻转板18向下移动，可以将翻转后的A料12叠放到B料14上。

或者，加热台10上设置抬起B料14的第二抬起机构（未图示），第二抬起机构包括设置在B料14两端的支撑脚以及驱动支撑脚上下移动的驱动装置。通过第二抬起机构向上抬起B料14，使得翻转板18上的A料12和B料14叠放到一起。

叠放好以后，耐高温吸盘20充气，从而释放A料12，完成翻转、叠放工作，以进行后续焊接工作。

以上实施例仅为本实用新型其中的一种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。