电解装置及其印制板酸性蚀刻废液再生及铜回收设备的制作方法

本实用新型涉及将电解液电解处理的电解单元技术领域，尤其涉及一种电解装置及其印制板酸性蚀刻废液再生及铜回收设备。

背景技术：

现有处理废弃液的电解处理装置大部分是敞口状态，在电解处理废弃液时，产生的气体常会释放到空气中，有些气体是腐蚀性气体，腐蚀性气体的挥发一方面降低作业环境空气的质量，另一方面，腐蚀性气体的长期挥发会腐蚀设备，还有些是有害气体，有害气体的排放会污染环境。因此，需要研发一种密闭的电解处理装置。

技术实现要素：

针对上述现有电解处理装置在电解过程中挥发气体产生不利影响的问题，本实用新型设计一种电解单元结构，研发出一种具有密闭的阳极室和阴极室的电解单元的电解装置，在电解过程中，电解单元产生的气体不会释放出来。

为了实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种电解装置，包括压力机和电解单元；

压力机具有压持空间，压持空间内设置电解单元；

电解单元包括阳极板、阳极框、离子交换层、阴极框和阴极板；

压力机可将阳极板、阳极框、离子交换层、阴极框和阴极板依次压紧形成密闭的阳极室和阴极室。

较佳的，压力机包括抵顶部、移动部和驱动部；

抵顶部和驱动部之间设置压持空间；

移动部设置于压持空间内；

驱动部驱动移动部沿压持空间移动，将若干个所述电解单元成排压持于抵顶部和移动部之间。

较佳的，压持空间内成排设置若干个所述电解单元；

抵顶部与阳极板间设置阳极框，移动部和阳极板间设置阳极框。

或者

抵顶部与阴极板间设置阴极框，移动部和阴极板间设置阴极框

又或者

抵顶部抵接阳极板或阴极板，移动部抵接阳极板或阴极板；

较佳的，阳极板两侧为阳极框；

阴极板两侧为阴极框；

两两相邻的电解单元共用同一阳极板或阴极板。

较佳的，阳极框和阴极框都呈回形结构；

压力机可将阳极板、阳极框、离子交换层、阴极框和阴极板依次压紧，使阳极板、阳极框和离子交换层形成阳极室，使离子交换层、阴极框和阴极板形成阴极室。

较佳的，阳极框的一侧设置阳极液入口，阳极框的另一侧设置阳极液出口；

阴极框的一侧设置阴极液入口，阴极框的另一侧设置阴极液出口；

阳极液入口和阳极液出口都与阳极室连通；

阴极液入口和阴极液出口都与阴极室连通。

较佳的，电解装置还包括输液管道；

输液管道包括阳极液进液总管、阳极液出液总管、阴极液进液总管和阴极液出液总管；

阳极液进液总管与阳极液入口连通；

阳极液进液总管一端设置阳极进液阀门，另一端设置阳极排空阀门；

阳极液出液总管与阳极液出口连通；

阴极液进液总管与阴极液入口连通；

阴极液进液总管一端设置阴极进液阀门，另一端设置阴极排空阀门；

阴极液出液总管与阴极液出口连通。

较佳的，电解装置还包括阳极导电铜条，阳极导电铜条设置于阳极板顶部，阳极导电铜条一端向外延伸形成第一连接杆，阳极导电铜条另一端向外延伸形成第二连接杆，第二连接杆设置阴极绝缘头。

较佳的，电解装置还包括阴极导电铜条，阴极导电铜条设置于阴极板顶部，阴极导电铜条一端向外延伸形成第三连接杆，阴极导电铜条另一端向外延伸形成第四连接杆，第四连接杆设置阳极绝缘头。

第一连接杆与第四连接杆位于同一侧，第二连接杆和第三连接位于同一侧。

较佳的，电解装置还包括供电组件；

供电组件包括整流器、阳极导电部和阴极导电部；

第一连接杆与阳极导电部连接；

第三连接杆与阴极导电部连接；

阳极导电部与整流器电连接，阴极导电部与整流器电连接。

较佳的，阳极导电部为阳极连接铜条或阳极导电线；

阴极导电部为阴极连接铜条或阴极导电线。

较佳的，阳极导电部为阳极连接铜条，所述阴极导电部为阴极连接铜条；

所述第一连接杆与阳极绝缘头为同一高度，第三连接杆和阴极绝缘头为同一高度；

所述第一连接杆与阳极绝缘头都与阳极连接铜条连接；

所述第三连接杆和阴极绝缘头都与阴极连接铜条连接。

一种印制板酸性蚀刻废液再生及铜回收设备，包括前述的电解装置；

离子交换层为离子膜或隔膜布；

较佳的，离子交换层为阳离子膜；

电解装置用于电解处理印制板酸性蚀刻废液。

较佳的，印制板酸性蚀刻废液再生及铜回收设备还包括废液收集储罐、阴极循环槽、阳极循环槽、混合槽、真空回收装置、真空处理装置和废气净化塔；

废液收集储罐用于存储印制板酸性蚀刻废液；

废液收集储罐与阴极循环槽连通；

阴极循环槽与阴极室循环连通，所述阴极循环槽安装比重测量仪；

混合槽安装比重计、酸度表和氧化还原值测量表；

所述混合槽与阳极室连通；

阳极室与阳极循环槽连通；

阳极循环槽将电解处理后的印制板再生酸性蚀刻液排出；

废液收集储罐、阴极循环槽、阳极循环槽和混合槽都与真空回收装置连通以收集废气；

真空回收装置用于回收氯气和氯化氢气体；所述真空回收装置与真空处理装置连通，所述真空处理装置用于进一步处理真空回收装置未彻底回收完的氯气和氯化氢气体；

废气净化塔与真空处理装置连通，废气净化塔用于净化真空处理装置排放的废气，以确保达标排放。

较佳的，真空回收装置同时与阴极循环槽和混合槽连通，阴极循环槽将电解处理后的印制板酸性蚀刻废液即阴极液抽入真空回收装置，真空回收装置使用该印制板酸性蚀刻废液回收氯气和氯化氢气体，反应后的阴极液流入混合槽；

废液收集储罐与混合槽连通，废液收集储罐向混合槽加入印制板酸性蚀刻废液以稳定再生回收过程中溶液的铜含量。

本实用新型电解装置通过压力机将电解单元的阳极板、阳极框、离子交换层、阴极框和阴极板依次压紧形成密闭的阳极室和阴极室，使电解装置发生的电解反应产生的气体不会释放出来，避免了有害气体对设备的腐蚀和对环境的污染，提高了作业环境的质量。

附图说明

图1是电解装置一实施例的主视图；

图2是电解装置的后视图；

图3是电解装置的结构示意图；

图4是图1中a所指位置的放大图；

图5是图1中b所指位置的放大图；

图6是电解单元的结构示意图；

图7是图6中c-c所指位置的剖视图；

图8是电解单元的分解图；

图9是电解单元另一角度的分解图；

图10是阳极框的结构示意图；

图11是阴极框的结构示意图；

图12是印制板酸性蚀刻废液再生及铜回收设备的示意图。

附图标记说明：

100-电解装置；1-压力机、11-抵顶部、12-驱动部、13-移动部、14-压持空间、15-驱动杆；2-电解单元、21-阳极板、21a-阳极导电铜条、211-第一连接杆、212-第二连接杆、213-阴极绝缘头、22-阳极框、221-阳极液入口、222-阳极液出口、23-阴极框、231-阴极液入口、232-阴极液出口、24-阴极板、24a-阴极导电铜条、241-第三连接杆、242-第四连接杆、243-阳极绝缘头、25-离子交换层、26-阳极室、27-阴极室；3-输液管道、31-阳极液出液总管、32-阴极液进液总管、321-阳极进液阀门、322-阳极排空阀门、33-阴极液出液总管、34-阳极液进液总管、341-阴极进液阀门、342-阴极排空阀门；4-供电组件、41-阴极导电部、42-阳极导电部、43-整流器；5-废液收集储罐；6-阴极循环槽；7-混合槽；8-阳极循环槽；9-蚀刻生产线；10-真空回收装置；20-真空处理装置；30-废气净化塔；200-印制板酸性蚀刻废液再生及铜回收设备。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的实施例进行详细说明，但是本实用新型可以由权利要求限定和覆盖的多种不同方式实施。

请参照图1-3和图6-7，电解装置100包括压力机1和电解单元2。其中，压力机1具有压持空间14，压持空间14内设置电解单元2，电解单元2包括阳极板21、阳极框22、离子交换层25、阴极框23和阴极板24。压力机1可将阳极板21、阳极框22、离子交换层25、阴极框23和阴极板24依次压紧形成密闭的阳极室26和阴极室27。这样，电解装置100通过压力机1将电解单元2的阳极板21、阳极框22、离子交换层25、阴极框23和阴极板24依次压紧形成密闭的阳极室26和阴极室27，使电解装置100发生的电解反应产生的气体不会释放出来，避免了生成的腐蚀气体腐蚀设备以及有害气体影响环境等，提高了作业环境的质量。

对于压持空间14内设置电解单元2的数量，可以是一个，也可以是多个。在本实施例中，将若干个电解单元2成排压持于压持空间14内，能增加电解装置100的电解处理效率。

请参照图1-3，压力机1可以是电动压力机也可以是手动压力机，当压力机1是电动压力机时，压力机1包括抵顶部11、移动部13和驱动部12，驱动部12可以是现有的驱动结构。抵顶部11和驱动部12之间设置压持空间14，移动部13设置于压持空间14内，驱动部12通过作用驱动杆15来驱动移动部13沿压持空间14移动，将压持空间14内的多个电解单元2成排压持于抵顶部11和移动部13之间。

在压持空间14内成排设置的若干个电解单元2的两端是阳极板21或阴极板24，当抵顶部11抵接阳极板21或阴极板24，移动部13抵接阳极板21或阴极板24时，此时，阳极板21或阴极板24只有一侧面能接触到电解液体进行电解反应。

在压持空间14内成排设置的若干个电解单元2的两端也可以是阳极框22或阴极框23，此时抵顶部11与阳极板21或阴极板24间抵接阳极框22或阴极框23，移动部13与阳极板21或阴极板24间抵接阳极框22或阴极框23。

较佳的，请参照3-5，在本实施例中，压持空间14内设置的电解单元2为奇数个(如7个或9个等)，在阳极板21与抵顶部11之间，以及阳极板21与移动部13之间都设置了阳极框22。此方式药水的再生效率最高，同时也不会影响铜的回收。

电解装置100采用这样的设置，两端设置阳极框22避免了阳极板21与抵顶部11或移动部13的直接接触，因阳极框22与阳极板21、阳极框22与阴极板24在接触面上匹配性好，抵顶部11和移动部13通过阳极框22来作用于电解单元2，能够提高电解单元2的阳极板21、阳极框22、离子交换层25、阴极框23和阴极板24之间压持的紧密性，提高电解单元2的密闭性。更重要的是，两端的阳极板21或阴极板24的两个侧面都进行电解反应，加快了电解处理效率，消除了阳极板21或阴极板24的发热面可能会产生的安全隐患。

请参照图1-2，当压持空间14内设置多个电解单元2时，阳极板21两侧为阳极框22、阴极板24两侧为阴极框23，相邻的电解单元2共用同一阳极板21或阴极板24。电解装置100采用这样的设置，能简化结构，提高阳极板21或阴极板24的利用率，加快电解处理效率。

请参照图6-11，对于电解单元2来说，阳极板21和阴极板24都是呈板状结构，阳极板21和阴极板24是导电材料，在本实施例中，阳极板21和阴极板24是钛质材料制成，阳极板21的表面涂有铂族金属活性涂层。阳极框22和阴极框23的横截面呈回形,阳极框22和阴极框23整体上呈回形结构，阳极板21与阳极框22，以及阴极板24与阴极框23可以是一体结构，也可以是分开结构。电解单元2整体上呈框式压合电解槽结构，离子交换层25间隔在阳极框22和阴极框23之间，可以是阴离子交换膜、阳离子交换膜或隔膜布等材料。

电解单元2在被压持状态下，阳极板21、阳极框22和离子交换层25形成阳极室26，离子交换层25、阴极框23和阴极板24能形成阴极室27。在通电条件下，当离子交换层25是阳离子交换膜时，阳极室26的阳离子能通过离子交换层25进入阴极室27，在阳极板21上进行氧化反应、在阴极板24上进行还原反应。

具体地，请参照图3-4和图8-11，阳极板21和阴极板24为了通电方便，在阳极板21顶部设置了阳极导电铜条21a，阴极板24顶部设置了阴极导电铜条24a，阳极导电铜条21a和阴极导电铜条24a可以采用螺丝或焊接等方式固定。

阳极导电铜条21a一端向外延伸形成第一连接杆211，阳极导电铜条21a另一端向外延伸形成第二连接杆212，第二连接杆212设置阴极绝缘头213，阴极绝缘头213可以采用第二连接杆212端侧包裹绝缘胶或者在第二连接杆212上套设塑料头而成。阴极导电铜条24a一端向外延伸形成第三连接杆241，阴极导电铜条24a另一端向外延伸形成第四连接杆242，第四连接杆242设置阳极绝缘头243，阳极绝缘头243可以采用第四连接杆242端侧包裹绝缘胶或者在第四连接杆242上套设塑料头而成。第一连接杆211和第三连接杆241都与供电组件4电连接，供电组件4通电后，第一连接杆211和第三连接杆241分别将电传导给阳极板21和阴极板24。

请继续参照图3-4和图8-11，第一连接杆211和第二连接杆212设置于阳极板21的异侧，第三连接杆241和第四连接杆242位于阴极板24的异侧，第一连接杆211与第四连接杆242位于同一侧，第二连接杆212和第三连接241位于同一侧，这样设置便于与供电组件4电连接。

请参照图1-5，供电组件4包括整流器43、阳极导电部42和阴极导电部41，阳极导电部42和阴极导电部41可以是铜条或电线等接线材料。其中，阳极导电部42与整流器43电连接，阴极导电部41与整流器43电连接。

当阳极导电部42采用阳极导电线、阴极导电部41采用阴极导电线时，阳极导电部42与第一连接杆211电连接，阴极导电部41与第三连接杆241电连接。

当阳极导电部42采用阳极连接铜条，阴极导电部41采用阴极连接铜条时，第一连接杆211和阳极绝缘头243都与阳极导电部42连接，第三连接杆241和阴极绝缘头213都与阴极导电部41连接，对于第一连接杆211与阳极导电部42的连接、以及第三连接杆241与阴极导电部41连接，都可以通过搭接或者螺丝固定实现，阳极绝缘头243与阳极导电部42的连接，以及阴极绝缘头213与阴极导电部41的连接其实只是利用阳极导电部42和阴极导电部41作为支撑作用，直接搭接放在上面就可以了。且第一连接杆211和阳极绝缘头243位于同一高度，第三连接杆241和阴极绝缘头213位于同一高度。这样，阳极导电部42和阴极导电部41选用铜条并这样设置不仅便于向阳极板21和阴极板24通电，而且，可在一定程度上稳固电解单元2。

对于向阳极室26和阴极室27输入电解液体的具体结构，如图8-11所示，阳极框22的一侧设置阳极液入口221，阳极框22的另一侧设置阳极液出口222，阳极液入口221和阳极液出口222都与阳极室26连通。阴极框23的一侧设置阴极液入口231，阴极框23的另一侧设置阴极液出口232，阴极液入口231和阴极液出口232都与阴极室27连通。具体的，阳极液入口221设置于阳极室26的底部，阳极液出口222设置于阳极室26的顶部，阴极液入口231设置于阴极室27底部，阴极液出口232设置于阴极室27顶部，这样的设置，使电解液体能充分在阳极室26和阴极室27内流动，有利于电解反应的进行。输入的电解液体可以有多种，如硫酸锡溶液、氯化钠溶液、工业废液(包括pcb板蚀刻废液)以及其他电解液。

当电解液体是硫酸锡溶液时，此时，阳极板21选用锡板或涂活性涂层的钛板、离子交换层25选用阳离子膜以及阴极板24为钛板，这样来生产硫酸亚锡。

当电解液体是氯化钠溶液时，此时，阳极板21选用涂活性涂层的钛板、离子交换层25选用离子膜以及阴极板24选用钛板，这样来生产氯酸钠、氢氧化钠和盐酸。

如图1-3和图8-11所示，输液管道3包括阳极液出液总管31、阳极液进液总管34、阴极液出液总管33和阴极液进液总管32。其中，阳极液进液总管34与阳极液入口221连通，阳极液出液总管31与阳极液出口222连通，通过阳极液进液总管34和阳极液出液总管31向阳极室26输入和输出电解液体；阴极液进液总管32与阴极液入口231连通，阴极液出液总管33与阴极液出口232连通，通过阴极液进液总管32和阴极液出液总管33向阴极室27输入和输出电解液体。为了提高电解液体在阳极室26和阴极室27的反应效率，阳极液入口221与阳极室26底部连通，阳极液出口222与阳极室26顶部连通；阴极液入口231与阴极室27底部连通，阴极液出口232与阴极室27顶部连通。

另外，阳极液进液总管34一端设置阳极进液阀门341，另一端设置阳极排空阀门342，进液时，打开阳极进液阀门341，关闭阳极排空阀门342；阴极液进液总管32一端设置阴极进液阀门321，另一端设置阴极排空阀门322，进液时，打开阴极进液阀门321，关闭阴极排空阀门322。当电解单元2内的电解液体处理完成后，或者在其他情况下(如取下和安装阴极板24)需要排放电解单元2内的电解液体时，关闭阳极进液阀门341，打开阳极排空阀门342，将阳极室22内的电解液体排空；关闭阴极进液阀门321，打开阴极排空阀门322，将阴极液23内的电解液体排空。

下面列举一个电解装置100的具体应用的例子。

随着我国电子工业年增长率超过20％，带动了印刷电路板(pcb)及相关产业发展，我国己成为世界最大的pcb生产中心。而蚀刻工艺又是目前制造pcb过程中必不可少的一个重要步骤，在印刷电路板生产过程中通常用酸性和碱性蚀刻工艺生产电路板，这些企业每年要产生大量的含铜蚀刻废液。

其中，酸性蚀刻液有盐酸+氯酸钠、盐酸+双氧水、盐酸+氯化铵等工艺,酸性蚀刻废液的主要成分为cucl2，hcl，naclo3,nh4cl或nacl等。对于酸性蚀刻液的现有处理方法主要有三种：置换法、稀释中和萃取法和硫酸萃取蒸馏法，但置换法会排放大量含有盐及cl2的废水，会污染环境且无法再生；稀释中和萃取法也会产生大量的废水，存在设备投资大和药水利用率低等问题；硫酸萃取蒸馏法需加入大量的硫酸将cucl置换成硫酸铜，由于硫酸铜属化工产品，需要有专门的化工生产资质，线路板生产企业不具备生产资格。

为了解决现有技术处理酸性蚀刻液存在的上述问题，可以使用电解装置100来制备印制板酸性蚀刻废液再生及铜回收设备200对印制板酸性蚀刻废液进行处理，该印制板酸性蚀刻废液再生及铜回收设备200既能回收铜，又能将印制板酸性蚀刻废液转化成印制板再生酸性蚀刻液，该印制板再生酸性蚀刻液能用于印刷电路板(pcb)的生产，还能对产生的氯气进行回收利用，废气达标排放。

具体地，请参照图1和图12，在图12中，单线条流向表示液体流动方向，双线条表示气体流动方向，印制板酸性蚀刻废液再生及铜回收设备200包括电解装置100、废液收集储罐5、阴极循环槽6、阳极循环槽8、混合槽7、真空回收装置10、真空处理装置20和废气净化塔30。其中，废液收集储罐5内储存蚀刻生产线9产生的印制板酸性蚀刻废液，废液收集储罐5通过管道与电解装置100的阴极循环槽6和混合槽7连通，阴极循环槽6与阴极室27循环连通，阴极循环槽6通过阴极液入口231给阴极室27输送印制板酸性蚀刻废液，通过设置控制阀(未示出)来控制通断，有些还通过泵(图12所示三角形标识)来输送，阴极室27通过阴极液出口232将反应后的印制板酸性蚀刻废液输回到阴极循环槽6。

阴极循环槽6还与真空回收装置10连通，阴极循环槽6将反应后的印制板酸性蚀刻废液输入真空回收装置10以回收气体，真空回收装置10与混合槽7连通，回收处理后将印制板酸性蚀刻废液输入混合槽7，混合槽7与阳极室26连通，混合槽7通过阳极液入口221将印制板酸性蚀刻废液输入阳极室26，阳极室26通过阳极液出口222与阳极循环槽8连通，印制板酸性蚀刻废液经阳极室26电解反应后生成正常的印制板再生酸性蚀刻液，阳极室26将印制板酸性蚀刻液输入阳极循环槽8，阳极循环槽8将印制板再生酸性蚀刻液输入蚀刻生产线9，蚀刻生产线9使用印制板再生酸性蚀刻液进行蚀刻反应产生印制板酸性蚀刻废液，并将印制板酸性蚀刻废液排入废液收集储罐5。

另外，废液收集储罐5、阴极循环槽6、阳极循环槽8和混合槽7都分别与真空回收装置10连通，真空回收装置10回收废液收集储罐5、阴极循环槽6、阳极循环槽8和混合槽7内的废气如氯气和氯化氢气体，真空回收装置10将氯气和氯化氢气体回收再利用，真空回收装置10处理后的废气流入真空处理装置20进行处理，真空处理装置20处理后进入废气净化塔30中处理，之后达标排放。

更具体地，在对印制板酸性蚀刻废液处理过程中，电解装置100的离子交换层25选用的是阳离子交换膜，阳极室26内的印制板酸性蚀刻废液中的阳离子可以通过离子交换层25进入阴极室27，而阴极室27内的印制板酸性蚀刻废液中的阳离子不能通过离子交换层25进入阳极室26。在阴极室27中，阴极板24上进行的反应有：cu²⁺+2e→cu；cu²⁺+e→cu⁺；cu⁺+e→cu；在阳极室26中，阳极板21上进行的反应有：cu⁺-e→cu²⁺。这样，印制板酸性蚀刻废液中的铜离子经电解反应后就从阴极板24上析出，当阴极板24上析出大量的铜时，将阴极板24上的铜取下前，要将阳极室26和阴极室27内的印制板酸性蚀刻废液分别从阳极液排空管36和阴极液排空管33中排出，之后，压力机1的驱动部12驱动移动部13反向驱动，将阴极板24上的铜取下，取完铜之后重新装上或者用新的阴极板24替换。

阴极循环槽6将印制板酸性蚀刻废液输送到阴极室27，且不断的循环，此时阴极液的比重在1.1-1.3g/ml范围，在阴极室27电解反应后，由于铜的析出，阴极液的比重会下降，此时，通过废液收集储罐5中的印制板酸性蚀刻废液输入混合槽7将阴极液的比重调整在1.1-1.3g/ml范围内，以保证阴极液铜浓度的稳定性。

在混合槽7中，通过比重计、酸度表和氧化还原值测量表来测定混合槽7内的印制板酸性蚀刻废液的比重、酸度和氧化还原值，混合槽7内印制板酸性蚀刻废液的比重控制在1.2-1.3g/ml范围内，酸度控制在1.5-2.5n范围内，氧化还原值控制在300-600mv范围内，之后，混合槽7将印制板酸性蚀刻废液输送到阳极室26。

因经阴极室27电解反应析出铜后，印制板酸性蚀刻废液铜离子减少，流入阴极循环槽6的印制板酸性蚀刻废液比重会下降，阴极循环槽6中的印制板酸性蚀刻废液在真空回收装置10回收废气后会流入混合槽7，最终印制板酸性蚀刻废液会流入阳极循环槽8，阳极循环槽8的印制板再生酸性蚀刻液会流入蚀刻生产线9进行蚀刻反应，为了保证印制板再生酸性蚀刻液中铜含量的稳定性，避免印制板再生酸性蚀刻液中铜含量过低对蚀刻反应产生不利影响，废液收集储罐5还会与混合槽7连通，废液收集储罐5向混合槽7流入印制板酸性蚀刻废液，废液收集储罐5向混合槽7流入的印制板酸性蚀刻废液中铜含量很高，可以与真空回收装置10流入混合槽7的印制板酸性蚀刻废液混合，最终稳定印制板再生酸性蚀刻液中的铜含量，保证印制板再生酸性蚀刻液在蚀刻生产线9稳定的进行蚀刻反应。

印制板酸性蚀刻废液在阳极室26电解反应，阳极室26内的印制板酸性蚀刻废液中的部分cu⁺、cu²⁺会通过离子交换层25进入阴极室27。

印制板酸性蚀刻废液经过阴极室27电解反应析出铜、以及阳极室26内将cu⁺、cu²⁺通过离子交换层25再次进入阴极室27电解反应，能显著降低印制板酸性蚀刻废液中的铜离子浓度，印制板酸性蚀刻废液流过阳极室26后，被转化成印制板再生酸性蚀刻液，阳极室26将印制板酸性蚀刻液输送到阳极循环槽8，阳极循环槽8将印制板酸性蚀刻液输入蚀刻生产线9。

废液收集储罐5、阴极循环槽6、阳极循环槽8和混合槽7内的废气进入真空回收装置10，真空回收装置10还同时与阴极循环槽6和混合槽7连通，阴极循环槽6向真空回收装置10抽入印制板酸性蚀刻废液，印制板酸性蚀刻废液与真空回收装置10内废气中的氯气和氯化氢气体反应加以回收利用，氯气能氧化废液，氯化氢气体溶解于废液中后能提高废液的酸度，二者能使废液达到初步再生的作用，反应之后的印制板酸性蚀刻废液流入混合槽7。真空回收装置10将废气送入真空处理装置20，真空处理装置20可以是多级处理装置，通过往真空处理装置20中通入液碱，让液碱与废气中的氯气反应，并生成次氯酸钠溶液，并将处理后的废气输送到废气净化塔30，在废气净化塔30使用5％的液碱净化，经废气净化塔30净化处理后，使废气达标排放。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围。