一种PECVD设备的升降机构的制作方法

本实用新型属于半导体加工设备技术领域，尤其涉及一种pecvd设备的升降机构。

背景技术：

等离子体增强化学气相沉积（pecvd,plasmaenhancedchemicalvapordeposition）工艺中，pecvd设备利用射频电源为反应源提供能量产生等离子体，反应源运动衬底表面成核，核继续生长成薄膜。在淀积薄膜的时候，不同衬底材料对淀积的条件要求不同。为了实现对多种材料的镀膜，要求上下电极之间的距离根据工艺的需要是可以调整的，需要升降机构带动电极做纵向升降运动。现有升降机构存在以下问题：升降稳定性差，安装和调试的难度大；运行精度低，安全隐患大。

技术实现要素：

为解决上述问题，本实用新型提出一种pecvd设备的升降机构，升降运行稳定性高，定位精度高，结构简单。

技术方案：本实用新型提出一种pecvd设备的升降机构，包括驱动单元、升降单元和座体单元；

所述驱动单元包括电机、丝杠和螺纹连接在丝杠上的螺母座；所述电机的转轴与丝杠连接；所述电机驱动丝杠转动时，螺母座沿丝杠做直线运动；

所述升降单元包括

固定在螺母座上的升降座安装板；所述升降座安装板平行于丝杠；

背板，所述背板平行于升降座安装板，且背板与升降座安装板位于丝杠的前后两侧；

两个转接板，两个所述转接板连接在背板与升降座安装板之间，且两个转接板位于丝杠的左右两侧；

所述座体单元包括底板和垂直固定在底板上的立板；所述底板用于安装电机；所述立板位于背板与丝杠之间；所述立板上设置有平行于丝杠的直线导轨；；所述直线导轨上设置有滑块；所述滑块固定连接在背板上。

进一步，所述立板设置有上限位块和下限位块；所述上限位块和下限位块均位于升降单元的直线运动轨迹上，且分别位于升降单元的上下两侧。

进一步，所述座体单元上还设置有若干沿丝杠方向排列的传感器；所述升降单元上设置有传感器感应片；升降单元升降时，传感器感应片逐个经过每个传感器的感应区域。

进一步，所述传感器的数量为三个，分别位于传感器感应片直线运动的上限位、原点和下限位。

进一步，两个所述转接板对称布置在丝杠两侧，且均垂直于升降座安装板。

进一步，所述直线导轨为宽幅直线导轨。

进一步，所述升降座安装板上固定有升降座；所述升降座用于连接pecvd设备的电极。

进一步，所述座体单元包括固定在立板上端的固定板；所述固定板用于连接pecvd设备主体。

有益效果：本实用新型中，连接直线导轨的背板与升降座安装板位于丝杠两侧，改善升降单元前后的重心位置，减少重力产生的力矩；连接在背板与升降座安装板之间的两个转接板，使升降单元整体左右对称，有利于左右受力均匀，保证升降机构纵向升降运行平稳；通过传感器实现高精度定位。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的升降座安装板内侧视角的结构示意图；

图3为本实用新型的背板外侧视角的结构示意图。

具体实施方式

如图1，本实用新型提供了一种pecvd设备的升降机构，包括驱动单元、升降单元和座体单元。

如图2，所述驱动单元包括电机101、丝杠102和螺纹连接在丝杠102上的螺母座103；所述电机101的转轴与丝杠102通过联轴器105连接；所述电机101驱动丝杠102转动时，螺母座103沿丝杠102做直线运动。

所述升降单元包括固定在螺母座103上的升降座安装板201；所述升降座安装板201平行于丝杠102。所述升降座安装板201上固定有升降座205；所述升降座205用于连接pecvd设备的电极。

如图3，所述升降单元还包括背板202，所述背板202平行于升降座安装板201，且背板202与升降座安装板201位于丝杠102的前后两侧。

所述升降单元还包括两个转接板204，两个所述转接板204连接在背板202与升降座安装板201之间。两个所述转接板204对称布置在丝杠102左右两侧，且均垂直于升降座安装板201。

所述座体单元包括底板301和垂直固定在底板301上的立板302；所述底板301用于安装电机101；所述立板302位于背板202与丝杠102之间。所述座体单元还包括固定在立板302上端的固定板306；所述固定板306用于连接pecvd设备主体。

所述立板302上设置有用于支撑丝杠102的支撑座104。所述立板302背部还设置有平行于丝杠102的直线导轨303；所述直线导轨303为宽幅直线导轨。所述直线导轨303上设置有配套的滑块203，滑块203可沿直线导轨303滑动；所述滑块203固定连接在背板202上。

所述立板302设置有上限位块304和下限位块305；所述上限位块304和下限位块305均位于升降单元的直线运动轨迹上，且分别位于升降单元的上下两侧。本实施例中上限位块304和下限位块305位于升降座安装板201的直线运动轨迹上。

本实施例中立板上设置有传感器安装板，传感器安装板位于转接板204的外侧，传感器安装板上设置有三个沿丝杠102方向排列的传感器401。传感器401为光电传感器。

所述升降单元的转接板204上设置有传感器感应片402；升降单元升降时，传感器感应片402逐个经过每个传感器401的感应区域。三个传感器401分别位于传感器感应片402直线运动的上限位、原点和下限位。升降单元升降时，传感器感应片402逐个经过每个传感器401的感应区域。

传感器感应片402停留在原点位置，启动电机101，电机带动丝杠102转动，螺母座103沿着丝杠102做纵向升降运动，从而带动传感器感应片402至上限位或下限位，升降座205上的电极到达下一流程的工位；工艺完毕后，启动电机101反向运转，从而传感器感应片402回到原点位置，升降座205上的电极返回至准备工位。

技术特征：

1.一种pecvd设备的升降机构，其特征在于：包括驱动单元、升降单元和座体单元；

所述驱动单元包括电机（101）、丝杠（102）和螺纹连接在丝杠（102）上的螺母座（103）；所述电机（101）的转轴与丝杠（102）连接；所述电机（101）驱动丝杠（102）转动时，螺母座（103）沿丝杠（102）做直线运动；

所述升降单元包括

固定在螺母座（103）上的升降座安装板（201）；所述升降座安装板（201）平行于丝杠（102）；

背板（202），所述背板（202）平行于升降座安装板（201），且背板（202）与升降座安装板（201）位于丝杠（102）的前后两侧；

两个转接板（204），两个所述转接板（204）连接在背板（202）与升降座安装板（201）之间，且两个转接板（204）位于丝杠（102）的左右两侧；

所述座体单元包括底板（301）和垂直固定在底板（301）上的立板（302）；所述底板（301）用于安装电机（101）；所述立板（302）位于背板（202）与丝杠（102）之间；所述立板（302）上设置有平行于丝杠（102）的直线导轨（303）；所述直线导轨（303）上设置有滑块（203）；所述滑块（203）固定连接在背板（202）上。

2.根据权利要求1所述的pecvd设备的升降机构，其特征在于：所述立板（302）设置有上限位块（304）和下限位块（305）；所述上限位块（304）和下限位块（305）均位于升降单元的直线运动轨迹上，且分别位于升降单元的上下两侧。

3.根据权利要求2所述的pecvd设备的升降机构，其特征在于：所述座体单元上还设置有若干沿丝杠（102）方向排列的传感器（401）；所述升降单元上设置有传感器感应片（402）；升降单元升降时，传感器感应片（402）逐个经过每个传感器（401）的感应区域。

4.根据权利要求3所述的pecvd设备的升降机构，其特征在于：所述传感器（401）的数量为三个，分别位于传感器感应片（402）直线运动的上限位、原点和下限位。

5.根据权利要求1-4任意一项所述的pecvd设备的升降机构，其特征在于：两个所述转接板（204）对称布置在丝杠（102）两侧，且均垂直于升降座安装板（201）。

6.根据权利要求5所述的pecvd设备的升降机构，其特征在于：所述直线导轨（303）为宽幅直线导轨。

7.根据权利要求6所述的pecvd设备的升降机构，其特征在于：所述升降座安装板（201）上固定有升降座（205）；所述升降座（205）用于连接pecvd设备的电极。

8.根据权利要求7所述的pecvd设备的升降机构，其特征在于：所述座体单元包括固定在立板（302）上端的固定板（306）；所述固定板（306）用于连接pecvd设备主体。

技术总结
本实用新型公开了一种PECVD设备的升降机构，包括驱动单元、升降单元和座体单元；驱动单元包括电机、丝杠和螺纹连接在丝杠上的螺母座；升降单元包括固定在螺母座上的升降座安装板、平行于升降座安装板的背板和两个转接板；背板与升降座安装板位于丝杠的两侧，改善升降单元前后的重心位置，减少重力产生的力矩；两个转接板连接在背板与升降座安装板之间，且两个转接板位于丝杠的两侧，使升降单元整体左右对称，有利于左右受力均匀，保证升降机构纵向升降运行平稳；座体单元包括底板和垂直固定在底板上的立板；底板用于安装电机；立板位于背板与丝杠之间；立板上设置有平行于丝杠的直线导轨；直线导轨与背板通过滑块可滑动连接。

技术研发人员：袁正;侯永刚;张军;李娜;郭颂;李圆晨;高阔;吴志浩;胡冬冬;许开东
受保护的技术使用者：江苏鲁汶仪器有限公司
技术研发日：2020.03.06
技术公布日：2020.12.15