一种化学气相沉积装置中的雾化结构的制作方法

本实用新型涉及化学气相沉积装置技术领域，具体为一种化学气相沉积装置中的雾化结构。

背景技术：

在化工领域固液气皆可作为新能源、新材料产生加工的原料，其中化学气相沉积则利用多种具有薄膜元素的气态物质混合沉积形成多状态的薄膜，可适用于生物研究，医学治疗等等领域。

在实现本实用新型的过程中，发明人发现现有技术中至少存在如下问题没有得到解决：

(1)传统的化学气相沉积装置中的雾化结构的雾气喷洒方式过于片面。

仅单面喷洒使得覆膜不均；

(2)传统的化学气相沉积装置中的雾化结构缺乏烘干功能，覆膜后的薄膜湿气较重，难以立刻收卷；

(3)传统的化学气相沉积装置中的雾化结构仅以传送带传送，其位置易偏移，存在薄膜错位缠绕的隐患。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种化学气相沉积装置中的雾化结构，以解决上述背景技术中提出覆膜不均、晾干时间较长和薄膜易错位的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种化学气相沉积装置中的雾化结构，包括工作台、漏槽、支柱和伺服电机，所述工作台顶端的一侧固定连接有主壳体，且主壳体两侧的内部皆设置有第二开槽，所述主壳体内侧的两端皆固定连接有辅助结构，所述主壳体外部顶端的一侧固定连接有控制器，所述主壳体底端内部的中间位置处均匀设置有漏槽，所述工作台底端的一侧固定连接有雾化机构，所述工作台顶端的另一侧固定连接有烘干机构，所述工作台底端的四个拐角处皆固定连接有支柱，所述工作台顶端的一侧固定连接有伺服电机，且伺服电机的输出端固定连接有卷筒。

优选的，所述雾化机构的内部依次设置有雾化器、水箱、分配管、雾化喷头、三通管和连接管，所述水箱固定连接在工作台底端的一侧，所述水箱的底端固定连接有雾化器，且雾化器的输出端固定连接有连接管，所述连接管上固定连接有三通管，且三通管的两端皆固定连接有分配管。

优选的，所述分配管一端的两侧皆固定连接有雾化喷头，且雾化喷头皆关于主壳体的垂直中分线呈对称分布。

优选的，所述烘干机构的内部依次设置有第一开槽、鼓风机、电热阻丝、清洁刷和箱体，所述箱体固定连接在工作台顶端的一侧，所述箱体两侧的内部皆设置有第一开槽，所述箱体一端的内部固定连接有鼓风机，且鼓风机内部的一端固定连接有电热阻丝。

优选的，所述第一开槽的两端之间均匀设置有清洁刷，且清洁刷皆处于同一水平面。

优选的，所述辅助结构的内部依次设置有凹槽、夹持弹簧、滚轮、固定螺栓、固定轴和弹簧槽，所述凹槽皆固定连接在主壳体内侧的两端，所述凹槽内部的两端皆设置有弹簧槽，且弹簧槽的一端皆固定连接有夹持弹簧，所述夹持弹簧的一端皆固定连接有固定轴，且固定轴的两端皆活动连接有滚轮，所述凹槽内侧的一端皆固定连接有固定螺栓。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该一种化学气相沉积装置中的雾化结构不仅实现了均匀雾化覆膜，实现了即时烘干，而且实现了对薄膜的辅助导向；

(1)通过在工作台底端的一侧固定连接有雾化机构，雾化机构的内部依次设置有雾化器、水箱、分配管、雾化喷头、三通管和连接管，启动雾化器将水箱内的液料雾化并通过连接管与三通管分别输送至分配管的内部，在薄膜传送来时均匀喷洒在薄膜的两面，此种喷洒方式既使得两面均匀覆盖雾液，且若主壳体内部的雾气过重也可通过主壳体底端内部的漏槽流入水箱，以供其循环使用，避免浪费；

(2)通过在工作台顶端的另一侧固定连接有烘干机构，烘干机构的内部依次设置有第一开槽、鼓风机、电热阻丝、清洁刷和箱体，开启鼓风机，通过电热阻丝调节箱体内烘干的温度，从而加速薄膜表面液体的风干速度，且在其右侧的第一开槽的内部对称分布有清洁刷，可在风干的薄膜排出箱体时对其进行清刷，从而去除其表面多余的残渣与灰尘；

(3)通过在主壳体内侧的两端皆固定连接有辅助结构，辅助结构的内部依次设置有凹槽、夹持弹簧、滚轮、固定螺栓、固定轴和弹簧槽，当成型的薄膜自第二开槽处传送而来，经过主壳体内部两端均匀固定连接的凹槽内部时，滚轮在夹持弹簧施压的弹力下由固定轴压向薄膜，对其进行滚动导向，以防止其错位缠绕，损伤机器，启动伺服电机，可通过卷筒对薄膜进行收卷。

附图说明

图1为本实用新型的正视剖面结构示意图；

图2为本实用新型的雾化机构俯视剖面结构示意图；

图3为本实用新型的烘干机构正视剖面结构示意图；

图4为本实用新型的辅助结构侧视剖面结构示意图。

图中：1、工作台；2、漏槽；3、雾化机构；301、雾化器；302、水箱；303、分配管；304、雾化喷头；305、三通管；306、连接管；4、烘干机构；401、第一开槽；402、鼓风机；403、电热阻丝；404、清洁刷；405、箱体；5、支柱；6、伺服电机；7、卷筒；8、辅助结构；801、凹槽；802、夹持弹簧；803、滚轮；804、固定螺栓；805、固定轴；806、弹簧槽；9、主壳体；10、控制器；11、第二开槽。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-4，本实用新型提供的一种实施例：一种化学气相沉积装置中的雾化结构，包括工作台1、漏槽2、支柱5和伺服电机6，工作台1顶端的一侧固定连接有主壳体9，且主壳体9两侧的内部皆设置有第二开槽11，主壳体9内侧的两端皆固定连接有辅助结构8；

辅助结构8的内部依次设置有凹槽801、夹持弹簧802、滚轮803、固定螺栓804、固定轴805和弹簧槽806，凹槽801皆固定连接在主壳体9内侧的两端，凹槽801内部的两端皆设置有弹簧槽806，且弹簧槽806的一端皆固定连接有夹持弹簧802，夹持弹簧802的一端皆固定连接有固定轴805，且固定轴805的两端皆活动连接有滚轮803，凹槽801内侧的一端皆固定连接有固定螺栓804；

具体地，如图1和图4所示，使用该机构时，首先，当成型的薄膜自第二开槽11处传送而来，经过主壳体9内部两端均匀固定连接的凹槽801内部时，滚轮803在夹持弹簧802施压的弹力下由固定轴805压向薄膜，对其进行滚动导向，以防止其错位缠绕，损伤机器，；

主壳体9外部顶端的一侧固定连接有控制器10，主壳体9底端内部的中间位置处均匀设置有漏槽2，工作台1底端的一侧固定连接有雾化机构3；

雾化机构3的内部依次设置有雾化器301、水箱302、分配管303、雾化喷头304、三通管305和连接管306，水箱302固定连接在工作台1底端的一侧，水箱302的底端固定连接有雾化器301，雾化器301的型号可为isw40-200，雾化器301的输出端固定连接有连接管306，连接管306上固定连接有三通管305，且三通管305的两端皆固定连接有分配管303；

分配管303一端的两侧皆固定连接有雾化喷头304，且雾化喷头304皆关于主壳体9的垂直中分线呈对称分布；

具体地，如图1和图2所示，使用该机构时，首先，启动雾化器301将水箱302内的液料雾化并通过连接管306与三通管305分别输送至分配管303的内部，在薄膜传送来时均匀喷洒在薄膜的两面，此种喷洒方式既使得两面均匀覆盖雾液，且若主壳体9内部的雾气过重也可通过主壳体9底端内部的漏槽2流入水箱302，以供其循环使用，避免浪费；

工作台1顶端的另一侧固定连接有烘干机构4；

烘干机构4的内部依次设置有第一开槽401、鼓风机402、电热阻丝403、清洁刷404和箱体405，箱体405固定连接在工作台1顶端的一侧，箱体405两侧的内部皆设置有第一开槽401，箱体405一端的内部固定连接有鼓风机402，鼓风机402的型号可为rb-81d-2，且鼓风机402内部的一端固定连接有电热阻丝403；

第一开槽401的两端之间均匀设置有清洁刷404，且清洁刷404皆处于同一水平面；

具体地，如图1和图3所示，使用该机构时，首先，开启鼓风机402，通过电热阻丝403调节箱体405内烘干的温度，从而加速薄膜表面液体的风干速度，且在其右侧的第一开槽401的内部对称分布有清洁刷404，可在风干的薄膜排出箱体405时对其进行清刷，从而去除其表面多余的残渣与灰尘；

工作台1底端的四个拐角处皆固定连接有支柱5，工作台1顶端的一侧固定连接有伺服电机6，伺服电机6的型号可为ky60as0201-30，伺服电机6的输出端固定连接有卷筒7。

工作原理：本实用新型在使用时，首先，当成型的薄膜自第二开槽11处传送而来，经过主壳体9内部两端均匀固定连接的凹槽801内部时，滚轮803在夹持弹簧802施压的弹力下由固定轴805压向薄膜，对其进行滚动导向，以防止其错位缠绕，损伤机器，而后启动伺服电机6，以卷筒7对薄膜进行收卷。

之后，启动雾化器301将水箱302内的液料雾化并通过连接管306与三通管305分别输送至分配管303的内部，在薄膜传送来时均匀喷洒在薄膜的两面，此种喷洒方式既使得两面均匀覆盖雾液，且若主壳体9内部的雾气过重也可通过主壳体9底端内部的漏槽2流入水箱302，以供其循环使用，避免浪费。

最后，开启鼓风机402，通过电热阻丝403调节箱体405内烘干的温度，从而加速薄膜表面液体的风干速度，且在其右侧的第一开槽401的内部对称分布有清洁刷404，可在风干的薄膜排出箱体405时对其进行清刷，从而去除其表面多余的残渣与灰尘。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。