掩膜板的制作方法

文档序号:23408573发布日期:2020-12-25 08:13阅读:135来源:国知局
掩膜板的制作方法

本申请涉及显示技术领域,特别涉及一种掩膜板。



背景技术:

在有机发光二极管(organiclight-emittingdiode,oled)显示面板中的各个膜层的制备过程中,需采用掩膜板对衬底基板的表面进行遮挡。然后采用蒸镀工艺将镀膜材料蒸镀至衬底基板中未被掩膜板遮挡的部分的表面,形成图形化的膜层。

相关技术中,掩膜板包括框架主体,以及与该框架主体连接的掩膜板本体。但是,相关技术中掩膜板中的掩膜板本体与框架主体的连接的可靠性较低,导致该掩膜板的质量较差,进而影响采用该掩膜板制备得到的膜层的质量,显示面板的良率较低。



技术实现要素:

本申请提供了一种掩膜板,可以解决相关技术中显示面板的良率较低的问题。所述技术方案如下:

提供了一种掩膜板,所述掩膜板包括:掩膜板本体,环形的框架主体,以及相对设置在所述框架主体上且与所述框架主体固定连接的第一条状凸台和第二条状凸台;

所述第一条状凸台包括:沿垂直于所述第一条状凸台的延伸方向间隔排布的第一条状子凸台和第二条状子凸台;

所述第二条状凸台包括:沿垂直于所述第二条状凸台的延伸方向间隔排布的第三条状子凸台和第四条状子凸台;

所述掩膜板本体的一端与所述第一条状子凸台和所述第二条状子凸台中的至少一个连接,所述掩膜板本体的另一端与所述第三条状子凸台和所述第四条状子凸台中的至少一个连接。

可选的,所述第一条状子凸台具有第一通孔,所述第二条状子凸台具有与所述第一通孔对应的第二通孔,且所述第一通孔和所述第二通孔中的一个通孔为螺纹孔,另一个通孔为光孔;

其中,所述第一通孔的轴线,以及所述第二通孔的轴线均垂直于所述第一条状子凸台的延伸方向,且均平行于所述掩膜板本体。

可选的,所述第三条状子凸台具有第三通孔,所述第四条状子凸台具有与所述第三通孔对应的第四通孔,且所述第三通孔和所述第四通孔中的一个通孔为螺纹孔,另一个通孔为光孔;

其中,所述第三通孔的轴线,以及所述第四通孔的轴线均垂直于所述第三条状子凸台的延伸方向,且均平行于所述掩膜板本体。

可选的,所述掩膜板还包括:第一螺钉和第二螺钉;

所述第一螺钉用于从所述第一通孔和所述第二通孔中的光孔穿入,并与螺纹孔连接;

所述第二螺钉用于从所述第三通孔和所述第四通孔中的光孔穿入,并与螺纹孔连接。

可选的,所述第一条状子凸台相对于所述第二条状子凸台远离所述环形的框架主体的中心,所述第三条状子凸台相对于所述第四条状子凸台远离所述环形的框架主体的中心;

所述第一条状子凸台沿第一方向的长度,大于所述第二条状子凸台沿所述第一方向的长度,所述第一方向垂直于所述第一条状子凸台的延伸方向;

所述第三条状子凸台沿第二方向的长度,大于所述第四条状子凸台沿所述第二方向的长度,所述第二方向垂直于所述第三条状子凸台的延伸方向。

可选的,所述框架主体为矩形的框架主体,所述第一条状凸台设置在所述框架主体的第一边,所述第二条状凸台设置在所述框架主体的第二边;所述掩膜板还包括:支撑组件,设置在所述框架主体的第三边的第三条状凸台,以及设置在所述框架主体的第四边的第四条状凸台;

所述支撑组件位于所述掩膜板本体靠近所述框架主体的一侧,且所述支撑组件与所述第三条状凸台和所述第四条状凸台连接,用于支撑所述掩膜板本体。

可选的,所述第一条状凸台的延伸方向平行于所述第二条状凸台的延伸方向,所述第三条状凸台的延伸方向平行于所述第四条状凸台的延伸方向;

所述第一条状凸台,所述第三条状凸台,所述第二条状凸台,以及所述第四条状凸台依次连接,且所述第一条状凸台,所述第三条状凸台,所述第二条状凸台,以及所述第四条状凸台为一体结构。

可选的,所述第三条状凸台具有至少一个第一凹槽,所述第四条状凸台具有至少一个第二凹槽;

所述支撑组件通过所述至少一个第一凹槽与所述第三条状凸台连接,并通过所述至少一个第二凹槽与所述第四条状凸台连接。

可选的,所述第一凹槽沿第三方向的长度,以及所述第二凹槽沿所述第三方向的长度,均等于所述支撑组件沿所述第三方向的长度;

其中,所述第三方向垂直于所述掩膜板本体。

可选的,所述支撑组件为片状结构,且所述片状结构具有至少一个开口;

或者,所述支撑组件包括多个条状结构,所述多个条状结构围成至少一个开口。

本申请提供的技术方案带来的有益效果至少包括:

本申请提供了一种掩膜板,该掩膜板包括的掩膜板本体的一端可以与第一条状子凸台和第二条状子凸台中的至少一个条状子凸台连接,该掩膜板本体的另一端可以与第三条状子凸台和第四条状子凸台中的至少一个条状子凸台连接。由于可以将掩膜板本体的两端分别与至少一个条状子凸台连接,因此能够保证该掩膜板本体的两端与条状子凸台连接的可靠性,该掩膜板的质量较好。进而,能够保证采用该掩膜板制备得到的膜层的质量,提高显示面板的良率。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案,下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本申请实施例提供的一种掩膜板的结构示意图;

图2是本申请实施例提供的一种框架主体,第一条状凸台以及第二条状凸台的示意图;

图3是图2所示的框架主体,第一条状凸台以及第二条状凸台的俯视图;

图4是本申请实施例提供的一种第一条状子凸台和第二条状子凸台的示意图;

图5是本申请实施例提供的一种第一条状子凸台,第二条状子凸台以及第一螺钉的示意图;

图6是本申请实施例提供的掩膜板的局部结构示意图;

图7是本申请实施例提供的一种掩膜板本体的示意图;

图8是本申请实施例提供的另一种掩膜板的结构示意图;

图9是本申请实施例提供的又一种掩膜板的结构示意图;

图10是本申请实施例提供的一种支撑组件的结构示意图;

图11是图10所示的支撑组件的俯视图;

图12是本申请实施例提供的另一种支撑组件的结构示意图;

图13是本申请实施例提供的一种掩膜板的制造方法的流程图;

图14是本申请实施例提供的另一种掩膜板的制造方法的流程图。

具体实施方式

为使本申请的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合附图对本申请实施方式作进一步地详细描述。

相关技术中,oled显示面板中各个膜层制造都采用真空蒸镀的方法进行制备。为了使得该oled显示面板达到较好的显示效果,需要在oled显示面板中衬底基板上沉积该oled显示面板中各个颜色的子像素中的发光层。该各个子像素中的发光层需采用精密掩膜板进行制备。该精密掩膜板可以包括:框架主体,以及与该框架主体连接的精密掩膜板本体。在掩膜板的生产过程中,通过张网设备将精密掩膜板本体焊接在框架主体上以得到精密掩膜板。但是,通常情况下,掩膜板本体与框架主体的焊接质量较差,导致该掩膜板本体与框架主体的连接的可靠性较低,进而导致该精密掩膜板本体的位置偏移较大,蒸镀的膜层的质量较差,显示面板的良率较低。

由此,在相关技术中,为了提高显示面板的良率,通常会对该精密掩膜板进行修复,即需要将精密掩膜板本体101从框架主体102上撕除之后,在该框架主体102上重新焊接一个新的精密掩膜板本体101。但是由于精密掩膜板本体101的成本较高,导致额外的成本支出。

图1是本申请实施例提供的一种掩膜板的结构示意图,本申请实施例提供的掩膜板能够解决相关技术中显示面板的良率较低的问题。参考图1可以看出,该掩膜板10可以包括:掩膜板本体101,环形的框架主体102,以及相对设置在该框架主体102上且与该框架主体102固定连接的第一条状凸台103和第二条状凸台104。

图2是本申请实施例提供的一种框架主体,第一条状凸台以及第二条状凸台的示意图。图3是图2所示的框架主体,第一条状凸台以及第二条状凸台的俯视图。参考图2和图3可以看出,该第一条状凸台103可以包括:沿垂直于第一条状凸台103的延伸方向x间隔排布的第一条状子凸台1031和第二条状子凸台1032。也即是,该第一条状子凸台1031和第二条状子凸台1032之间可以具有条状的第一间隙a,且该第一间隙a可以与第一条状凸台103的延伸方向x平行。

该第二条状凸台104可以包括:沿垂直于第二条状凸台104的延伸方向y间隔排布的第三条状子凸台1041和第四条状子凸台1042。也即是,该第三条状子凸台1041和第四条状子凸台1042之间可以具有条状的第二间隙b,且该第二间隙b可以与第二条状凸台104的延伸方向y平行。

在本申请实施例中,掩膜板本体101的一端可以与第一条状子凸台1031和第二条状子凸台1032中的至少一个连接,该掩膜板本体101的另一端可以与第三条状子凸台1041和第四条状子凸台1042中的至少一个连接。

若掩膜板本体101的一端与第一条状子凸台1031和第二条状子凸台1032中的一个条状子凸台的连接质量较好,则该掩膜板本体101的一端无需与另一个条状子凸台连接。若掩膜板本体101的一端与第一条状子凸台1031和第二条状子凸台1032中的一个条状子凸台的连接质量较差,则该掩膜板本体101的一端还可以与另一个条状子凸台连接。由此,能够保证该掩膜板本体101的一端与条状子凸台的连接质量,提高该掩膜板本体101的一端与条状子凸台连接的可靠性。

同理,若掩膜板本体101的另一端与第三条状子凸台1041和第四条状子凸台1042中的一个条状子凸台的连接质量较好,则该掩膜板本体101的另一端无需与另一个条状子凸台连接。

若掩膜板本体101的另一端与第一条状子凸台1031和第二条状子凸台1032中的一个条状子凸台的连接质量较差,则该掩膜板本体101的另一端可以与另一个条状子凸台连接。由此,能够保证该掩膜板本体101的另一端与条状子凸台的连接质量,提高该掩膜板本体101的另一端与条状子凸台连接的可靠性。

也即是,该掩膜板本体101的两端与条状子凸台的连接质量均较高,即掩膜板本体101的两端与条状子凸台的连接的可靠性较高,该掩膜板的质量较好,进而能够保证采用该掩膜板制备得到的膜层的质量,提高显示面板的良率。

并且,若该掩膜板10中的掩膜板本体101的一端仅与第一条状子凸台1031和第二条状子凸台1032中的一个条状子凸台连接,且该掩膜板本体101的另一端仅与第三条状子凸台1041和第四条状子凸台1042中的一个条状子凸台连接。则在该掩膜板本体101与条状子凸台的焊接质量较差,需要对该掩膜板进行修复时,可以直接将掩膜板本体的一端与第一条状子凸台1031和第二条状子凸台1032中的另一个条状子凸台连接,并将掩膜板本体的另一端与第三条状子凸台1041和第二条状子凸台1042中的另一个条状子凸台连接,无需将该掩膜板本体101撕除,以在框架主体102上焊接一个新的掩膜板本体,成本较低。

综上所述,本申请实施例提供了一种掩膜板,该掩膜板包括的掩膜板本体的一端可以与第一条状子凸台和第二条状子凸台中的至少一个条状子凸台连接,该掩膜板本体的另一端可以与第三条状子凸台和第四条状子凸台中的至少一个条状子凸台连接。由于可以将掩膜板本体的两端分别与至少一个条状子凸台连接,因此能够保证该掩膜板本体的两端与条状子凸台连接的可靠性,该掩膜板的质量较好。进而,能够保证采用该掩膜板制备得到的膜层的质量,提高显示面板的良率。

可选的,该框架主体102,第一条状凸台103,以及第二条状凸台104可以为一体结构。该框架主体102,该第一条状凸台1032,以及第二条状凸台104的材料可以均为因瓦合金(invar)。

在本申请实施例中,参考图3,该第一间隙a沿第一方向m的长度(即该第一间隙a的宽度)的范围可以为1毫米(mm)至4mm。例如,该第一间隙a的宽度为3mm。该第二间隙b沿第二方向n的长度(即该第二间隙b的宽度)的范围也可以为1mm至4mm。例如,该第二间隙b的宽度为3mm。其中,该第一方向m垂直于第一条状子凸台1031的延伸方向,第二方向n垂直于第三条状子凸台1041的延伸方向。

可选的,该第一条状子凸台1031的延伸方向和第二条状子凸台1032的延伸方向之间的夹角可以小于夹角阈值。并且,该第三条状子凸台1041的延伸方向和第四条状子凸台1042的延伸方向之间的夹角可以小于夹角阈值。其中,该夹角阈值的范围可以为0度至5度。也即是,该第一条状子凸台1031的延伸方向可以与第二条状子凸台1032的延伸方向平行或近似平行。该第三条状子凸台1041的延伸方向可以与第四条状子凸台1042的延伸方向平行或近似平行。

在本申请实施例中,参考图3,该第一条状凸台103可以包括:多个第一条状子凸台1031和多个第二条状子凸台1032,且该多个第一条状子凸台1031的延伸方向可以共线,该多个第二条状子凸台1032的延伸方向可以共线。其中,每相邻两个第一条状子凸台1031沿第一条状凸台103的延伸方向x具有第一间距,每相邻两个第二条状子凸台1032沿第一条状凸台103的延伸方向x具有第二间距。该第一间距可以与第二间距相等。

并且,该第二条状凸台104可以包括:多个第三条状子凸台1041和多个第四条状子凸台1042,且该多个第三条状子凸台1041的延伸方向可以共线,该多个第四条状子凸台1042的延伸方向可以共线。其中,每相邻两个第三条状子凸台1041沿第二条状凸台104的延伸方向y具有第三间距,每相邻两个第四条状子凸台1042沿第二条状凸台104的延伸方向y具有第四间距。该第三间距可以与第四间距相等。并且,该第三间距可以与第一间距相等。

由于第一条状凸台103包括多个第一条状子凸台1031和多个第二条状子凸台1032,且第二条状凸台104包括多个第三条状子凸台1041和多个第四条状子凸台1042,因此该掩膜板10中的第一条状凸台103以及第二条状凸台104可以连接有多个掩膜板本体101(例如图1中示出了两个掩膜板本体101),进而能够采用该掩膜板10一次制备得到较多数量的显示面板,提高显示面板制备的效率。

在本申请实施例中,第一条状凸台103包括的第一条状子凸台1031的数量,可以与第二条状子凸台1032的数量相同。该第二条状凸台104包括的第三条状子凸台1041的数量,可以与第四条状子凸台1042的数量相同。并且,第一条状凸台103包括的第一条状子凸台1031的数量,可以与第二条状凸台104包括的第三条状子凸台1041的数量相同。也即是,第一条状子凸台1031,第二条状子凸台1032,第三条状子凸台1041,以及第四条状子凸台1042的数量均相同。

其中,该掩膜板10包括的掩膜板本体101的数量,可以与第一条状子凸台1031的数量相同。每个掩膜板本体101的一端可以与多个第一条状子凸台1031中的一个第一条状子凸台,以及多个第二条状子凸台1032中与该第一条状子凸台对应的一个第二条状子凸台1032中的至少一个连接。每个掩膜板本体101的另一端可以与多个第三条状子凸台1041中的一个第三条状子凸台,以及多个第四条状子凸台1042中与该第三条状子凸台对应的一个第四条状子凸台1042中的至少一个连接。

需要说明的是,该第一条状子凸台1031与第二条状子凸台1032对应是指,该第一条状子凸台1031和第二条状子凸台1032之间具有条状的第一间隙a。第三条状子凸台1041与第四条状子凸台1042对应是指,该第三条状子凸台1041和第四条状子凸台1042之间具有条状的第二间隙b。

示例的,图2和图3中示出了两个第一条状子凸台1031,两个第二条状子凸台1032,两个第三条状子凸台1041,以及两个第四条状子凸台1042。

参考图3还可以看出,该第一条状凸台103还可以包括:多个第一连接部1033。该多个第一连接部1033可以用于连接该第一条状凸台103包括的多个第一条状子凸台1031和多个第二条状子凸台1032。并且,该第二条状凸台104还可以包括:多个第二连接部1034。该多个第二连接部1034可以用于连接该第二条状凸台104包括的多个第三条状子凸台1041和多个第四条状子凸台1042。

图4是本申请实施例提供的一种第一条状子凸台和第二条状子凸台的结构示意图。参考图4,该第一条状子凸台1031可以具有第一通孔1031a,该第二条状子凸台1032具有与第一通孔1031a对应的第二通孔1032a,且该第一通孔1031a和第二通孔1032a中的一个通孔可以为螺纹孔,另一个通孔可以为通孔。其中,该第一通孔1031a的轴线,以及第二通孔1032a的轴线可以均垂直于第一条状子凸台1031的延伸方向,且均平行于掩膜板本体101。并且,该第一通孔1031a的轴线,可以与第二通孔1032a的轴线共线。

通过在该第一条状子凸台1031中设置第一通孔1031a,并在第二条状子凸台1032中设置第二通孔1032a,可以便于采用螺钉将该第一条状子凸台1031和第二条状子凸台1032连接,并且能够通过调节螺钉的紧固程度,调节该第一条状子凸台1031和第二条状子凸台1032的间距,进而调节掩膜板本体101的拉伸程度,保证该掩膜板本体101的平整性。

示例的,图4中第二通孔1032a为螺纹孔,第一通孔1031a为光孔。当然,该第二通孔1032a也可以为光孔,第一通孔1031a可以为螺纹孔。本申请实施例对此不做限定。

参考图5可以看出,该掩膜板10还可以包括第一螺钉105。该第一螺钉105可以用于从第一通孔1031a和第二通孔1032a中的光孔穿入,并与螺纹孔连接。可选的,第一螺钉105的材料可以为因瓦合金。

示例的,参考图4,第一条状子凸台1031中的第一通孔1031a为光孔,该第二条状子凸台1032中的第二通孔1032a为螺纹孔。此种情况下,参考图5,该第一螺钉105可以从第一通孔1031a中穿入,并与该第二通孔1032a连接。或者,该第一条状子凸台1031中的第一通孔1031a为螺纹孔,第二条状子凸台1032中的第二通孔1032a为光孔。此种情况下,该第一螺钉105可以从第二通孔1032a中穿入,并与该第一通孔1031a连接。

在本申请实施例中,该第一通孔1031a和第二通孔1032a中的光孔中的靠近螺纹孔的孔径a1小于远离螺纹孔的孔径a2。也即是,该光孔可以为沉头螺钉孔。

由此,可以使得该第一螺钉105的头部位于该光孔内,避免第一螺钉105的头部凸出于第一条状子凸台1031而受到其他器件的影响,保证该第一螺钉105连接该第一条状子凸台1031和第二条状子凸台1032的可靠性。

在本申请实施例中,该第三条状子凸台1041可以具有第三通孔,该第四条状子凸台1042可以具有与第三通孔对应的第四通孔,且该第三通孔和第四通孔中的一个通孔可以为螺纹孔,另一个通孔可以为光孔。其中,该第三通孔的轴线,以及第四通孔的轴线可以均垂直于第三条状子凸台1041的延伸方向,且均平行于掩膜板本体101。并且,该第三通孔的轴线,可以与第四通孔的轴线共线。

通过在该第三条状子凸台1041中设置第三通孔,并在第四条状子凸台1042中设置第四通孔,可以便于采用螺钉将该第三条状子凸台1041和第四条状子凸台1042连接,并且能够通过调节螺钉的紧固程度,调节该第三条状子凸台1041和第四条状子凸台1042的间距,进而调节掩膜板本体101的拉伸程度,保证该掩膜板本体101的平整性。

在本申请实施例中,该掩膜板还可以包括:第二螺钉。该第二螺钉可以用于从第三通孔和第四通孔中的光孔穿入,并与螺纹孔连接。可选的,第二螺钉的材料可以为因瓦合金。

示例的,该第三条状子凸台1041中的第三通孔为光孔,第四条状子凸台1042中的第四通孔为螺纹孔。此种情况下,该第二螺钉可以从第三通孔中穿入,并与第四通孔连接。或者,该第三条状子凸台1041中的第三通孔为螺纹孔,第四条状子凸台1042中的第四通孔为光孔。此种情况下,该第二螺钉可以从第四通孔中穿入,并与该第三通孔连接。

在本申请实施例中,该第三条状子凸台1041的形状可以与第一条状子凸台1031的形状相同,第四条状子凸台1042的形状可以与第二条状子凸台1032的形状相同,第二螺钉与第三条状子凸台1041和第四条状子凸台1042的连接方式,可以与第一螺钉105与第一条状子凸台1031和第二条状子凸台1032的连接方式相同。由此,该第三条状子凸台1041,第四条状子凸台1042,以及第二螺钉的结构可以参考图4或图5,本申请实施例在此不再赘述。

可选的,该第一螺钉105的直径可以小于第一条状凸台103沿垂直于掩膜板本体101的方向的长度,第二螺钉的直径可以小于第二条状凸台104沿垂直于掩膜板本体101的方向的长度。例如,该第一螺钉105的直径以及第二螺钉的直径的范围均为3mm至15mm。

参考图2和图6可以看出,该第一条状子凸台1031具有的第一通孔1031a可以为多个,例如,图6中示出了6个第一通孔1031a。相应的,该第二条状子凸台1032具有的第二通孔1032a也可以为多个。并且,该第一条状子凸台1031具有的第一通孔1031a的数量,可以与该第二条状子凸台1032具有的第二通孔1032a的数量相同。

可选的,该第三条状子凸台1041具有的第三通孔可以为多个。相应的,该第四条状子凸台1042具有的第四通孔也可以为多个。并且,该第三条状子凸台1041具有的第三通孔的数量,可以与第四条状子凸台1042具有的第四通孔的数量相同。

在本申请实施例中,多个第一通孔1031a中每相邻两个第一通孔1031a的轴线之间的距离,多个第二通孔1032a中每相邻两个第二通孔1032a的轴线之间的距离,多个第三通孔中每相邻两个第三通孔的轴线之间的距离,以及多个第四通孔中每相邻两个第四通孔的轴线之间的距离的范围均为15mm至30mm。

示例的,每相邻两个第一通孔1031a的轴线之间的距离,等于每相邻两个第二通孔1032a的轴线之间的距离,例如均为20mm。每相邻两个第三通孔的轴线之间的距离,等于每相邻两个第四通孔的轴线之间的距离均相等,例如均为20mm。

参考图2和图3可以看出,该第一条状子凸台1031相对于第二条状子凸台1032远离环形的框架主体102的中心。该第三条状子凸台1041相对于第四条状子凸台1042远离环形的框架主体102的中心。

在本申请实施例中,该掩膜板本体101的一端可以与第一条状子凸台1031连接。若该掩膜板本体101的一端与该第一条状子凸台1031的连接质量较差,则为了保证掩膜板本体101的一端与子凸台连接的可靠性,该掩膜板本体101的一端还可以与第二条状子凸台1032连接,即该掩膜板本体101的一端可以与第一条状子凸台1031和第二条状子凸台1032均连接。

参考图4和图5可以看出,该第一条状子凸台1031沿第一方向m的长度l1,可以大于第二条状子凸台1032沿第一方向m的长度l2,该第一方向m垂直于第一条状子凸台1031的延伸方向。

可选的,该第二条状子凸台1032沿第一方向m的长度l1的范围为5mm至10mm。该第一条状子凸台1032沿第一方向m的长度l2可以为第二条状子凸台1032沿第一方向m的长度l1的1.5倍至3倍。例如,该第一条状子凸台1032沿第一方向m的长度l2可以为长度l1的2倍,该第一条状子凸台1032沿第一方向m的长度l2的范围可以为10mm至20mm。

由于该第一条状子凸台1031沿第一方向m的长度l1,大于第二条状子凸台1032沿第一方向m的长度l2,则该第一条状子凸台1031的刚性,大于该第二条状子凸台1032的刚性。因此,若该掩膜板本体101的一端与第二条状子凸台1032连接,且采用第一螺钉105连接该第一条状子凸台1031和第二条状子凸台1032后,能够使得该第二条状子凸台1032在第一螺钉105的作用下,向靠近第一条状子凸台1031的方向移动,进而拉伸与该第二条状子凸台1032连接的掩膜板本体101的一端,保证该掩膜板本体101的平整性。

参考图4和图5可以看出,该框架主体102远离掩膜板本体101的一侧具有斜面,且第一条状子凸台1031和第二条状子凸台1032之间的第一间隙a可以贯穿该框架主体102。能够便于该第一螺钉105向第二条状子凸台1032施加作用力,以调整该掩膜板本体101的平整性。

在本申请实施例中,通过调节第一螺钉105连接该第一条状子凸台1031和第二条状子凸台1032的紧固程度,能够调节第二条状子凸台1032向第一条状子凸台1031移动的程度,进而调节与该第二条状子凸台1032连接的掩膜板本体101的位置。在调整好该掩膜板本体101的位置之后,操作人员即可停止调整该第一螺钉105的紧固程度,能够使得该掩膜板本体101中形成膜层的开口的位置较为准确,进而保证采用该掩膜板制备得到的膜层的位置的准确性,该膜层的质量较好,显示面板的良率较高。

另外,该掩膜板本体101的另一端可以与第三条状子凸台1041连接。若该掩膜板本体101的另一端与该第三条状子凸台1041的连接质量较差,则为了保证掩膜板本体101的另一端与条状子凸台的连接的可靠性,该掩膜板本体101的另一端还可以与第四条状子凸台1042连接,即该掩膜板本体101的另一端可以与第三条状子凸台1041和第四条状子凸台1042均连接。

可选的,该第三条状子凸台1041沿第二方向n的长度,可以大于第四条状子凸台1042沿第二方向n的长度,该第二方向n垂直于第三条状子凸台1041的延伸方向。

可选的,该第三条状子凸台1041沿第二方向n的长度,可以与第一条状子凸台1031沿第一方向m的长度相等。该第四条状子凸台1042沿第二方向n的长度,可以与第三条状子凸台1041沿第二方向n的长度相等。示例的,该第三条状子凸台1041沿第二方向n的长度的范围可以为5mm至10mm,该第四条状子凸台1042沿第二方向n的长度的范围可以为10mm至20mm。

由于该第三条状子凸台1041沿第二方向n的长度,大于第四条状子凸台1042沿第二方向n的长度,则该第三条状子凸台1041的刚性,大于该第四条状子凸台1042的刚性。因此,若该掩膜板本体101的另一端与第四条状子凸台1042连接,且采用第二螺钉连接该第三条状子凸台1041和第四条状子凸台1042后,能够使得该第四条状子凸台1042在第二螺钉的作用下,向靠近第三条状子凸台1041的方向移动,进而拉伸与该第四条状子凸台1042连接的掩膜板本体101的另一端,保证该掩膜板本体101的平整性。

在本申请实施例中,通过调节第二螺钉连接该第三条状子凸台1041和第四条状子凸台1042的紧固程度,能够调节第四条状子凸台1042向第三条状子凸台1041移动的程度,进而调节与该第四条状子凸台1042连接的掩膜板本体101的位置。在调整好该掩膜板本体101的位置之后,操作人员即可停止调整该第二螺钉的紧固程度,能够使得该掩膜板本体101中形成膜层的开口的位置较为准确,进而保证采用该掩膜板制备得到的膜层的位置的准确性,该膜层的质量较好,显示面板的良率较高。

可选的,本申请实施例提供的掩膜板本体101可以用于制备显示面板中子像素的发光层。并且,由于显示面板中各个子像素中的发光层需采用不同颜色的发光材料制备,且子像素的尺寸较小,因此该掩膜板本体101可以为精密掩膜板本体101。

示例的,假设显示面板中具有三种颜色的子像素,分别为红色子像素,绿色子像素,以及蓝色子像素。制备每种颜色的子像素的发光层对应有一个掩膜板本体101。也即是,制备该显示面板中各个子像素的发光层,需要采用三个掩膜板分别制备该红色子像素的发光层,绿色子像素的发光层,以及蓝色子像素的发光层。

在本申请实施例中,若该掩膜板本体101用于制备子像素的发光层,则通过调整该第一螺钉105和第二螺钉的紧固程度,还能够使得该掩膜板本体101中的各个开口位于待形成的发光层所在区域,保证显示面板的良率。

图7是本申请实施例提供的一种掩膜板本体的示意图。参考图7可以看出,该掩膜板本体101可以具有图形区域101a和焊接区域101b。该图形区域101a可以用于形成膜层,该焊接区域101b可以用于与条状子凸台焊接。

可选的,假设该掩膜板本体101用于制备子像素的发光层,则该掩膜板本体101的图形区域101a可以具有多个开口,每个开口可以用于制备一个子像素的发光层。并且,对于一个掩膜板本体101,该掩膜板本体101的图形区域101b具有的多个开口均可以为制备同一种颜色的子像素的发光层的开口。

参考图7,该掩膜板本体101具有两个焊接区域101b,其中一个焊接区域101b可以用于与第一条状子凸台1031和第二条状子凸台1032中的至少一个连接。另一个焊接区域101b可以用于与第三条状子凸台1041和第四条状子凸台1042中的至少一个连接。

参考图7还可以看出,该掩膜板本体101还可以具有夹持区域101c,张网机可以夹持该掩膜板本体101的夹持区域101c,以将该掩膜板本体101移动至合适位置。其中,在对该掩膜板本体101张网完成后,可以将该掩膜板本体101的夹持区域101c去除。

参考图2和图3可以看出,该框架主体102可以为矩形的框架主体102。当然,该框架主体102还可以为其他多边形的框架主体102,例如可以为六边形的框架主体102,本申请实施例对此不做限定。

参考图2和图3,该第一条状凸台103可以设置在框架主体102的第一边102a,该第二条状凸台104可以设置在框架主体102的第二边102b。图8是本申请实施例提供的另一种掩膜板的示意图,图9是本申请实施例提供的又一种掩膜板的示意图。参考图8和图9,该掩膜板10还可以包括:支撑组件106,第三条状凸台107,以及第四条状凸台108。

结合图2,图8和图9,该第三条状凸台107可以设置在框架主体102的第三边102c,该第四条状凸台108可以设置在框架主体102的第四边102d。该支撑组件106可以位于掩膜板本体101靠近框架主体102的一侧,且该支撑组件106可以与第三条状凸台107和第四条状凸台108连接,用于支撑掩膜板本体101,避免掩膜板本体101变形,保证该掩膜板10的质量。

可选的,该框架主体102,第一条状凸台103,第二条状凸台104,第三条状凸台107,以及第四条状凸台10可以为一体结构。并且,该支撑组件106,第三条状凸台107,以及第四条状凸台108的材料可以均为因瓦合金。

参考图8和图9,该第一条状凸台103的延伸方向x可以平行于第二条状凸台104的延伸方向y,该第三条状凸台107的延伸方向r可以平行于第四条状凸台108的延伸方向s。并且,该第一条状凸台103,第三条状凸台107,第二条状凸台104,以及第四条状凸台108可以依次连接,且该第一条状凸台103,第三条状凸台107,第二条状凸台104,以及第四条状凸台108可以为一体结构。也即是,该第一条状凸台103,第三条状凸台107,第二条状凸台104,以及第四条状凸台108依次连接后可以构成矩形的凸台。

在本申请实施例中,参考图8和图9,为了使得支撑组件106与第三条状凸台107和第四条状凸台108连接,该第三条状凸台107可以具有至少一个第一凹槽107a,该第四条状凸台108可以具有至少一个第二凹槽108a。该支撑组件106可以通过该至少一个第一凹槽107a与第三条状凸台107连接,并通过至少一个第二凹槽108a与第四条状凸台108连接。

示例的,图8所示的第三条状凸台107具有两个第一凹槽107a,第四条状凸台108具有两个第二凹槽108a。图9所示的第三条状凸台107具有四个第一凹槽107a,第四条状凸台108具有四个第二凹槽108a。

当然,参考图2,为了保证该支撑组件106连接的可靠性,该第一条状凸台103可以具有至少一个第三凹槽103a,该第二条状凸台104可以具有至少一个第四凹槽104a。该支撑组件106还可以通过该至少一个第三凹槽103a与第一条状凸台103连接,并通过至少一个第四凹槽104a与第二条状凸台104连接。

可选的,结合图2和图3,该第三凹槽103a可以位于第一连接部1033所在区域,该第四凹槽104a可以位于第二连接部1043所在区域。

示例的,图2所示的第一条状凸台103具有三个第三凹槽103a,第二条状凸台104具有三个第四凹槽104a。该三个第三凹槽103a可以分别位于一个第一连接部1033所在区域,该三个第四凹槽104a可以分别位于一个第二连接部1043所在区域。

在本申请实施例中,为了保证该第一条状凸台103,第二条状凸台104,第三条状凸台107,以及第四条状凸台108远离框架主体102的一侧的平整性,进而保证掩膜板本体101的平整性。一方面可以对该第一条状凸台103,第二条状凸台104,第三条状凸台107,以及第四条状凸台108远离框架主体102的一侧进行精密加工处理。另一方面需使得第一条状凸台103,第二条状凸台104,第三条状凸台107,以及第四条状凸台108远离框架主体102的一侧共面。也即是,第一条状凸台103,第二条状凸台104,第三条状凸台107,以及第四条状凸台108沿第三方向w的长度相等。其中,第三方向w垂直于掩膜板本体101。

示例的,该第一条状凸台103,第二条状凸台104,第三条状凸台107,以及第四条状凸台108沿第三方向w的长度范围为5mm至20mm。

图10是本申请实施例提供的一种支撑组件的示意图。图11是图10所示的支撑组件的俯视图。参考图10和图11,该支撑组件106可以为片状结构,且该片状结构具有至少一个开口106a。示例的,图10和图11中示出了6个开口106a。其中,该每个开口106a的尺寸可以与待制备的显示面板的尺寸相同,每个开口106a可以使得一个显示面板的膜层从该开口106a沉积在该显示面板中的衬底基板上,以实现显示面板的制备。

在本申请实施例中,为了保证制备得到的膜层的质量,需使得掩膜板本体101靠近框架主体102的一面,与第一条状凸台103,第二条状凸台104,第三条状凸台107,以及第四条状凸台108靠近掩膜板本体101的一面均共面。

并且,由于该支撑组件106为片状结构,该片状结构中各个区域沿第三方向w的长度可以相同。因此可以使得该第一凹槽107a沿第三方向w的长度(即第一凹槽107a的深度),第二凹槽108a沿第三方向w的长度(即第二凹槽108a的深度),第三凹槽103a沿第三方向w的长度(即第三凹槽103a的深度),以及第四凹槽104a沿第三方向w的长度(即第四凹槽104a的深度),均等于该片状结构沿第三方向w的长度(即片状结构的厚度)。

可选的,该第一凹槽107a沿第三方向w的长度,第二凹槽108a沿第三方向w的长度,该第三凹槽103a沿第三方向w的长度,第四凹槽104a沿第三方向w的长度,以及该片状结构沿第三方向w的长度的范围均为50微米(μm)至200μm。例如,均为100μm。

或者,图12是本申请实施例提供的另一种支撑组件的示意图。参考图12,该支撑组件106可以包括多个条状结构,该多个条状结构可以围成至少一个开口106a。示例的,图12中示出了6个开口106a。其中,每个开口106a的尺寸可以与待制备的显示面板的尺寸相同,每个开口106a可以使得一个显示面板的膜层从该开口106a沉积在该显示面板中的衬底基板上,以实现显示面板的制备。

在本申请实施例中,该多个条状结构106可以包括第一条状结构1061和第二条状结构1062。其中第一条状结构1061相对于第二条状结构1062靠近掩膜板本体101,且该第一条状结构1061的延伸方向g可以与该第二条状结构1062的延伸方向h相交。

例如,该第一条状结构1061的延伸方向g可以与第一条状凸台103的延伸方向x平行,该第二条状结构1062的延伸方向h可以与第三条状凸台107的延伸方向r平行。也即是,该第一条状结构1061的延伸方向g与第二条状结构1062的延伸方向h垂直。由此,该第一条状结构1061的两端可以分别与第三条状凸台107以及第四条状凸台108连接,该第二条状结构1062的两端可以分别与第一条状凸台103以及第四条状凸台108连接。

因此为了使得掩膜板本体101靠近框架主体102的一面,与第一条状凸台103,第二条状凸台104,第三条状凸台107,以及第四条状凸台108靠近掩膜板本体101的一面均共面。可以使得第一凹槽107a沿第三方向w的长度,以及第二凹槽108a沿第三方向w的长度,均大于该第三凹槽103a沿第三方向w的长度,以及第四凹槽104a沿第三方向w的长度。

示例的,该第三凹槽103a沿第三方向w的长度,以及第四凹槽104a沿第三方向w的长度,可以均等于该第二条状结构1062沿第三方向w的长度(即第二条状结构1062的厚度)。该第一凹槽107a沿第三方向w的长度,以及第二凹槽108a沿第三方向w的长度可以均等于该第一条状结构1061和第二条状结构1062沿第三方向w的长度之和(即第一条状结构1061和第二条状结构1062的厚度之后)。

可选的,第三凹槽103a沿第三方向w的长度,第四凹槽104a沿第三方向w的长度,以及该第二条状结构1062沿第三方向w的长度的范围可以均为40μm至100μm。该第一凹槽107a沿第三方向w的长度,第二凹槽108a沿第三方向w的长度,以及该第一条状结构1061和第二条状结构1062沿第三方向w的长度之和的范围可以均为90μm至200μm。

综上所述,本申请实施例提供了一种掩膜板,该掩膜板包括的掩膜板本体的一端可以与第一条状子凸台和第二条状子凸台中的至少一个条状子凸台连接,该掩膜板本体的另一端可以与第三条状子凸台和第四条状子凸台中的至少一个条状子凸台连接。由于可以将掩膜板本体的两端分别与至少一个条状子凸台连接,因此能够保证该掩膜板本体的两端与条状子凸台连接的可靠性,该掩膜板的质量较好。进而,能够保证采用该掩膜板制备得到的膜层的质量,提高显示面板的良率。

图13是本申请实施例提供的一种掩膜板的制造方法的流程图。该方法可以用于制备本申请实施例提供的掩膜板,以制备图1所示的掩膜板为例进行说明,参考图13,该方法可以包括:

步骤201、提供环形的框架主体,第一条状凸台,第二条状凸台,以及掩膜板本体。

其中,参考图2,该第一条状凸台103和第二条状凸台104相对设置在框架主体102上且与该框架主体102固定连接。该第一条状凸台103可以包括:沿垂直于第一条状凸台103的延伸方向间隔排布的第一条状子凸台1031和第二条状子凸台1032。该第二条状凸台104可以包括:沿垂直于第二条状凸台104的延伸方向间隔排布的第三条状子凸台1041和第四条状子凸台1042。

步骤202、将掩膜板本体的一端与第一条状子凸台和第二条状子凸台中的至少一个焊接,并将掩膜板本体的另一端与第三条状子凸台和第四条状子凸台中的至少一个焊接。

在本申请实施例中,若将掩膜板本体101的一端与第一条状子凸台1031和第二条状子凸台1032中的一个条状子凸台焊接之后,其焊接质量较好,则该掩膜板本体101的一端无需与另一个条状子凸台焊接。若将掩膜板本体101的一端与第一条状子凸台1031和第二条状子凸台1032中的一个条状子凸台焊接之后,且焊接质量较差,则可以将该掩膜板本体101的一端与另一个条状子凸台焊接。由此,能够保证该掩膜板本体101的一端与条状子凸台的焊接质量,提高掩膜板本体101的一端与条状子凸台焊接的可靠性。

同理,若将掩膜板本体101的另一端与第三条状子凸台1041和第四条状子凸台1042中的一个条状子凸台焊接之后,且焊接质量较好,则该掩膜板本体101的另一端无需与另一个条状子凸台焊接。若将掩膜板本体101的另一端与第一条状子凸台1031和第二条状子凸台1032中的一个条状子凸台焊接之后,其焊接质量较差,则可以将该掩膜板本体101的另一端与另一个条状子凸台焊接。由此,能够保证该掩膜板本体101的另一端与条状子凸台的焊接质量,提高该掩膜板本体101的另一端与条状子凸台焊接的可靠性。

也即是,该掩膜板本体101的两端与条状子凸台的焊接质量均较高,即掩膜板本体101的两端与条状子凸台的焊接的可靠性较高,该掩膜板的质量较好,进而能够保证采用该掩膜板制备得到的膜层的质量,提高显示面板的良率。

综上所述,本申请实施例提供了一种掩膜板的制造方法,该方法可以将掩膜板本体的一端与第一条状子凸台和第二条状子凸台中的至少一个条状子凸台连接,并将该掩膜板本体的另一端与第三条状子凸台和第四条状子凸台中的至少一个条状子凸台连接。由于可以将掩膜板本体的两端分别与至少一个条状子凸台连接,因此能够保证该掩膜板本体的两端与条状子凸台连接的可靠性,该掩膜板的质量较好。进而,能够保证采用该掩膜板制备得到的膜层的质量,提高显示面板的良率。

图14是本申请实施例提供的另一种掩膜板的制造方法的流程图,该方法可以用于制备本申请实施例提供的掩膜板,参考图14,该方法可以包括:

步骤301、提供环形的框架主体,第一条状凸台,第二条状凸台,以及掩膜板本体。

其中,参考图2,该第一条状凸台103和第二条状凸台104相对设置在框架主体102上且与该框架主体102固定连接。该第一条状凸台103可以包括:沿垂直于第一条状凸台103的延伸方向间隔排布的第一条状子凸台1031和第二条状子凸台1032。该第二条状凸台104可以包括:沿垂直于第二条状凸台104的延伸方向间隔排布的第三条状子凸台1041和第四条状子凸台1042。

步骤302、将支撑组件与第一条状凸台,第二条状凸台,第三条状凸台,以及第四条状凸台焊接。

在本申请实施例中,可以采用张网机将该支撑组件106与第三条状凸台107的第一凹槽107a,第四条状凸台108的第二凹槽108a,第一条状凸台103的第三凹槽103a,以及第二条状凸台104的第四凹槽104a焊接。

步骤303、将掩膜板本体的一端与第一条状子凸台焊接,并将掩膜板本体的另一端与第三条状子凸台焊接。

在本申请实施例中,可以采用张网机将掩膜板本体拉伸至合适位置,使得该掩膜板本体101的焊接区域101b与条状子凸台远离框架主体102的一侧接触。之后,通过张网机所产生的激光将该掩膜板本体101的一端与第一条状子凸台1031焊接,并将掩膜板本体101的另一端与第三条状子凸台1041焊接。

参考图3,该第一条状子凸台1031相对于第二条状子凸台1032远离环形的框架主体102的中心,第三条状子凸台1041相对于第四条状子凸台1042远离环形的框架主体102的中心。也即是,在初次焊接时,可以将掩膜板本体101与远离框架主体102的中心的条状子凸台焊接。

步骤304、确定掩膜板本体的一端与第一条状子凸台的焊接质量,以及掩膜板本体的另一端与第三条状子凸台的焊接质量。

在本申请实施例中,张网机可以确定该掩膜板本体101的一端与第一条状子凸台1031的焊接质量,以及掩膜板本体101的另一端与第三条状子凸台1041的焊接质量。在确定出该掩膜板本体101的一端与第一条状子凸台1031的焊接质量较好时,无需执行下述步骤305;在确定出该掩膜板本体101的一端与第一条状子凸台1031的焊接质量较差时,执行下述步骤305。并且,在确定出掩膜板本体101的另一端与第三条状子凸台1041的焊接质量较好时,无需执行下述步骤306;在确定出该掩膜板本体101的另一端与第三条状子凸台1041的焊接质量较差时,执行下述步骤306。

当然,若确定出该掩膜板本体101的一端与第一条状子凸台1031的焊接质量较好,且确定出掩膜板本体101的另一端与第三条状子凸台1041的焊接质量较好,则下述步骤305和下述步骤306均无需执行,即掩膜板10制备完成。

在本申请实施例中,若在制造该掩膜板10的过程中,该掩膜板本体101的一端未与第二条状子凸台1032焊接。则在该掩膜板10的后续使用过程中,若确定出该掩膜板本体101的一端与第一条状子凸台1031的焊接质量较差,可以再次执行下述步骤305。另外,若在制造该掩膜板10的过程中,该掩膜板本体101的另一端未与第四条状子凸台1042焊接。则在该掩膜板10的后续使用过程中,若确定出该掩膜板本体101的另一端与第三条状子凸台1041的焊接质量较差,可以再次执行下述步骤306。

步骤305、若掩膜板本体的一端与第一条状子凸台的第一焊接区域中的至少部分区域断裂,则将掩膜板本体的一端与第二条状子凸台焊接。

在本申请实施例中,若张网机检测到掩膜板本体101的一端与第一条状子凸台1031的第一焊接区域中的至少部分区域断裂,即该张网机检测到该掩膜板本体101的一端与该第一条状子凸台1031的焊接质量较差。因此,可以采用张网机将掩膜板本体101的一端与第二条状子凸台1032焊接,保证该掩膜板本体101的一端与条状子凸台的焊接的可靠性。

之后,为了保证掩膜板本体101的平整性,还可以将第一螺钉105从第一通孔和第二通孔中的光孔穿入,并与螺纹孔连接,调整该第一螺钉105的紧固程度,使得该第二条状子凸台1032向靠近第一条状子凸台1031的方向移动,进而拉伸与该第二条状子凸台1032连接的掩膜板本体101的一端,保证该掩膜板本体101的平整性。

并且,若该掩膜板本体101用于制备子像素的发光层,则通过调整该第一螺钉105的紧固程度,还能够使得该掩膜板本体101中的开口位于待形成的发光层所在区域,保证显示面板的良率。

步骤306、若掩膜板本体与第三条状子凸台的第二焊接区域中的至少部分区域断裂,则将掩膜板本体的另一端与第四条状子凸台焊接。

在本申请实施例中,若张网机检测到掩膜板本体101的另一端与第三条状子凸台1041的第二焊接区域中的至少部分区域断裂,即该张网机检测到该掩膜板本体101的另一端与该第三条状子凸台1041的焊接质量较差,导致掩膜板本体101的部分区域存在褶皱。此时,可以采用张网机将掩膜板本体101的另一端与第四条状子凸台1042焊接,保证该掩膜板本体101的另一端与条状子凸台的焊接的可靠性。

之后,为了保证掩膜板本体101的平整性,还可以将第二螺钉从第三通孔和第四通孔中的光孔穿入,并与螺纹孔连接,调整该第二螺钉的紧固程度,使得该第四条状子凸台1042向靠近第三条状子凸台1041的方向移动,进而拉伸与该第四条状子凸台1042连接的掩膜板本体101的另一端,保证该掩膜板本体101的平整性。

并且,若该掩膜板本体101用于制备子像素的发光层,则通过调整该第二螺钉的紧固程度,还能够使得该掩膜板本体101中的开口位于待形成的发光层所在区域,保证显示面板的良率。

可选的,本申请实施例提供的掩膜板的制造方法的步骤的先后顺序可以进行适当调整,步骤也可以根据情况进行相应增减。例如,步骤302可以根据实际情况删除。任何熟悉本技术领域的技术人员在本申请揭露的技术范围内,可轻易想到变化的方法,都应涵盖在本申请的保护范围之内,因此不再赘述。

综上所述,本申请实施例提供了一种掩膜板的制造方法,该方法可以将掩膜板本体的一端与第一条状子凸台和第二条状子凸台中的至少一个条状子凸台连接,并将该掩膜板本体的另一端与第三条状子凸台和第四条状子凸台中的至少一个条状子凸台连接。由于可以将掩膜板本体的两端分别与至少一个条状子凸台连接,因此能够保证该掩膜板本体的两端与条状子凸台连接的可靠性,该掩膜板的质量较好。进而,能够保证采用该掩膜板制备得到的膜层的质量,提高显示面板的良率。

以上所述仅为本申请的可选实施例,并不用以限制本申请,凡在本申请的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本申请的保护范围之内。

当前第1页1 2 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1