技术特征：
1.一种砂纸更换系统，包含：装载工具，用于装载板，将砂纸片固定到所述板的表面上；砂纸固定工具，用于：从所述砂纸片上取下衬层以暴露所述砂纸片的粘着面，及使用所述砂纸片的所述粘着面将所述砂纸片固定到所述板的所述表面；平坦度检测器，用于在将所述砂纸片固定于所述板的所述表面之后，确定所述砂纸片的表面是否足够平坦；及卸载工具，用于在所述砂纸片固定到所述板的所述表面之后存储所述板。2.根据权利要求1所述的系统，其中所述砂纸固定工具包含：真空吸盘，用于固持所述砂纸片，使所述砂纸片的所述粘着面与所述板的所述表面成角度，真空台，用于移动所述板使所述砂纸片的所述粘着面逐渐压到所述板的所述表面上，及压力滚筒，当所述真空台移动所述板时，所述压力滚筒从所述真空吸盘中拉出所述砂纸片。3.根据权利要求1所述的系统，进一步包含砂纸移除工具，以在将砂纸片固定到所述板的所述表面之前从所述板的所述表面移除另一砂纸片。4.根据权利要求1所述的系统，其中所述装载工具进一步用于：确定没有砂纸片固定到所述板的所述表面，及根据确定没有砂纸片固定到所述板，将所述板提供给所述砂纸固定工具。5.根据权利要求1所述的系统，其中所述装载工具进一步用于：确定另一砂纸片固定到所述板的所述表面，将所述板提供给所述砂纸移除工具，以从所述板的所述表面移除所述另一砂纸片，及在所述另一砂纸片已被所述砂纸移除工具从所述板的所述表面移除之后，将所述板提供给所述砂纸固定工具。6.一种使用砂纸更换系统的方法，包括：通过系统确定板的表面足够平坦；通过所述系统从砂纸片上移除衬层以暴露所述砂纸片的粘着面；通过所述系统根据确定所述板的所述表面足够平坦，将所述砂纸片的所述粘着面压到所述板的所述表面上；通过所述系统在所述砂纸片压到所述板的所述表面之后确定所述砂纸片的所述表面是否足够平坦；及通过所述系统根据确定所述砂纸片的所述表面是否足够平坦，选择丢弃或存储所述板，根据确定所述砂纸片的所述表面不够平坦而丢弃所述板，或根据确定所述砂纸片的所述表面足够平坦来存储所述板。7.根据权利要求6所述的方法，其中将所述砂纸片的所述粘着面压到所述板的所述表面包括：通过所述系统的真空吸盘固持所述砂纸片，使得所述砂纸片的所述粘着面相对于所述板的所述表面成非零角度，
通过所述系统的真空台移动所述板，使得所述砂纸片的所述粘着面随着所述板的移动逐渐压到所述板的所述表面上，及当所述真空台移动所述板时，通过所述系统的压力滚筒从所述真空吸盘中拉出所述砂纸片。8.根据权利要求6所述的方法，进一步包括在将所述砂纸片的所述粘着面压到所述板的所述表面之前，从所述板的所述表面移除另一砂纸片。9.一种使用砂纸更换系统的方法，包括：通过砂纸固定工具的真空吸盘固持砂纸片，使得所述砂纸片的粘着面相对于所述砂纸片要固定的板的表面成角度；通过所述砂纸固定工具的真空台移动所述板，使得所述砂纸片的所述粘着面逐渐压到所述板的所述表面上；随着所述真空台移动所述板，通过所述砂纸固定工具的所述压力滚筒从所述真空吸盘中拉出所述砂纸片；及随着所述真空台将所述板移动到所述压力滚筒下方，通过所述砂纸固定工具的所述压力滚筒将所述砂纸片的所述粘着面压到所述板的所述表面上。10.根据权利要求9所述的方法，进一步包括在将所述板提供给所述砂纸固定工具之前从所述板的所述表面移除另一砂纸片。
技术总结
本发明实施例涉及砂纸更换系统。一种系统包含装载工具以装载板，将砂纸片固定到板的表面上。所述系统包含砂纸固定工具，用于从砂纸片上移除衬层以暴露砂纸片的粘着面，并使用砂纸片的粘着面将砂纸片固定到板的表面。所述系统包含平坦度检测器，用于在将砂纸片固定到板的表面之后确定砂纸片的表面是否足够平坦。所述系统包含卸载工具，用于在将砂纸片固定到板的表面之后存储板。的表面之后存储板。的表面之后存储板。
技术研发人员：徐伊芃 蔡正钊 吴政隆 黄志宏 白峻荣
受保护的技术使用者：台湾积体电路制造股份有限公司
技术研发日：2022.02.18
技术公布日：2022/12/12