技术特征：
1.一种调整研磨机磨盘平整度的测试仪，其特征在于，包括测试表架，所述测试表架包括长度与磨盘直径相适应的钛合金支架（1）和设置在钛合金支架（1）上的千分表（2），所述千分表（2）至少为三个，三个千分表（2）分别设置在钛合金支架（1）的中部和两端，且三个千分表（2）的安装方向相同；还包括用于将所有千分表（2）的探头（7）校准到同一水平面的校准台面。2.根据权利要求1所述的调整研磨机磨盘平整度的测试仪，其特征在于，所述千分表（2）为三至七个。3.根据权利要求1所述的调整研磨机磨盘平整度的测试仪，其特征在于，所述千分表（2）为五个。4.根据权利要求3所述的调整研磨机磨盘平整度的测试仪，其特征在于，五个所述千分表（2）沿钛合金支架（1）的长度方向均匀设置，且其中一个千分表（2）位于钛合金支架（1）的中部。5.一种调整磨盘平整度的调整方法，其特征在于，应用权利要求1-4中任意一项所述的调整研磨机磨盘平整度的测试仪进行磨盘平整度的调整，包括下述步骤为：s1、先通过修盘的方式将上磨盘和下磨盘上的锈处理干净；s2、通过校准台面将所有千分表（2）的探头（7）校准到同一水平面；s3、将测量表架放置到下磨盘上测量下磨盘的平整度，对下磨盘进行测量并记录数据；s4、以设置于钛合金支架（1）中部的千分表（2）为基准，中部的千分表（2）的数据大于其两侧千分表（2）的数据时，判定为凸盘，反之为凹盘；根据判定结果，调整研磨机太阳轮和外齿圈的转速比以及修正轮的旋转方向。6.根据权利要求5所述的调整磨盘平整度的调整方法，其特征在于，所述步骤s4中，根据判定结果，调整研磨机太阳轮和外齿圈的转速比以及修正轮的旋转方向具体为：
①
当判定磨盘为凸盘时，调整研磨机太阳轮和外齿圈的转速比以使修正轮逆时针旋转进行修盘，设定修盘时间25-35分钟；修盘结束后通过上磨盘和下磨盘对磨12-18分钟，再测下磨盘的平整度，直到千分表（2）间数据的差值≤40um，磨盘平整度调整完成；
②
当判定磨盘为凹盘时，调整研磨机太阳轮和外齿圈的转速比以使修正轮顺时针旋转进行修盘，设定修盘时间25-35分钟；修盘结束后通过上磨盘和下磨盘对磨12-18分钟，再测下磨盘的平整度，直到千分表（2）间数据的差值≤40um，磨盘平整度调整完成。
技术总结
本发明公开了一种调整研磨机磨盘平整度的测试仪以及调整方法，解决了现有技术中采用人为估计的方式判断磨盘的平整度，常常出现人为估算误差，导致产品报废，造成生产成本提高的技术问题。所述测试仪包括测试表架，所述测试表架包括长度与磨盘直径相适应的钛合金支架（1）和设置在钛合金支架（1）上的千分表（2），所述千分表（2）至少为三个，三个千分表（2）分别设置在钛合金支架（1）的中部和两端，且三个千分表（2）的安装方向相同；还包括用于将所有千分表（2）的探头（7）校准到同一水平面的校准台面。本发明的调整研磨机磨盘平整度的测试仪以及调整方法，调整速度快、精度高，提高了生产效率和成品合格率。率和成品合格率。率和成品合格率。
技术研发人员：傅昭林 张超 代刚
受保护的技术使用者：成都青洋电子材料有限公司
技术研发日：2022.09.16
技术公布日：2022/12/19