技术特征：
1.一种团簇离子束沉积基片架，包括支撑框(1)，其特征在于：所述支撑框(1)内壁滑动连接有第一支杆(2)，所述第一支杆(2)的底部活动连接有连接结构(6)，所述连接结构(6)的底部活动连接有第二支杆(3)，所述第二支杆(3)的两端与支撑框(1)的内壁滑动连接，所述支撑框(1)的底部固定连接有支撑块(23)，所述第一支杆(2)的内部开设有水平设置的第一活动槽(7)，所述第一活动槽(7)的内壁滑动连接有插杆(8)，所述第一支杆(2)的内部开设有竖直设置的第二活动槽(9)，所述第二活动槽(9)的上端与第一活动槽(7)的内部相连通，所述第二活动槽(9)的内部设置有顶杆(10)，所述顶杆(10)的外壁固定连接有挡环(11)，所述挡环(11)的外壁与第二活动槽(9)的内壁滑动连接，所述挡环(11)的底部固定连接有弹簧(12)，所述弹簧(12)的底部固定连接有套筒(18)，所述套筒(18)的外壁与第二活动槽(9)底部的内壁固定连接。2.根据权利要求1所述的一种团簇离子束沉积基片架，其特征在于：所述支撑框(1)的内壁且位于第一支杆(2)的两端处开设有t形槽(5)，所述支撑框(1)的内壁且位于第二支杆(3)的四周处也开设有相同的t形槽(5)，所述第一支杆(2)、第二支杆(3)的两端均固定连接有t形块(4)，所述t形块(4)的外壁与t形槽(5)的内壁滑动连接。3.根据权利要求2所述的一种团簇离子束沉积基片架，其特征在于：所述t形块(4)的外壁固定连接有多个滚轮(13)，所述滚轮(13)与t形槽(5)的内壁活动连接。4.根据权利要求1所述的一种团簇离子束沉积基片架，其特征在于：所述第一支杆(2)的外壁开设有滑槽(14)，所述滑槽(14)与第一活动槽(7)的内部相连通，所述插杆(8)的一端固定连接有把手(15)，所述把手(15)的外壁与滑槽(14)的内壁滑动连接。5.根据权利要求1所述的一种团簇离子束沉积基片架，其特征在于：所述连接结构(6)包含有固定板(19)，所述固定板(19)两侧的顶部固定连接有第一挡片(20)，所述固定板(19)底部的两端固定连接有第二挡片(21)，所述第二挡片(21)与第一挡片(20)交错分布，所述固定板(19)的中部开设有通孔(22)。6.根据权利要求1所述的一种团簇离子束沉积基片架，其特征在于：所述插杆(8)靠近顶杆(10)的一侧底边开设有第一斜槽(16)，所述顶杆(10)靠近插杆(8)的一侧底边开设有第二斜槽(17)。
技术总结
本实用新型公开了一种团簇离子束沉积基片架，包括支撑框，所述支撑框内壁滑动连接有第一支杆，所述第一支杆的底部活动连接有连接结构，所述连接结构的底部活动连接有第二支杆，所述第二支杆的两端与支撑框的内壁滑动连接，所述支撑框的底部固定连接有支撑块，所述第一支杆的内部开设有水平设置的第一活动槽，所述第一活动槽的内壁滑动连接有插杆。通过设置的插杆，可以沿着滑槽滑动把手，使得插杆沿着第一活动槽滑动，从而使得插杆抵触顶杆，让顶杆下压，顶杆穿过连接结构后顶住第二支杆的上表面，从而使得第一支杆、第二支杆都被固定住，以达到固定方便的效果，操作简单，提高更换基片架的效率。基片架的效率。基片架的效率。
技术研发人员：付德春 田灿鑫 吐沙姑
受保护的技术使用者：宜昌后皇真空科技有限公司
技术研发日：2022.06.08
技术公布日：2023/1/5