技术特征：
1.一种氮化铝基片表面抛光装置，包括箱体(1)和抛光电机(4)，其特征在于：所述抛光电机(4)的外壳两侧设有清理组件，所述清理组件包括安装座(5)、可拆卸支柱(51)、气泵(52)、安装管(53)和出气口(54)，所述抛光电机(4)的外壳两侧固定有安装座(5)，所述安装座(5)的一侧安装有可拆卸支柱(51)，所述可拆卸支柱(51)的另一端固定安装有气泵(52)，所述气泵(52)的输出端固定有安装管(53)，所述安装管(53)的另一端安装有出气口(54)。2.根据权利要求1所述的一种氮化铝基片表面抛光装置，其特征在于：所述箱体(1)的正面安装有防护门(11)，所述防护门(11)的表面设有观察口(12)。3.根据权利要求1所述的一种氮化铝基片表面抛光装置，其特征在于：所述箱体(1)的一侧上方固定有电机(2)，所述电机(2)的输出端传动连接有螺杆(21)，所述螺杆(21)的另一端固定连接于轴承(22)的内环上，所述螺杆(21)的表面螺纹连接有滑块(23)，所述滑块(23)的底部固定安装有连接板(24)。4.根据权利要求3所述的一种氮化铝基片表面抛光装置，其特征在于：所述连接板(24)的底部固定安装有气缸(3)，所述气缸(3)的输出端固定安装有安装板(31)。5.根据权利要求4所述的一种氮化铝基片表面抛光装置，其特征在于：所述安装板(31)的底部固定安装有抛光电机(4)，所述抛光电机(4)的输出轴固定安装有抛光盘(41)。6.根据权利要求1所述的一种氮化铝基片表面抛光装置，其特征在于：所述箱体(1)内的底部固定安装有放置台(6)，所述放置台(6)的顶部两端设有可调节卡座(61)。
技术总结
本实用新型公开了一种氮化铝基片表面抛光装置，属于氮化铝基片加工技术领域，包括箱体和抛光电机，所述抛光电机的外壳两侧设有清理组件，所述清理组件包括安装座、可拆卸支柱、气泵、安装管和出气口，所述抛光电机的外壳两侧固定有安装座，所述安装座的一侧安装有可拆卸支柱，所述可拆卸支柱的另一端固定安装有气泵，所述气泵的输出端固定有安装管，所述安装管的另一端安装有出气口；通过设置清理组件的部件进而配合使用，从而便于对氮化铝基片加工时产生的灰尘与废屑进行清理的作用，进而以便提高氮化铝基片加工的质量。提高氮化铝基片加工的质量。提高氮化铝基片加工的质量。
技术研发人员：严回
受保护的技术使用者：安徽蓝讯微晶科技有限责任公司
技术研发日：2022.09.07
技术公布日：2023/2/3