一种粉末改性的真空滚筒镀膜设备的制作方法

本发明涉及真空镀膜，具体为一种粉末改性的真空滚筒镀膜设备。

背景技术：

1、真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料，使其蒸发并凝结于镀件（金属、半导体或绝缘体）表面而形成薄膜的一种方法。对于粉体材料，通过真空镀膜处理，提升其表面硬度、耐腐蚀性及光学性能，其应用范围必将进一步扩大。

2、为了解决粉末改性的真空滚筒镀膜问题，公告号为cn201883142u的专利公开了一种粉末镀膜设备，包括真空室、热丝电极、磁控靶、多工位转靶、离子枪及反弹振动装置，所述真空室内反弹振动装置的样品盘上方设置热丝电极、磁控靶、多工位转靶及离子枪，离子枪的离子束通过多工位转靶的靶面反射至样品盘，磁控靶的中心线交于样品盘。该方案拉开粉末相邻颗粒间距离，使之减少颗粒之间的摩擦，避免被镀层被磨掉，使得每个粉末颗粒每个面都能产生朝向靶面或热丝电极的机会，从而实现在粉末颗粒上各个面上镀膜；

3、但是现有装置还存在以下问题：该装置中粉末颗粒存在混合不均匀，无法保证其镀层均匀度，降低了对粉末改性的精度。因此，提出一种粉末改性的真空滚筒镀膜设备。

技术实现思路

1、针对现有技术的不足，本发明提供了一种粉末改性的真空滚筒镀膜设备，解决了粉末颗粒存在混合不均匀，无法保证其镀层均匀度，降低了对粉末改性的精度的问题。

2、为实现以上目的，本发明通过以下技术方案予以实现：一种粉末改性的真空滚筒镀膜设备，包括炉架，所述炉架上方设置有调节机构、镀膜机构和夹紧机构，所述调节机构位于镀膜机构下方，所述夹紧机构位于镀膜机构表面；

3、所述镀膜机构包括支撑组件和镀膜组件；

4、镀膜组件位于支撑组件表面；

5、支撑组件包括固定座立板，所述固定座立板右侧设置有支撑架，所述支撑架右侧设置有支架立柱，所述支架立柱上方设置有固定座；

6、镀膜组件包括法兰板，所述法兰板左侧设置有固定盘定位圈，固定盘定位圈内壁通过螺栓与固定座立板内壁螺纹连接，所述法兰板左侧面安装有炉门托轮，所述法兰板右侧设置有真空室内筒，所述真空室内筒右侧设置有内筒后端板，所述固定座上方设置有电机，所述电机输出杆左端面贯穿固定座右侧面延伸至固定座左侧，所述固定座左侧设置有转动轴，所述转动轴表面固定套设有第二齿轮，所述电机输出杆表面固定套设有第一齿轮，所述转动轴左侧设置有真空室外筒，所述真空室外筒右侧面安装有密封座，所述真空室外筒内部设置有滚筒和四个浮动支撑滚轮，四个所述浮动支撑滚轮分别位于滚筒下方两侧，所述支撑架上方设置有炉架面板，所述炉架面板上方设置有两个支撑板，两个所述支撑板顶面均与真空室外筒底面固定连接。

7、优选的，所述炉门托轮表面与固定盘定位圈表面接触，所述真空室内筒左侧面与法兰板右侧面固定连接，所述真空室内筒右侧面通过螺栓与内筒后端板左侧面螺纹连接，所述真空室内筒内部上沿筒壁布置有磁过滤、弧源及平面靶等源部件，真空室内筒中各源部件的靶材粒子磁控溅射到滚筒内粉末微粒表面，进行镀膜处理。

8、优选的，所述支架立柱左侧面通过螺栓与支撑架右侧面螺纹连接，支撑架顶面与炉架面板底面固定连接，两个所述支撑板底面通过螺栓与支撑架顶面螺纹连接，支撑板便于对真空室外筒进行支撑。

9、优选的，所述固定座底面通过螺栓与支架立柱顶面螺纹连接，所述电机左侧面与固定座右侧面固定连接，所述第一齿轮齿面与第二齿轮齿面啮合，提高电机连接的稳定性。

10、优选的，所述转动轴左端面贯穿密封座右侧面和真空室外筒右侧面延伸至真空室外筒内部，所述转动轴表面通过轴承座分别与真空室外筒内壁和密封座内壁转动连接，所述转动轴左端面与滚筒右侧面固定连接，密封座避免出现漏气现象。

11、优选的，四个所述浮动支撑滚轮均安装于真空室外筒内壁，四个所述真空室外筒表面均与滚筒表面转动连接，浮动支撑滚轮用于支撑滚筒转动时不发生偏斜。

12、优选的，所述夹紧机构包括两个固定耳板，两个所述固定耳板对称设置，两个所述固定耳板内端面均与真空室外筒表面固定连接，所述固定耳板右侧面固定连接有夹紧气缸，所述夹紧气缸输出杆左端面贯穿固定耳板右侧面延伸至固定耳板左侧，便于将法兰板与真空室外筒之间进行夹紧。

13、优选的，所述真空室外筒左侧面贯通开设有空槽，空槽内部安装有密封圈，密封圈避免在抽真空时出现漏气现象。

14、优选的，所述调节机构包括调节气缸，所述调节气缸左右侧均安装有气缸固定座，气缸固定座底面通过螺栓与炉架顶面螺纹连接，所述调节气缸输出杆左端面固定连接有连接板，所述连接板左侧设置有炉门支架，所述炉门支架内侧顶面通过螺栓与连接板底面螺纹连接，所述炉门支架顶面与固定座立板顶面固定连接，便于对真空室内筒位置进行调节。

15、优选的，所述炉架顶面固定连接有两个轨道，两个所述轨道对称设置，所述轨道表面设置有滑块，所述滑块内侧面与轨道表面滑动连接，所述滑块顶面通过螺栓与炉门支架底面螺纹连接，提高真空室内筒移动时的稳定性。

16、有益效果

17、本发明提供了一种粉末改性的真空滚筒镀膜设备。与现有技术相比具备以下有益效果：

18、（1）、该粉末改性的真空滚筒镀膜设备，通过镀膜机构的设置，支撑组件对镀膜组件进行支撑，镀膜组件中电机带动滚筒旋转，粉末微粒由于重心力的作用，在滚筒内沿滚筒内壁下圆弧位置不断滚动、升起、落下，同时真空室内筒中的磁过滤源、弧源、平面靶等源部件对粉末微粒进行镀膜，由于粉末微粒在滚筒中不断滚动，使其镀层保证均匀一致，提高该真空滚筒镀膜设备对粉末改性的精度。

19、（2）、该粉末改性的真空滚筒镀膜设备，通过夹紧机构的设置，夹紧气缸锁住真空室内筒上的法兰板及真空室外筒上的密封圈，避免在抽真空时出现漏气现象，提高该粉末改性的真空滚筒镀膜设备的密封效果。

20、（3）、该粉末改性的真空滚筒镀膜设备，通过调节机构的设置，便于调节气缸带动真空室内筒沿轨道移动到真空室外筒处，轨道和滑块提高真空室内筒移动时的平稳性。

21、（4）、该粉末改性的真空滚筒镀膜设备，通过浮动支撑滚轮的设置，滚筒下部两侧的浮动支撑滚轮用于支撑滚筒转动时不发生偏斜，保证滚筒转动时的平稳，提高该粉末改性的真空滚筒镀膜设备的稳定性。

技术特征：

1.一种粉末改性的真空滚筒镀膜设备，包括炉架（1），其特征在于：所述炉架（1）上方设置有调节机构（2）、镀膜机构（3）和夹紧机构（4），所述调节机构（2）位于镀膜机构（3）下方，所述夹紧机构（4）位于镀膜机构（3）表面；

2.根据权利要求1所述的一种粉末改性的真空滚筒镀膜设备，其特征在于：所述炉门托轮表面与固定盘定位圈表面接触，所述真空室内筒（303）左侧面与法兰板（302）右侧面固定连接，所述真空室内筒（303）右侧面通过螺栓与内筒后端板（315）左侧面螺纹连接，所述真空室内筒（303）内部上沿筒壁布置有磁过滤、弧源及平面靶等源部件。

3.根据权利要求1所述的一种粉末改性的真空滚筒镀膜设备，其特征在于：所述支架立柱（304）左侧面通过螺栓与支撑架右侧面螺纹连接，支撑架顶面与炉架面板（313）底面固定连接，两个所述支撑板（309）底面通过螺栓与支撑架顶面螺纹连接。

4.根据权利要求1所述的一种粉末改性的真空滚筒镀膜设备，其特征在于：所述固定座（305）底面通过螺栓与支架立柱（304）顶面螺纹连接，所述电机（306）左侧面与固定座（305）右侧面固定连接，所述第一齿轮（307）齿面与第二齿轮（308）齿面啮合。

5.根据权利要求1所述的一种粉末改性的真空滚筒镀膜设备，其特征在于：所述转动轴（311）左端面贯穿密封座（314）右侧面和真空室外筒（310）右侧面延伸至真空室外筒（310）内部，所述转动轴（311）表面通过轴承座分别与真空室外筒（310）内壁和密封座（314）内壁转动连接，所述转动轴（311）左端面与滚筒（312）右侧面固定连接。

6.根据权利要求1所述的一种粉末改性的真空滚筒镀膜设备，其特征在于：四个所述浮动支撑滚轮（5）均安装于真空室外筒（310）内壁，四个所述真空室外筒（310）表面均与滚筒（312）表面转动连接。

7.根据权利要求1所述的一种粉末改性的真空滚筒镀膜设备，其特征在于：所述夹紧机构（4）包括两个固定耳板（401），两个所述固定耳板（401）对称设置，两个所述固定耳板（401）内端面均与真空室外筒（310）表面固定连接，所述固定耳板（401）右侧面固定连接有夹紧气缸（402），所述夹紧气缸（402）输出杆左端面贯穿固定耳板（401）右侧面延伸至固定耳板（401）左侧。

8.根据权利要求7所述的一种粉末改性的真空滚筒镀膜设备，其特征在于：所述真空室外筒（310）左侧面贯通开设有空槽，空槽内部安装有密封圈（404）。

9.根据权利要求1所述的一种粉末改性的真空滚筒镀膜设备，其特征在于：所述调节机构（2）包括调节气缸（201），所述调节气缸（201）左右侧均安装有气缸固定座，气缸固定座底面通过螺栓与炉架（1）顶面螺纹连接，所述调节气缸（201）输出杆左端面固定连接有连接板（205），所述连接板（205）左侧设置有炉门支架（206），所述炉门支架（206）内侧顶面通过螺栓与连接板（205）底面螺纹连接，所述炉门支架（206）顶面与固定座立板（301）顶面固定连接。

10.根据权利要求9所述的一种粉末改性的真空滚筒镀膜设备，其特征在于：所述炉架（1）顶面固定连接有两个轨道（202），两个所述轨道（202）对称设置，所述轨道（202）表面设置有滑块（203），所述滑块（203）内侧面与轨道（202）表面滑动连接，所述滑块（203）顶面通过螺栓与炉门支架（206）底面螺纹连接。

技术总结
本发明公开了一种粉末改性的真空滚筒镀膜设备，本发明涉及真空镀膜技术领域，包括炉架，所述炉架上方设置有调节机构、镀膜机构和夹紧机构，所述调节机构位于镀膜机构下方，所述夹紧机构位于镀膜机构表面；所述镀膜机构包括支撑组件和镀膜组件；镀膜组件位于支撑组件表面。通过镀膜机构的设置，支撑组件对镀膜组件进行支撑，镀膜组件中电机带动滚筒旋转，粉末微粒由于重心力的作用，在滚筒内沿滚筒内壁下圆弧位置不断滚动、升起、落下，同时真空室内筒中的磁过滤源、弧源、平面靶等源部件对粉末微粒进行镀膜，由于粉末微粒在滚筒中不断滚动，使其镀层保证均匀一致，提高该真空滚筒镀膜设备对粉末改性的精度。

技术研发人员：王桂岳,王科峰,赵松强,王同泉
受保护的技术使用者：龙口市比特真空技术有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/4/7