1.一种金属氮化物薄膜的物理气相沉积方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的金属氮化物薄膜的物理气相沉积方法，其特征在于，在所述s2之后，在所述s3之前还包括：
3.根据权利要求1所述的金属氮化物薄膜的物理气相沉积方法，其特征在于，在所述s3中：
4.根据权利要求1所述的金属氮化物薄膜的物理气相沉积方法，其特征在于，所述s3还包括：所述停止向所述反应腔室通入所述第一混合气体的步骤之后，抽出所述反应腔室内的所述第一混合气体。
5.根据权利要求1所述的金属氮化物薄膜的物理气相沉积方法，其特征在于，所述s2包括：
6.根据权利要求1所述的金属氮化物薄膜的物理气相沉积方法，其特征在于，所述s3包括：
7.根据权利要求3所述的金属氮化物薄膜的物理气相沉积方法，其特征在于，所述s4包括：
8.根据权利要求1所述的金属氮化物薄膜的物理气相沉积方法，其特征在于，在所述s1之前，还包括：
9.根据权利要求8所述的金属氮化物薄膜的物理气相沉积方法，其特征在于，所述干燥处理包括：
10.一种物理气相沉积控制装置，其特征在于，包括：