专利名称：复合靶的制作方法
技术领域：
本实用新型为一种用于着色镀膜用的复合靶，属于一种溅射靶。
目前，随着现代化建筑物所要求的质量及设计水平不断提高，对装饰材料的要求也越来越高，各种新型的建筑装饰材料相继出现，镀膜的不锈钢板材即是其中之一。不锈钢表面可以镀不同颜色的膜，如金黄色、黑色、棕色、玫瑰色等，具有耐腐蚀、耐磨和外表装饰美观等特性。然而用于镀黑色、棕色、玫瑰色膜用的靶一般是由钽、钽合金、钨或钨合金材料制成，这种靶的熔点高，溅射形成镀膜的过程不易控制，且价格贵，不适合于大型不锈钢装饰板的使用。
本实用新型的目的是设计一种复合靶，其结构简单，节省材料，导热性好，容易控制，不易损坏。
本实用新型所设计的复合靶由靶面及靶底构成，靶面为钛铝合金材料的靶面，靶底为导热性好的金属或合金材料制成，靶面焊接在靶底上部，靶底带有冷却水腔。
为镀膜均匀、集中，本实用新型所设计的复合靶的靶面上带有挡弧台阶。
本实用新型所设计的复合靶的优点是1．结构简单，节省材料。本实用新型采用了钛铝合金靶面与导热性好的靶底复合，避免了整体钛铝合金靶的导热率低、易产生裂纹的缺陷，改善了镀膜质量。
2．导热性好，容易控制，不易损坏，靶底可重复使用。由于靶底导热性好，且与靶面焊接为一体，冷却水腔位于靶底中，因此靶面产生的热量能够及时传导出来，避免了靶面或靶底产生裂纹，从而使镀膜质量提高，同时又解决了制备钛铝合金靶面时靶面含有少量微孔产生冷却水渗透的问题，并且复合结构的靶面使用到一定程度后，可更换靶面，靶底可重复使用，避免了整体靶的浪费，降低成本。
3．提高了镀膜质量。由于靶面带有挡弧台阶，在镀膜时靶面的溅射集中、均匀，镀膜光滑、薄厚均匀，镀膜质量高。
4．成本低。由钽、钽合金、钨或钨合金材料制成的靶价格昂贵，镀膜成本高；而采用本实用新型所设计的复合靶进行镀膜，由于复合靶的成本比由钽、钽合金、钨或钨合金材料制成的靶的成本降低至少30％，因此镀膜成本大为降低。
本实用新型所设计的复合靶主要适用于用物理方法对金属进行表面镀膜。
图1是本实用新型所设计的复合靶的结构图。
图2是
图1的俯视图。
下面根据附图结合具体实施例对本实用新型所设计的复合靶的结构及实施方式作进一步说明。
实施例1如
图1、2所示的复合靶，由靶面1及靶底2构成，靶面1由钛铝合金材料制成，铝的含量为5～50％(重量含量)，靶面1通过扩散焊的方式焊接在靶底2上，靶面1的上端面带有挡弧台阶3。靶底2由铜合金材料制成，靶底2中带有水腔4。利用这种复合靶镀膜，可得到纯黑镀膜，质量好，光滑、均匀，复合靶的使用寿命长。靶面1使用一段时间后可更换，降低复合靶的造价。
实施例2与实施例相同结构和复合靶，由靶面1及靶底2构成，所不同的是靶底2为铝合金材料制成。这种复合靶具有与实施例1相同的优点，成本更低。
权利要求1．一种复合靶，由靶面及靶底构成，其特征是靶面为钛铝合金材料的靶面，靶底为导热性好的金属或合金材料制成，靶面焊接在靶底上部，靶底带有冷却水腔。
2．根据权利要求1所述的复合靶，其特征还在于靶面上带有挡弧台阶。
专利摘要本实用新型为一种用于着色镀膜用的复合靶,属于一种溅射靶。它由靶面及靶底构成,靶面为钛铝合金材料的靶面,靶底为导热性好的金属或合金材料制成,靶面焊接在靶底上部,靶底带有冷却水腔。本实用新型结构简单,节省材料,降低成本,导热性好,容易控制,不易损坏,靶底可重复使用,主要适用于钢板表面镀膜。
文档编号C23C14/34GK2303851SQ9722083
公开日1999年1月13日 申请日期1997年7月24日 优先权日1997年7月24日
发明者赵昌森, 王玉民, 李一民, 何京颜 申请人:北京有色金属研究总院