振动滚磨用的工件保持夹具以及振动滚磨方法
【专利说明】振动滚磨用的工件保持夹具以及振动滚磨方法
[0001]本申请主张于2013年7月30日申请的日本专利申请第2013-157888号的优先权，并以参考方式在本说明书中引用其全文。
技术领域
[0002]本发明涉及振动滚磨用的工件保持夹具以及振动滚磨方法。
【背景技术】
[0003]专利文献1公开了如下振动滚磨装置:对被研磨物亦即工件的表面进行使表面粗糙度成为规定的表面粗糙度的研磨，或者进行毛刺、氧化膜等的去除等。该振动滚磨装置具有截面呈U字形状的研磨槽、以及驱动研磨槽摆动的驱动单元。在使用该振动滚磨装置研磨工件时，将工件、研磨介质以及研磨液放入研磨槽内，通过驱动单元使研磨槽沿圆弧状的轨道摆动。由此，工件与研磨介质相对运动，进行工件的研磨。
[0004]专利文献1:日本特开2000-280162号公报
[0005]在研磨时工件碰撞研磨槽的情况下，冲击力作用于工件。此时，担心产生工件变形或者工件的表面受伤等缺陷。特别是近年来希望对更大型的工件也使用振动滚磨装置进行研磨。若大型的工件碰撞研磨槽，则因其重量的大小，更大的冲击力作用于工件，因此更加担心在工件产生缺陷。
【发明内容】
[0006]因此，本公开说明在通过振动滚磨装置研磨工件时能够保护工件抑制缺陷产生的振动滚磨用的工件保持夹具以及振动滚磨方法。
[0007]本公开的一个观点的工件保持夹具是在使用研磨介质通过振动滚磨装置研磨扁平形状的工件时用于保持工件的振动滚磨用的工件保持夹具，该工件保持夹具具备:外形形状呈比工件大的圆盘状，并且配置成相互对置的第一保护部件以及第二保护部件；以及保持部件，其以工件整体位于由第一保护部件、第二保护部件以及以连接第一保护部件的周缘与第二保护部件的周缘彼此的方式延伸的环状的虚拟曲面所包围的圆柱状收容空间内的方式，在收容空间内保持工件，在第一保护部件以及第二保护部件分别形成有与收容空间连通的第一窗部，研磨介质能够通过虚拟曲面以及第一窗部，在收容空间的内外通过。
[0008]在本公开的一个观点的工件保持夹具中，以工件整体位于由外形形状呈比工件大的圆盘状的第一保护部件、第二保护部件以及以连接第一保护部件的周缘与第二保护部件的周缘彼此的方式延伸的环状的虚拟曲面所包围的收容空间内的方式，保持部件在收容空间内保持有工件。因此，工件不会从工件保持夹具露出，而是保持留在收容空间内的状态。因此，即使在工件保持夹具配置于振动滚磨装置的研磨槽并且通过振动滚磨装置使研磨槽摆动的情况下，也能够避免工件与研磨槽的碰撞。其结果是，能够在通过振动滚磨装置研磨工件时，保护工件抑制缺陷产生。另外，在本公开的一个观点的工件保持夹具中，外形形状呈比工件大的圆盘状的第一保护部件以及第二保护部件配置成相互对置。因此，工件保持夹具呈圆柱形状的外形。因此，若以第一保护部件的周缘以及第二保护部件的周缘与研磨槽的底壁接触的方式，使工件保持夹具在研磨槽内自立的状态，将工件保持夹具配置在研磨槽内，则工件保持夹具在研磨槽内以自立的状态滚动。此处，在第一保护部件以及第二保护部件分别形成有与收容空间连通的第一窗部，研磨介质能够通过虚拟曲面以及第一窗部，在收容空间的内外通过。因此，能够一边有效地使工件保持夹具滚动一边使研磨介质容易在工件保持夹具的内部流动。其结果是，能够极高效地研磨工件。
[0009]保持部件也可以以工件的主表面与第一保护部件以及第二保护部件分别对置的方式保持工件，第一窗部也可以形成于与工件的主表面中的由研磨介质进行研磨的研磨对象区域对置的位置。在该情况下，研磨介质通过第一窗部主要被引导至工件的研磨对象区域。因此，能够高效地研磨工件的研磨对象区域。
[0010]也可以还具备覆盖工件中的不由研磨介质进行研磨的研磨非对象区域的覆盖部件。在该情况下，由于工件保持夹具具备覆盖部件，所以相对于工件的应成为非研磨区域的位置，无需直接在工件自身安装覆盖部件。因此，只要使工件保持于工件保持夹具，就能够设定所希望的非研磨区域。
[0011]工件的周缘与虚拟曲面之间的间隙也可以设定为比研磨介质的外形大。在该情况下，在工件的周缘的附近，难以阻碍研磨介质的流动。因此，也能够高效地研磨工件的周缘。
[0012]也可以还具备在第一保护部件的周缘与第二保护部件的周缘之间延伸并且连接第一保护部件与第二保护部件彼此的连接部件，在连接部件形成有与收容空间连通的第二窗部，研磨介质能够通过第二窗部，在收容空间的内外通过。在该情况下，通过连接部件将第一以及第二保护部件一体化。因此，能够提高工件保持夹具的强度。另外，由于在连接部件形成有第二窗部，所以研磨介质能够通过第二窗部，在收容空间的内外通过。因此，能够使研磨介质容易在工件保持夹具的内部流动。其结果是，能够极高效地研磨工件。
[0013]本公开的其他观点的振动滚磨方法包括:将工件保持于上述任意工件保持夹具的保持部件；以第一保护部件的周缘以及第二保护部件的周缘与振动滚磨装置所具备的研磨槽的底壁接触的方式，使工件保持夹具在研磨槽内自立的状态，将工件保持夹具配置在研磨槽内；以及由振动滚磨装置使研磨槽摆动，由此一边使工件保持夹具以该工件保持夹具在研磨槽内自立的状态在研磨槽内滚动，一边使研磨介质通过虚拟曲面以及第一窗部在收容空间的内外流动。
[0014]在本公开的其他观点的振动滚磨方法中，以工件整体位于由外形形状呈比工件大的圆盘状的第一保护部件、第二保护部件以及以连接第一保护部件的周缘与第二保护部件的周缘彼此的方式延伸的环状的虚拟曲面所包围的收容空间内的方式，通过保持部件保持工件。因此，工件不会从工件保持夹具露出，而是保持留在收容空间内的状态。因此，即使在以虚拟曲面与振动滚磨装置所具备的研磨槽的底壁接触的方式在研磨槽内配置工件且振动滚磨装置使研磨槽摆动的情况下，也能够避免工件与研磨槽的碰撞。其结果是，在通过振动滚磨装置研磨工件时，能够保护工件抑制缺陷产生。另外，在本公开的其他观点的振动滚磨方法中，外形形状呈比工件大的圆盘状的第一以及第二保护部件配置成相互对置。因此，工件保持夹具呈圆柱形状的外形。因此，若以第一保护部件的周缘以及第二保护部件的周缘与研磨槽的底壁接触的方式，以工件保持夹具在研磨槽内自立的状态在研磨槽内配置工件保持夹具，则工件保持夹具在研磨槽内以自立的状态滚动。并且，在本公开的其他观点的振动滚磨方法中，使研磨介质通过虚拟曲面以及第一窗部，在收容空间的内外流动。因此，能够一边使工件保持夹具有效地滚动一边使研磨介质容易在工件保持夹具的内部流动。其结果是，能够极高效地研磨工件。
[0015]根据本公开的振动滚磨用的工件保持夹具以及振动滚磨方法，在通过振动滚磨装置研磨工件时，能够保护工件抑制缺陷产生。
【附图说明】
[0016]图1(A)表示在局部切断的状态下从侧方观察保持有工件的工件保持夹具的情况，图1⑶表示从图UA)的箭头A方向观察图UA)所示的工件保持夹具的情况。
[0017]图2(A)表示在局部切断的状态下从侧方观察振动滚磨装置的情况，图2(B)表示在局部切断的状态下从图2 (A)的箭头B方向观察振动滚磨装置的情况。
[0018]图3(A)表示从侧方观察保持有工件的工件保持夹具的其他例子的情况，图3 (B)表示从正面观察图3(A)所示的工件保持夹具的其他例子的情况。
[0019]图4(A)表示在切断的状态下从侧方观察保持有工件的工件保持夹具的其他例子的情况，图4(B)表示从图4(A)的箭头C方向观察图4(A)所示的工件保持夹具的其他例子的情况。
[0020]附图标记说明:
[0021]1…工件保持夹具；2…振动滚磨装置；10、11…保护部件；10w、llw…窗部；12...保持部件；13…覆盖部件；14…安装