r>[0086]接着，利用定位至对掩模11的第2标记16进行摄像的位置的第2摄像部14对掩模11的第2标记16和基板12的第4标记18同时进行摄像，根据得到的摄像数据获得第2标记16及第4标记18的位置信息，基于该第2标记16及第4标记18的位置信息，使基板12与掩模11相对移动，从而进行微定位、即第2对准，使基板12与掩模11紧贴。
[0087]因此，第I摄像部13不仅用于定位第2摄像部14，也用于掩模11与基板12之间的粗定位。此外，基板12被搬入至基板12的标记被摄像视野广的第I摄像部13捕捉到的范围内即可，不必像以往那样对基板12直接施加外力来使掩模标记与基板标记一同进入高精度相机的摄像范围内，从而能够防止基板12损坏。
[0088]因此，根据本发明，如果基板12的标记被第I摄像部13捕捉到，则通过粗定位，第2摄像部14也能够可靠地捕捉到各标记，在不损坏基板12的情况下而能够利用高摄像倍率的第2摄像部14可靠地对掩模11及基板12的标记进行摄像，从而可靠地进行高精度的对准。
[0089]另外，不限于掩模11侧，也可以使用基板12的第3标记17及第4标记18来与上述同样地进行第2摄像部14的定位。
[0090]【实施例1】
[0091]基于图2?图5对本发明的具体的实施例1进行说明。
[0092]实施例1是一种对准装置，该对准装置设于成膜装置，进行所述掩模11与所述基板12之间的对准，所述成膜装置通过所述掩模11的掩模开口部将成膜材料淀积在所述基板12上，从而在所述基板12上形成薄膜，该对准装置设在成膜装置的处理室、例如成膜室内。
[0093]具体而言，实施例1具有:基板移动单元，其支撑基板12，使该基板12沿X及Y方向移动;第I摄像部13，其对设在掩模11的位置检测用的第I标记15和设在基板12的位置检测用的第3标记17进行摄像;第2摄像部14，其摄像倍率高于该第I摄像部13，对设在掩模11的位置检测用的第2标记16和设在基板12的位置检测用的第4标记18进行摄像;摄像部驱动单元，其使该第2摄像部14沿X及Y方向移动;摄像部控制单元，其控制该摄像部驱动单元；以及对准控制单元，其控制所述基板移动单元。另外，在处理室内设有保持已被搬入的掩模11的掩模架(掩模台)。
[0094]而且，掩模11被搬入至摄像视野广的第I摄像部13捕捉掩模11的第I标记15的摄像范围内。
[0095]使用以上的结构的对准装置，按以下的流程进行对准。
[0096]进行将掩模11保持在掩模台上的掩模保持工序，进行利用第I摄像部13对设在所述掩模11上的位置检测用的第I标记15进行摄像的第I摄像工序，进行第I移动工序，在该第I移动工序中，根据所述第I摄像工序中得到的摄像数据获得所述第I标记15的位置信息，基于该第I标记15的位置信息，使所述第2摄像部14移动，以使设在所述掩模11上的位置检测用的第2标记16位于摄像倍率高于所述第I摄像部13的第2摄像部14的摄像范围内。
[0097]接着，进行基板保持工序和配置工序，在所述基板保持工序中，将基板12搬入并保持在基板架上，在所述配置工序中，将所述掩模11与基板12配置成隔着间隔重合。基板12被搬入至摄像视野广的第I摄像部13捕捉基板12的第3标记17的摄像范围内。
[0098]接着，进行第2摄像工序，在该第2摄像工序中，利用第I摄像部13同时对设在所述掩模11上的位置检测用的第I标记15和设在所述基板12上的位置检测用的第3标记17进行摄像，然后进行第I对准工序，在该第I对准工序中，根据所述第2摄像工序中得到的摄像数据获得所述第I标记15及所述第3标记17的位置信息，基于该第I标记15及第3标记17的位置信息，使所述基板12与所述掩模11相对移动。
[0099]接着，进行第3摄像工序，在该第3摄像工序中，利用所述第I移动工序中已移动的所述第2摄像部14，同时对所述第2标记16和设在所述基板12上的位置检测用的第4标记18进行摄像，然后进行第2对准工序，在该第2对准工序中，根据所述第3摄像工序中得到的摄像数据获得所述第2标记16及所述第4标记18的位置信息，基于该第2标记16及第4标记18的位置信息，使所述基板12与所述掩模11相对移动。
[0100]接着，在所述第2对准工序之后，进行使所述基板12与所述掩模11紧贴的紧贴工序。
[0101]以下更详细地进行说明。
[0102]作为基板移动单元，使用普通的XY工作台，该XY工作台以基板12与掩模11隔着规定间隔的方式在水平状态下支撑基板12，通过滚珠丝杠机构或线性电动机机构等使基板12沿与掩模表面平行的X及Y方向移动。
[0103]并且，在基板保持工序中，利用基板架保持基板12，由此使得不对基板12施加外力。
[0104]具体而言，通过利用基板架保持基板12，进行基板12的位置对准时，由于对基板架施加外力来进行位置对准，因此没有向基板12直接施加外力，能够防止基板12损坏。
[0105]而且，可以在基板架上装入基板移动单元。
[0106]作为第I摄像部13和第2摄像部14，分别使用低倍率相机13和高倍率相机14。如图2所示，该低倍率相机13和高倍率相机14垂直朝下设置，构成为从上方对掩模11及基板12的各标记进行摄像。并且，低倍率相机13和高倍率相机14分别具备调整镜头的焦距的镜头焦距调整单元。
[0107]低倍率的第I摄像部13及高倍率的第2摄像部14的设置位置以第I标记15及第3标记17、第2标记16及第4标记18的设计位置为基准适当地设置。
[0108]具体而言，当在第I摄像部13的摄像范围内捕捉到第I标记15、15和第3标记17、17时，被设置在使第2摄像部14沿X及Y方向移动的摄像部驱动单元的移动范围内，以使在第2摄像部14的摄像范围内捕捉第2标记16、16和第4标记18、18。
[0109]此外，构成第I摄像部13的低倍率相机13的摄像倍率例如设定为0.5?1.0倍左右，构成第2摄像部14的高倍率相机14的摄像倍率例如设定为约1.0?3.0倍。
[0110]并且，被第I摄像部13摄像的掩模11的第I标记15、15及基板12的第3标记17、17的尺寸比被第2摄像部14摄像的掩模11的第2标记16、16及基板12的第4标记18、18大。具体而言，掩模11的第I标记15，15及基板12的第3标记17、17各自的外形约为500μπι?IΟΟΟμπι，掩模11的第2标记16、16及基板12的第4标记18、18各自的外形约为125μπι?250μπι。
[0111]另外，所述掩模11的标记和所述基板12的标记例如能够适当地设定为使基板12侧的十字状标记位于掩模11侧的环状标记内的结构等。
[0112]第1、第2、第3及第4的各标记15、16、17、18分别两两设置在所述掩模11或所述基板12上，与此对应地，低倍率相机13和高倍率相机14也分别两两设置。另外，还可以将各标记15、16、17、18分别设置为三个以上。
[0113]具体而言，各标记15、16、17、18分别设置在两个(一对)关于所述掩模11或所述基板12的中心为点对称的位置上。在实施例1中，各个第I标记15和第2标记16设置成位于矩形的掩模11的各对角位置上。并且，各个第3标记17和第4标记18设置成位于矩形的基板12的各对角位置上。
[0114]摄像部驱动单元利用滚珠丝杠机构或线性电动机机构，使高倍率相机14保持垂直朝下地沿X及Y方向移动。另外，可以构成为也沿与X及Y方向正交的Z方向驱动高倍率相机14，在该情况下，可以不具备上述镜头焦距调整单元。
[0115]该摄像部驱动单元由计算装置、即摄像部控制单元进行控制。具体而言，摄像部控制单元与低倍率相机13连接，根据由该低倍率相机13摄像而得到的摄像数据获得所述第I标记15的位置信息(坐标)，基于该第I标记15的中心从低倍率相机13的摄像中心偏离的偏离量，控制摄像部驱动单元，以使高倍率相机14移动使第2标记16的中心与高倍率相机14的摄像中心一致所必需的量。
[0116]基板移动单元由计算装置、即对准控制单元进行控制。
[0117]具体而言，对准控制单元与低倍率相机13及高倍率相机14连接，根据由低倍率相机13同时对第I标记15和第3标记17进行摄像而得到的摄像数据，获得所述第I标记15及所述第3标记17的位置信息，基于第3标记17的中心从第I标记15的中心偏离的偏离量，控制所述基板移动单元，使所述基板12与所述掩模11相