溅射镀膜旋转靶材绑定的内部加热器的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及溅射镀膜设备的靶材辅助加热装置结构改进技术，尤其是溅射镀膜旋转靶材绑定的内部加热器。
【背景技术】
[0002]由于电子薄膜、光学薄膜、光电薄膜、磁性薄膜和超导薄膜等在高新技术和工业上的大规模开发应用，靶材已经逐渐发展成为一个专业化产业，随着薄膜技术的不断发展，靶材市场将进一步扩大。
[0003]溅射是制备薄膜材料的主要技术之一，它利用离子源产生的离子，在真空中经过加速聚集，而形成高速度能的离子束流，轰击固体表面，离子和固体表面原子发生动能交换，使固体表面的原子离开固体并沉积在基底表面，被轰击的固体是用溅射法沉积薄膜的原材料，称为溅射靶材。各种类型的溅射薄膜材料无论在半导体集成电路、记录介质、平面显示以及工件表面涂层等方面都得到了广泛的应用，因此，对溅射靶材这一具有高附加值的功能材料需求逐年增加。近年来，随着我国电子信息产业飞速发展，在集成电路、光盘及显示器等领域，中国已逐渐成为了世界上薄膜靶材的最大需求地区之一。
[0004]随着技术的进步，靶材的设计逐渐由平面靶材向旋转靶材过渡，因为旋转靶材的材料利用率可以达到80%，而一般平面靶材利用率只能达到30% ;旋转耙材在使用过程中不断旋转，把材表面可以保持光滑，不会产生“结瘤”俗称“勒材中毒”，可以保障成膜的均匀性，减少缺陷，提高成品率。期望通过使用旋转靶材达到降低成本、提高膜层质量和提高成品率的目的。
[0005]部分旋转靶材采用贴合的方法制备，把靶材分节绑定在金属衬管上，以提高导热性能和强度。目前旋转靶材绑定的工艺是，把单节靶管绑定在金属衬管上，靶管和金属衬管之间通过低熔点的金属焊料粘接。在绑定的过程中，需要对金属衬管和靶管进行预热，然后把低熔点的金属焊料填充到靶管和金属衬管的缝隙里。绑定的质量直接关系到靶材溅射过程中的导热效果，若导热不好，金属焊料将会熔化流出或者靶管会局部熔化或开裂。在绑定工艺过程中，靶管和衬管加热的均匀性和稳定性对贴合质量具有重要的影响。
【实用新型内容】
[0006]本实用新型的目的是提供溅射镀膜旋转靶材绑定的内部加热器，以开发一种旋转靶材绑定的内部加热器，达到加热快速均匀，而且温度稳定的效果。
[0007]本实用新型的目的将通过以下技术措施来实现:包括低熔点金属填料、加热管、夕卜管和内管;外管内部安装内管，而且在内管之中安装加热管，在外管和内管之间有低熔点金属填料。
[0008]尤其是，加热管外端伸出在外管外侧，而且，加热管外端面上安装有电源接线柱。
[0009]尤其是，在外管上安装测温器，测温器的内段伸入外管和内管之间的低熔点金属填料中。
[0010]尤其是，外管和内管为等高的同轴圆管，而且，在外管和内管的上下端面分别固定有外径与外管相同的圆盘。
[0011]尤其是，加热管高度不小于外管高度的1/2。
[0012]尤其是，测温器高度不小于外管高度的1/5。
[0013]本实用新型的优点和效果:通过加热元件加热低熔点金属，而且，将低熔点金属作为导热介质，同时具有加热均匀，温升稳定，而且热辐射和传导面积大的特点，并使之进一步的实现对所绑定靶材进行更为优良的加热。加热快速均匀，而且温度稳定，测温精确，使用方便。
【附图说明】
[0014]图1为本实用新型实施例1内部结构示意图。
[0015]图2为本实用新型实施例1外形结构示意图。
[0016]附图标记包括:低熔点金属填料1、加热管2、电源接线柱3、测温器4、外管5、内管6。
【具体实施方式】
[0017]本实用新型原理在于，通过加热元件加热低熔点金属，而且，将低熔点金属作为导热介质，同时具有加热均匀，温升稳定，而且热辐射和传导面积大的特点，并使之进一步的实现对所绑定靶材进行更为优良的加热。
[0018]本实用新型包括:低熔点金属填料1、加热管2、外管5和内管6。
[0019]下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步说明。
[0020]实施例1:如附图1和2所示，外管5内部安装内管6，而且在内管6之中安装加热管2，在外管5和内管6之间有低熔点金属填料1。
[0021]前述中，加热管2外端伸出在外管5外侧，而且，加热管2外端面上安装有电源接线柱3。
[0022]前述中，在外管5上安装测温器4，测温器4的内段伸入外管5和内管6之间的低熔点金属填料1中。
[0023]前述中，外管5和内管6为等高的同轴圆管，而且，在外管5和内管6的上下端面分别固定有外径与外管5相同的圆盘。
[0024]前述中，外管5外形是圆柱体，使用时可以放在金属衬管内部进行加热；
[0025]前述中，外管5和内管6为同轴钢管。
[0026]前述中，加热管2高度不小于外管5高度的1/2。
[0027]前述中，测温器4高度不小于外管5高度的1/5。
[0028]本实用新型中，把直径110-120mm的钢管作为外管5、直径80-90mm的钢管作为内管
6、以及直径与外管5相同的圆盘底座和顶盖焊接在一起，拼成一个密闭的双层钢管;然后把熔化的低熔点金属填充在两层钢管的夹缝里作为低熔点金属填料1，而且把测温仪4固定在低熔点金属填料1夹层里;把加热管2固定在内管6的中心孔内；连接电源和温控仪器后即可开始工作;工作原理是，通过加热管2加热内管6，继而，先把外管5和内管6之间夹层的低熔点金属填料1熔化，然后获得温度均匀的加热体。然后再均匀而稳定的加热绑定的靶材。
【主权项】
1.溅射镀膜旋转靶材绑定的内部加热器，包括低熔点金属填料(1)、加热管(2)、外管(5)和内管(6);其特征在于，外管(5)内部安装内管(6)，而且在内管(6)之中安装加热管(2)，在外管(5)和内管(6)之间有低熔点金属填料(1)。2.如权利要求1所述的溅射镀膜旋转靶材绑定的内部加热器，其特征在于，加热管(2)外端伸出在外管(5)外侧，而且，加热管(2)外端面上安装有电源接线柱(3)。3.如权利要求1所述的溅射镀膜旋转靶材绑定的内部加热器，其特征在于，在外管(5)上安装测温器(4)，测温器(4)的内段伸入外管(5)和内管(6)之间的低熔点金属填料(1)中。4.如权利要求1所述的溅射镀膜旋转靶材绑定的内部加热器，其特征在于，外管(5)和内管(6)为等高的同轴圆管，而且，在外管(5)和内管(6)的上下端面分别固定有外径与外管(5)相同的圆盘。5.如权利要求1所述的溅射镀膜旋转靶材绑定的内部加热器，其特征在于，加热管(2)高度不小于外管(5)高度的1/2。6.如权利要求1所述的溅射镀膜旋转靶材绑定的内部加热器，其特征在于，测温器(4)高度不小于外管(5)高度的1/5。
【专利摘要】溅射镀膜旋转靶材绑定的内部加热器，外管(5)内部安装内管(6)，而且在内管(6)之中安装加热管(2)，在外管(5)和内管(6)之间有低熔点金属填料(1)。通过加热元件加热低熔点金属，而且，将低熔点金属作为导热介质，同时具有加热均匀，温升稳定，而且热辐射和传导面积大的特点，并使之进一步的实现对所绑定靶材进行更为优良的加热。加热快速均匀，而且温度稳定，测温精确，使用方便。
【IPC分类】C23C14/34
【公开号】CN205099745
【申请号】CN201520876503
【发明人】曹兴民, 庄志杰
【申请人】基迈克材料科技（苏州）有限公司
【公开日】2016年3月23日
【申请日】2015年11月3日