一种靶材打磨用的平面磨床的制作方法
【技术领域】
[0001 ]本实用新型属于打磨设备领域，具体涉及一种靶材打磨用的平面磨床。
【背景技术】
[0002]镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。其中基板在生产完成后、溅射镀膜前，需要进行打磨抛光处理，由于基板为脆性材质，在打磨时散热量大，并且基板体量较小，在采用传统磨床时难以打磨，导致基板生产成本很高。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型为了解决上述现有技术中存在的问题，本实用新型提供了一种靶材打磨用的平面磨床，能够方便基板固定，便于基板散热，保证基板的打磨质量。
[0004]本实用新型采用的具体技术方案是:
[0005]—种靶材打磨用的平面磨床，包括床身、工作台、砂轮，工作台与床身形成滑动配合，砂轮设置在工作台上方，砂轮轴线沿水平方向设置，所述的工作台上端面增设有基板安装盘，基板安装盘包括矩形结构的盘身、盘身上套装设置有固定螺栓，盘身借助固定螺栓与工作台形成固定连接，盘身上端面矩阵式排列有多个橡胶吸盘，每列橡胶吸盘借助连通管相互连通，连通管连接有抽气机。
[0006]所述的固定螺栓下端呈圆锥形结构，固定螺栓借助于固定帽安装在盘身上，固定帽外侧固定设置有手轮。
[0007]所述的盘身上端面设置有喷淋口，喷淋口数量与连通管数量相同。
[0008]所述的盘身呈槽体结构，所述的橡胶吸盘设置在盘身的槽体结构内。
[0009]所述的盘身槽体深度为35-50mm。
[0010]本实用新型的有益效果是:
[0011]本实用新型，采用吸盘进行基板的安装固定，极大方便基板的安装，并且采用橡胶吸盘的柔性连接，能够避免基板与砂轮之间的硬接触，防止基板损坏。
【附图说明】
[0012]图1为本实用新型的结构示意图；
[0013]图2为基板安装盘的结构示意图；
[0014]附图中，1、床身，2、工作台，3、砂轮，4、盘身，5、固定螺栓，6、橡胶吸盘，7、连通管，
8、固定帽，9、手轮，10、喷淋口。
【具体实施方式】
[0015]下面结合附图及具体实施例对本实用新型作进一步说明:
[0016]具体实施例如图1所示，一种靶材打磨用的平面磨床，包括床身1、工作台2、砂轮3，工作台2与床身I形成滑动配合，砂轮3设置在工作台2上方，砂轮3轴线沿水平方向设置，所述的工作台2上端面增设有基板安装盘，基板安装盘包括矩形结构的盘身4、盘身4上套装设置有固定螺栓5，盘身4借助固定螺栓5与工作台2形成固定连接，盘身4上端面矩阵式排列有多个橡胶吸盘6，每列橡胶吸盘6借助连通管7相互连通，连通管7连接有抽气机。所述的固定螺栓5下端呈圆锥形结构，固定螺栓5借助于固定帽8安装在盘身4上，固定帽8外侧固定设置有手轮9。本实用新型的基板安装盘，使用时将固定螺栓5的圆锥形结构的端部插入工作台2上端面的燕尾槽，使用手轮9将固定螺栓5固定，完成安装。
[0017]所述的盘身4上端面设置有喷淋口10，喷淋口 10数量与连通管7数量相同。
[0018]所述的盘身4呈槽体结构，所述的橡胶吸盘6设置在盘身4的槽体结构内。
[0019]所述的盘身4槽体深度为35-50mm。
[0020]本实用新型，采用吸盘进行基板的安装固定，极大方便基板的安装，并且采用橡胶吸盘的柔性连接，能够避免基板与砂轮之间的硬接触，防止基板损坏，设置的槽体结构的盘身将基板容纳在槽体内，当喷淋口进行喷淋时，槽体高于基板上端面，水面淹没基板，能够保证研磨时及时降温，并且水面能够防止碎肩冲击基板，保护基板不被击碎。
【主权项】
1.一种靶材打磨用的平面磨床，包括床身(I)、工作台(2)、砂轮(3)，工作台(2)与床身(I)形成滑动配合，砂轮(3)设置在工作台(2)上方，砂轮(3)轴线沿水平方向设置，其特征在于:所述的工作台(2)上端面增设有基板安装盘，基板安装盘包括矩形结构的盘身(4)、盘身(4)上套装设置有固定螺栓(5)，盘身(4)借助固定螺栓(5)与工作台(2)形成固定连接，盘身(4)上端面矩阵式排列有多个橡胶吸盘(6)，每列橡胶吸盘(6)借助连通管(7)相互连通，连通管(7)连接有抽气机。2.根据权利要求1所述的一种靶材打磨用的平面磨床，其特征在于:所述的固定螺栓(5)下端呈圆锥形结构，固定螺栓(5)借助于固定帽(8)安装在盘身(4)上，固定帽(8)外侧固定设置有手轮(9)。3.根据权利要求1所述的一种靶材打磨用的平面磨床，其特征在于:所述的盘身(4)上端面设置有喷淋口( 1 )，喷淋口( 1)数量与连通管(7)数量相同。4.根据权利要求1所述的一种靶材打磨用的平面磨床，其特征在于:所述的盘身(4)呈槽体结构，所述的橡胶吸盘(6)设置在盘身(4)的槽体结构内。5.根据权利要求4所述的一种靶材打磨用的平面磨床，其特征在于:所述的盘身(4)槽体深度为35-50mm。
【专利摘要】本实用新型属于打磨设备领域，具体涉及一种靶材打磨用的平面磨床，包括床身、工作台、砂轮，砂轮设置在工作台上方，砂轮轴线沿水平方向设置，所述的工作台上端面增设有基板安装盘，基板安装盘包括矩形结构的盘身、盘身上套装设置有固定螺栓，盘身借助固定螺栓与工作台形成固定连接，盘身上端面矩阵式排列有多个橡胶吸盘，本实用新型，采用吸盘进行基板的安装固定，极大方便基板的安装，并且采用橡胶吸盘的柔性连接，能够避免基板与砂轮之间的硬接触，防止基板损坏，设置的槽体结构的盘身将基板容纳在槽体内，当喷淋口进行喷淋时，槽体高于基板上端面，水面淹没基板，能够保证研磨时及时降温，并且水面能够防止碎屑冲击基板，保护基板不被击碎。
【IPC分类】B24B7/07, B24B55/02, B24B41/06
【公开号】CN205254705
【申请号】CN201521062147
【发明人】崔娜, 朱辉, 闫丽娜, 张卫, 康林杰, 郄奕
【申请人】河北东同光电科技有限公司
【公开日】2016年5月25日
【申请日】2015年12月18日