坩埚护板改良装置的制作方法

文档序号:3444203阅读:127来源:国知局
专利名称:坩埚护板改良装置的制作方法
技术领域
本实用新型专利是用于太阳能光伏或半导体领域的一种坩埚护板装置,具体涉及一种改良后的能让铸锭工艺中的溢流现象在第一时间得到反馈和增强体系的通气性的坩埚护板装置。
背景技术
目前在太阳能光伏或半导体领域制造生产中所使用到的坩埚护板底部没有孔洞导致在铸锭工艺运行中发生溢流现象时不能及时反馈,这样将会在加大溢流现象所产生的危险性的同时也增加了溢流事故所造成的经济损失。坩埚护板开孔,增强了体系的通气系统,这有利于工艺运行前期硅料及热场中的夹杂物的排出,净化硅料及热场和纯化多晶硅铸锭的生产环境;通气系统的改良也有利于铸锭工艺后期的热交换,加快体系热量的散失, 缩短工艺运行的时间。
发明内容本实用新型为克服现有工艺装置中所存在的不足,提供一种改良后的能及时反馈铸锭工艺中发生溢流事故的信息和提高体系通气系统的坩埚护板装置,该装置能在第一时间反应铸锭工艺中发生溢流的信息,减少溢流事故所产生的危害和损失,同时也能提高铸锭工艺过程中的通气系统,纯化多晶硅生长环境的同时也能相对的缩短整体工艺运行的时间,得到相对高质量低成本的多晶硅硅锭。该装置具有成本低、能耗小、处理效率高等优点。本实用新型的技术方案如下坩埚护板改良装置,其中护板底部设有溢流孔;护板的顶部设有凹型排气槽。坩埚护板改良装置,其中每块护板的底部分别设有两个溢流孔;每块护板的顶部分别设置有两个凹型排气槽,护板顶部设置的凹型排气槽具有相同的长宽。每块护板的顶部分别设置了两个凹型排气槽,并且每块护板底部都开有两个溢流孔,这样如果发生溢流时,能确保硅液第一时间流出,从而熔断溢流线,发出警报,使操作工第一时间得知溢流,采取措施,减少对炉子的损害及溢流造成的损失,同时四周的小孔也能改善通风系统。本实用新型采用坩埚护板改良装置解决了铸锭工艺中发生的溢流现象报警的滞后性,能很好的减少产生溢流事故所产生的危害和损失,并且也能提高多晶硅铸锭的生长环境的通气系统;纯化多晶硅生长环境,使硅锭中的杂质量相对减少,提高硅锭和硅片的质量,同时也使其电池转换效率有所改善。好的通气系统也相对的缩短整体工艺运行的时间, 这也相对的降低了硅锭的生产成本。该装置具有成本低、操作简单方便、能耗小、处理效率高等优点。

附图1是本实用新型装置的结构侧面示意图;[0010]附图2是本实用新型装置的俯视图;附图标记排气槽1、溢流孔2。
具体实施方式
实施例1、坩埚护板改良装置,其中护板底部设有溢流孔2 ;护板的顶部设有凹型排气槽1。实施例2、坩埚护板改良装置,其中每块护板的底部分别设有两个溢流孔2 ;每块护板的顶部分别设置有两个凹型排气槽1,护板顶部设置的凹型排气槽1具有相同的长宽。 其余同实施例1。本实用新型的工作原理如下每块护板的顶部分别设置了两个凹型槽排气槽1,并且每块护板底部开有两个溢流孔2,这样如果发生溢流时,能确保硅液第一时间流出,从而熔断溢流线,发出警报,使操作工第一时间得知溢流,采取措施,减少对炉子的损害及溢流造成的损失,同时四周的小孔也能改善通风系统。
权利要求1.坩埚护板改良装置,其特征在于护板底部设有溢流孔(2);护板的顶部设置有凹型排气槽(1)。
2.如权利要求1所述的坩埚护板改良装置,其特征在于每块护板的底部分别设有两个溢流孔(2);每块护板的顶部分别设置有两个凹型排气槽(1),护板顶部设置的凹型排气槽(1)具有相同的长宽。
专利摘要本实用新型提供了一种改良后的能避免铸锭工艺中发生溢流的坩埚护板改良装置。其中每块护板的底部分别设有两个溢流孔,每块护板的顶部分别设置有两个凹型排气槽,护板顶部设置的凹型排气槽具有相同的长宽。如果发生溢流时,能确保硅液第一时间流出,从而熔断溢流线,发出警报,使操作工第一时间得知溢流,采取措施,减少对炉子的损害及溢流造成的损失,同时四周的小孔也能改善通风系统。采用坩埚护板改良装置解决了铸锭工艺中发生的溢流现象报警的滞后性,并且也能提高多晶硅铸锭的生长环境的通气系统;纯化多晶硅生长环境,使硅锭中的杂质量相对减少,同时也使其电池转换效率有所改善。相对的缩短整体工艺运行的时间,降低了生产成本。
文档编号C01B33/037GK202181217SQ201120265418
公开日2012年4月4日 申请日期2011年7月26日 优先权日2011年7月26日
发明者周慧敏, 徐志群 申请人:晶科能源有限公司
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