专利名称：一种多晶硅还原炉尾气硅粉收集装置及其使用方法
技术领域：
本发明涉及多晶硅生产设备技术领域，特别是一种多晶硅还原炉尾气硅粉收集装置及其使用方法。
背景技术：
目前多晶硅是半导体行业以及太阳能行业的重要基础原料，而改良西门子法是目前生产多晶硅的主要方法。在改良西门子法中，用氢气还原三氯氢硅的过程中，由于温度、配比以及三氯氢硅所携带的二氯二氢硅的量没有控制好，经常会产生细硅粉。产生后的硅粉进入整个生产系统，将对系统造成严重的伤害，会磨损设备，堵塞管道，甚至发生爆炸。目前的改良西门子法生产多晶硅技术没有拦截硅粉和排出硅粉的设备或装置，只能在每年停产检修时清理系统里积存的硅粉。这样的话，在系统运行时，硅粉可能对系统造成伤害，严重时会导致系统停车。
发明内容
为了解决现有多晶硅生产时由于产生硅粉所造成的问题，本发明提供一种可以减少硅粉对还原炉内设备系统造成伤害，避免员工身体受到硅粉粉尘危害的多晶硅还原炉尾气硅粉收集装置及其使用方法。为解决上述技术问题本发明的技术方案为:一种多晶硅还原炉尾气硅粉收集装置，包括立式罐一、立式罐二、收集罐、进料管道、出料管道、反吹管道、排污管道、收集罐排气管道，其特征在于:所述进料管道与立式罐一进料阀和立式罐二进料阀相连，所述出料管道与立式罐一出料阀和立式罐二出料阀相连，所述排污管道与收集罐和立式罐一排污阀及立式罐二排污阀相连，所述反吹 管道与出料管道和立式罐一反吹阀及立式罐二反吹阀相连，所述收集罐排气管道与进料管道相连，所述收集罐底部设置有排泄阀。所述反吹管道上设置有反吹泵，所述排污管道上设置有排污泵。所述立式罐一和立式罐二内设置有过滤网。所述过滤网的目数为20-500目。上述立式罐一和立式罐二的外壳材料为碳钢或者不锈钢。一种上述多晶硅还原炉尾气硅粉收集装置的使用方法，其特征在于包括如下步骤:
第一步:首先打开立式罐一的进料阀和出料阀，关闭立式罐二的进料阀和出料阀，将还原炉尾气从进料管导入到立式罐一中，利用重力和过滤网的作用，将大部分硅粉拦截在立式罐一中，并沉积在立式罐一底部；
第二步:将立式罐二的进料阀和出料阀打开，并将立式罐一的进料阀和出料阀关闭，然后打开反吹泵和立式罐一的反吹阀对立式罐一内部进行反吹，然后将反吹泵和立式罐一的反吹阀关闭；
第三步:将立式罐一排污阀和排污泵打开，将沉积在立式罐一底部的硅粉和液体物料一起泵入收集罐中，然后对收集罐进行加热，将收集罐中的液体物料蒸发进入收集罐排气管道中，进行回收利用；
第四步:收集罐底部残留废料通过排泄阀排出。本发明的有益效果是:能够保证改良西门子法更稳定的运行，不会让还原炉内产生的硅粉对设备造成伤害，不会堵塞系统的管道，去除了硅粉带来的安全隐患，同时该装置结构合理，装拆简便、安全可靠、可极大提高清洁的工作效率，在多晶硅生产设备中具有广泛的应用空间。
图1是本发明一种多晶硅还原炉尾气硅粉收集装置结构示意图。图中:1、立式罐一，2、立式罐二，3、收集罐，4、进料管道，5、出料管道，6、反吹管道，
7、排污管道，8、立式罐一进料阀，9、立式罐二进料阀，10、立式罐一出料阀，11、立式罐二出料阀，12、立式罐一排污阀，13、立式罐二排污阀，14、收集罐排气管道,15、反吹泵，16、排污泵，17、过滤网，18、立式罐一反吹阀，19、立式罐二反吹阀，20、排泄阀。
具体实施例方式实施例1:
如图1所示，一种多晶硅还原炉尾气硅粉收集装置，包括立式罐一 1、立式罐二 2、收集罐3、进料管道4、出料管道5、反吹管道6、排污管道7、收集罐排气管道14，所述进料管道4与立式罐一进料阀8和立式罐二进料阀9相连，所述出料管道5与立式罐一出料阀10和立式罐二出料阀11相连，所述排污管道7与收集罐3和立式罐一排污阀12及立式罐二排污阀13相连，所述反吹管道6与出料管道4和立式罐一反吹阀18及立式罐二反吹阀19相连，所述收集罐排气管道14与进料管道4相连，所述收集罐3底部设置有排泄阀20。所述反吹管道6上设置有反吹泵15，所述排污管道7上设置有排污泵16。所述立式罐一 I和立式罐二 2内设置有目数为50目的过滤网17。上述立式罐一 I和立式罐二 2的外壳材料为碳钢。实施例2:
如图1所示，一种多晶硅还原炉尾气硅粉收集装置，包括立式罐一 1、立式罐二 2、收集罐3、进料管道4、出料管道5、反吹管道6、排污管道7、收集罐排气管道14，所述进料管道4与立式罐一进料阀8和立式罐二进料阀9相连，所述出料管道5与立式罐一出料阀10和立式罐二出料阀11相连，所述排污管道7与收集罐3和立式罐一排污阀12及立式罐二排污阀13相连，所述反吹管道6与出料管道4和立式罐一反吹阀18及立式罐二反吹阀19相连，所述收集罐排气管道14与进料管道4相连，所述收集罐3底部设置有排泄阀20。所述反吹管道6上设置有反吹泵15，所述排污管道7上设置有排污泵16。所述立式罐一 I和立式罐二 2内设置有目数为150目的过滤网17。上述立式罐一 I和立式罐二 2的外壳材料为不锈钢。
实施例3:
如图1所示，一种多晶硅还原炉尾气硅粉收集装置，包括立式罐一 1、立式罐二 2、收集罐3、进料管道4、出料管道5、反吹管道6、排污管道7、收集罐排气管道14，所述进料管道4与立式罐一进料阀8和立式罐二进料阀9相连，所述出料管道5与立式罐一出料阀10和立式罐二出料阀11相连，所述排污管道7与收集罐3和立式罐一排污阀12及立式罐二排污阀13相连，所述反吹管道6与出料管道4和立式罐一反吹阀18及立式罐二反吹阀19相连，所述收集罐排气管道14与进料管道4相连，所述收集罐3底部设置有排泄阀20。所述反吹管道6上设置有反吹泵15，所述排污管道7上设置有排污泵16。所述立式罐一 I和立式罐二 2内设置有目数为350目的过滤网17。上述立式罐一 I和立式罐二 2的外壳材料为不锈钢。本发明多晶硅还原炉尾气硅粉收集装置的使用方法为:
第一步:首先打开打开立式罐一 I的进料阀8和出料阀10，关闭立式罐二 2的进料阀9和出料阀11，将三氯氢硅合成尾气从进料管4导入到立式罐一 I中，利用重力和过滤网17的作用，将大部分硅粉拦截在立式罐一I中，并沉积在立式罐一I底部；
第二步:将立式罐二 2的进料阀9和出料阀11打开，并将立式罐一 I的进料阀8和出料阀10关闭，然后打开反吹泵15和立式罐一 I的反吹阀18对立式罐一 I内部进行反吹，然后将反吹泵15和立式罐一 I的反吹阀18关闭；
第三步:将立式罐一排污阀12和排污泵16打开，将沉积在立式罐一 I底部的硅粉和液体物料一起泵入收集罐3中，然后对收集罐3进行加热，将收集罐3中的液体物料蒸发进入收集罐排气管道14中，进行回收利用；
第四步:收集罐3底部残留废料通过排泄阀20排出。上述立式罐一 1、立式罐二 2的使用顺序可以根据生产需要进行交替。
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以上所述，仅为发明较佳的具体实施方式
，但本发明保护范围并不局限于此，根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本发明的保护范围之内。
权利要求
1.一种多晶硅还原炉尾气硅粉收集装置，包括立式罐一(I)、立式罐二(2)、收集罐(3)、进料管道(4)、出料管道(5)、反吹管道(6)、排污管道(7)、收集罐排气管道(14)，其特征在于:所述进料管道(4)与立式罐一进料阀(8)和立式罐二进料阀(9)相连，所述出料管道(5)与立式罐一出料阀(10)和立式罐二出料阀(11)相连，所述排污管道(7)与收集罐(3)和立式罐一排污阀(12 )及立式罐二排污阀(13 )相连，所述反吹管道(6 )与出料管道(5 )和立式罐一反吹阀(18)及立式罐二反吹阀(19)相连，所述收集罐排气管道(14)与进料管道(4 )相连，所述收集罐(3 )底部设置有排泄阀(20 )。
2.根据权利要求1所述的一种多晶硅还原炉尾气硅粉收集装置，其特征在于:所述反吹管道(6 )上设置有反吹泵(15)，所述排污管道(7 )上设置有排污泵(16 )。
3.根据权利要求1所述的一种多晶硅还原炉尾气硅粉收集装置，其特征在于:所述立式罐一(I)和立式罐二(2)内设置有过滤网(17)。
4.根据权利要求3所述的一种多晶硅还原炉尾气硅粉收集装置，其特征在于: 所述过滤网(17)的目数为20-500目。
5.根据权利要求1-4任一所述的一种多晶硅还原炉尾气硅粉收集装置，其特征在于:所述立式罐一(I)和立式罐二(2)的外壳材料为碳钢或者不锈钢。
6.一种权利要求1-6任一所述多晶硅还原炉尾气硅粉收集装置的使用方法，其特征在于包括如下步骤: 第一步:首先打开立式罐一(I)的进料阀(8 )和出料阀(10 )，关闭立式罐二( 2 )的进料阀(9)和出料阀(11)，将还原炉尾气从进料管(4)导入到立式罐一(I)中，利用重力和过滤网(17)的作用,将大部 分娃粉拦截在立式罐一(I)中，并沉积在立式罐一(I)底部； 第二步:将立式罐二( 2 )的进料阀(9 )和出料阀(11)打开，并将立式罐一(I)的进料阀(8)和出料阀(10)关闭，然后打开反吹泵(15)和立式罐一(I)的反吹阀(18)对立式罐一(I)内部进行反吹，然后将反吹泵(15)和立式罐一(I)的反吹阀(18)关闭； 第三步:将立式罐一排污阀(12)和排污泵(16)打开，将沉积在立式罐一(I)底部的硅粉和液体物料一起泵入收集罐(3)中，然后对收集罐(3)进行加热，将收集罐(3)中的液体物料蒸发进入收集罐排气管道(14)中，进行回收利用； 第四步:收集罐(3 )底部残留废料通过排泄阀(20 )排出。
全文摘要
一种多晶硅还原炉尾气硅粉收集装置及其使用方法，其进料管道(4)与立式罐一进料阀(8)和立式罐二进料阀(9)相连，所述出料管道(5)与立式罐一出料阀(10)和立式罐二出料阀(11)相连，所述排污管道(7)与收集罐(3)和立式罐一排污阀(12)及立式罐二排污阀(13)相连，所述反吹管道(6)与出料管道(5)和立式罐一反吹阀(18)及立式罐二反吹阀(19)相连，所述收集罐排气管道(14)与进料管道(4)相连，所述收集罐(3)底部设置有排泄阀(20)。其不但可以保证生产系统的稳定运行，延长设备的使用寿命，同时具有设备结构以及工艺简单，容易操作，效果明显等优点，具有广阔的市场前景。
文档编号C01B33/035GK103159217SQ20131007285
公开日2013年6月19日 申请日期2013年3月7日 优先权日2013年3月7日
发明者谢宝庚, 张建新 申请人:江西景德半导体新材料有限公司