专利名称：一种三氯氢硅合成工段渣浆处理装置及其使用方法
技术领域：
本发明涉及多晶硅生产设备技术领域，特别是一种三氯氢硅合成工段渣浆处理装置及其使用方法。
背景技术：
多晶硅生产中待处理渣浆是在对合成的主要产物三氯氢硅进行湿法除尘过程中，逐渐沉积在洗涤塔底部的液固混合物，其中液体的主要成分为氯硅烷，约占渣浆总量的2/3 ;固体主要成分为硅粉，约占渣浆总量的1/3 ;这些混合物如不及时排出并处理，会在洗涤塔底部堆积，造成设备无法正常运转，从而对整个合成工段造成严重影响。现有技术均采用直接水洗的办法对该部分渣浆进行处理。需要建立一套独立的渣浆处理装置，投资较大，同时需额外耗费大量的水及碱液，因此该方法不适合大工业生产使用。
发明内容
为了解决现有多晶硅生产时洗涤塔底部液氯硅烷回收所存在的缺陷和问题，本发明提供一种可以降低渣浆处理成本，避免设备损坏的三氯氢硅合成工段渣浆处理装置及其使用方法。为解决上述技术问题本发明的技术方案为:一种三氯氢硅合成工段渣浆处理装置，包括移动罐、列管式换热器、蒸汽导入管道、氮气导入管道一、蒸汽和凝液导出管道、氮气导出管道一、氯娃烧气体导出管道、温度表一、压力表一、温度表二、过滤器、压力表二、移动罐导入管道、连接法兰，其特征在于:所述列管式换热器顶部设置有蒸汽导入管道和氮气导入管道一，底部设置有蒸汽和凝液导出管道和氮气导出管道一，所述氮气导出管道一通过连接法兰与移动罐导入管道相连；所述移动罐顶部设置有氯硅烷气体导出管道和压力表二，所述氯硅烷气体导出管道上设置有过滤器和温度表二。所述移动罐导入管道上设置有导气孔。所述过滤器上设置有压差计，所述氯硅烷气体导出管道上设置有氮气导入管道二和氮气导出管道二。—种三氯氢硅合成工段渣浆处理装置的使用方法，其特征在于包括如下步骤: 第一步:首先通过列管式换热器将蒸汽导入管道导入的饱和蒸汽和氮气导入管道一导
入的氮气进行换热，然后通过氮气导出管道一和移动罐导入管道将高温氮气输送到移动罐内；
第二步:所述高温氮气与移动罐内的氯硅烷充分接触后将其气化，然后通过氯硅烷气体导出管道将其导出移动罐；
第三步:通过氯硅烷气体导出管道上设置的过滤器对氯硅烷气体携带的少量细硅粉进行过筛处理；
第四步:通过观察过滤器上压差计的读数变化，利用氮气导入管道二和氮气导出管道二对过滤器进行反向吹洗，以防止过滤器堵塞；第五步:当温度表一显示的温度与温度表二显示的温度相同时，移动罐内的氯硅烷渣浆处理完毕。所述饱和蒸汽的压力为0.2Mpa，氮气的压力为0.2Mpa。所述移动罐的最大设计压力为0.2Mpa。本发明的有益效果是:该装置采用内部加热的方式对洗涤塔底部的液固混合物进行固液分离，能够保证洗涤塔更稳定的运行，不需额外建立一套独立的渣浆处理装置，极大降低了渣浆处理的水及碱液耗量，同时该装置结构合理，装拆简便、安全可靠、可极大提高清洁的工作效率，在多晶硅生产设备中具有广泛的应用空间。
图1是本发明一种三氯氢硅合成工段渣浆处理装置结构示意图。图中:1、移动罐，2、列管式换热器，3、蒸汽导入管道，4、氮气导入管道一，5、蒸汽和凝液导出管道，6、氮气导出管道一，7、氯硅烷气体导出管道，8、氮气导入管道二，9、氮气导出管道二，10、温度表一，11、压力表一，12、温度表二，13、过滤器，14、压差计，15、压力表二，
16、导气孔，17、移动罐导入管道，18、连接法兰。
具体实施例方式
实施例1:
如图1所示，一种三氯氢硅合成工段渣浆处理装置，包括移动罐1、列管式换热器2、蒸汽导入管道3、氮气导入管道一 4、蒸汽和凝液导出管道5、氮气导出管道一 6、氯硅烷气体导出管道7、温度表一 10、压力表一 11、温度表二 12、过滤器13、压力表二 15、移动罐导入管道
17、连接法兰18，所述列管式换热器2顶部设置有蒸汽导入管道3和氮气导入管道一4，底部设置有蒸汽和凝液导出管道5和氮气导出管道一 6，所述氮气导出管道一 6通过连接法兰18与移动罐导入管道17相连；所述移动罐I顶部设置有氯硅烷气体导出管道7和压力表二 15,所述氯娃烧气体导出管道7上设置有过滤器13和温度表二 12。所述移动罐导入管道17上设置有多个导气孔16。所述过滤器13上设置有压差计14，所述氯硅烷气体导出管道7上设置有氮气导入管道二 8和氮气导出管道二 9。本发明三氯氢硅合成工段渣浆处理装置的使用方法为:
第一步:首先通过列管式换热器2将蒸汽导入管道3导入的饱和蒸汽和氮气导入管道一 4导入的氮气进行换热,然后通过氮气导出管道一 6和移动罐导入管道17将高温氮气输送到移动罐I内；
第二步:所述高温氮气与移动罐I内的氯硅烷充分接触后将其气化，然后通过氯硅烷气体导出管道7将其导出移动罐I ;
第三步:通过氯硅烷气体导出管道7上设置的过滤器13对氯硅烷气体携带的少量细硅粉进行过筛处理；
第四步:通过观察过滤器13上压差计14的读数变化，利用氮气导入管道二 8和氮气导出管道二 9对过滤器13进行反向吹洗，以防止过滤器13堵塞；
第五步:当温度表一 10显示的温度与温度表二 12显示的温度相同时，移动罐I内的氯硅烷渣浆处理完毕。所述饱和蒸汽的压力为0.2Mpa，氮气的压力为0.2Mpa。所述移动罐I的最大设计压力为0.2Mpa。以上 所述，仅为本发明较佳的具体实施方式
，但本发明保护范围并不局限于此，根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本发明的保护范围之内。
权利要求
1.一种三氯氢硅合成工段渣浆处理装置，包括移动罐(I)、列管式换热器(2)、蒸汽导入管道(3)、氮气导入管道一(4)、蒸汽和凝液导出管道(5)、氮气导出管道一(6)、氯娃烧气体导出管道(7)、温度表一(10)、压力表一(11)、温度表二( 12)、过滤器(13)、压力表二(15)、移动罐导入管道(17)、连接法兰(18)，其特征在于:所述列管式换热器(2)顶部设置有蒸汽导入管道(3)和氮气导入管道一(4)，底部设置有蒸汽和凝液导出管道(5)和氮气导出管道一(6)，所述氮气导出管道一(6)通过连接法兰(18)与移动罐导入管道(17)相连；所述移动罐(I)顶部设置有氯硅烷气体导出管道(7)和压力表二(15)，所述氯硅烷气体导出管道(7 )上设置有过滤器(13)和温度表二(12)。
2.根据权利要求1所述的一种三氯氢硅合成工段渣浆处理装置，其特征在于:所述移动罐导入管道(17)上设置有导气孔(16)。
3.根据权利要求1所述的一种三氯氢硅合成工段渣浆处理装置，其特征在于:所述过滤器(13)上设置有压差计(14)，所述氯硅烷气体导出管道(7)上设置有氮气导入管道二(8)和氮气导出管道二 (9)。
4.一种权利要求1-3任一所述三氯氢硅合成工段渣浆处理装置的使用方法，其特征在于包括如下步骤: 第一步:首先通过列管式换热器(2)将蒸汽导入管道(3)导入的饱和蒸汽和氮气导入管道一(4)导入的氮气进行换热，然后通过氮气导出管道一(6)和移动罐导入管道(17)将高温氮气输送到移动罐(I)内； 第二步:所述高温氮气与移动罐(I)内的氯硅烷充分接触后将其气化，然后通过氯硅烷气体导出管道(7)将其导出移动罐(I); 第三步:通过氯硅烷气体导出管道(7)上设置的过滤器(13)对氯硅烷气体携带的少量细硅粉进行过筛处理； 第四步:通过观察过滤器(13)上压差计(14)的读数变化，利用氮气导入管道二(8)和氮气导出管道二(9)对过滤器(13)进行反向吹洗，以防止过滤器(13)堵塞； 第五步:当温度表一(10)显示的温度与温度表二(12)显示的温度相同时，移动罐(I)内的氯硅烷渣浆处理完毕。
5.根据权利要求4所述的三氯氢硅合成工段渣浆处理装置的使用方法，其特征在于:所述饱和蒸汽的压力为0.2Mpa，氮气的压力为0.2Mpa。
6.根据权利要求4所述的三氯氢硅合成工段渣浆处理装置的使用方法，其特征在于:所述移动罐(I)的最大设计压力为0.2Mpa。
全文摘要
本发明涉及一种三氯氢硅合成工段渣浆处理装置及其使用方法，该装置采用内部加热的方式对洗涤塔底部的液固混合物进行固液分离，能够保证洗涤塔更稳定的运行，不需额外建立一套独立的渣浆处理装置，极大降低了渣浆处理的水及碱液耗量，本发明具有设备结构以及工艺简单，容易操作，效果明显等优点，因此该装置及其使用方法具有广阔的市场前景。
文档编号C01B33/107GK103145132SQ20131007286
公开日2013年6月12日 申请日期2013年3月7日 优先权日2013年3月7日
发明者谷双, 邓新贵, 王启海, 朱宝毅, 陈惟勤, 李俊, 刘芳, 彭洁, 何超睿, 欧阳启文, 刘慎华 申请人:江西景德半导体新材料有限公司