技术总结
本发明公开了一种用于片状基片上热色涂层材料的快速退火装置，包括工作腔，所述工作腔包括内腔和外壁，内腔和外壁之间设有用于流动冷却剂的冷却夹层；所述内腔的内表面涂覆吸热涂层；所述内腔内设有能进行直线往复运动的传动机构；所述传动机构的上方设有若干支位于同一水平面的并列排布的热辐射灯管；还包括真空泵组；所述真空泵组与所述内腔相连通。本发明的快速退火装置采用面对面的辐射为主的加热，尤其适用于同时处理不同尺寸的玻璃基热色涂层材料；该装置优先加热基片表层的热色涂层材料，避免传统电加热效率低、基片吸热量多、整体温度升高，玻璃应力损耗大安全性能低的缺陷；最终能够保持钢化应力≥90Mpa而满足相关行业使用要求。
技术研发人员：徐刚;詹勇军;熊斌;黄华凛;孙耀明
受保护的技术使用者：中国科学院广州能源研究所
文档号码：201410203265
技术研发日：2014.05.14
技术公布日：2017.07.11