一种高纯度五氟化磷气体制备方法与流程

文档序号:12157365阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种新的高纯度五氟化磷气体制备方法,采用六氟磷酸钾来制备高纯度的五氟化磷,反应温和可控,氟氢化钾可以回收套用,适合工业化生产。

2.根据权利要求1所述的高纯度五氟化磷气体制备方法,六氟磷酸钾与氟化氢气体反应,采用固定床反应器。

3.根据权利要求2所述,固定床反应器加热温度为60-65℃;副产物氟化氢钾回收循环利用,用于制备六氟磷酸钾。

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