一种坩埚升降法单晶金属生长炉的制作方法

文档序号:13755570阅读:270来源:国知局

本发明属于生长炉领域,尤其涉及一种坩埚升降法单晶金属生长炉。



背景技术:

晶体的生长,是将放有原料的坩埚设置于热场中,将原料熔化为熔体。通过籽晶与熔体的接触,沿籽晶晶向拉伸进行晶体的生长。在晶体生长的过程中,尤其是蓝宝石晶体晶体生长过程中,为了使晶体生长在合适的温场中,需要将加热炉定位在加热器适合的位置;同时需要通过底部热屏的移动来实现晶体生长全过程所需要的温度梯度,从而生长出优质的晶体。因此需要相应的升降设备来调整坩埚的高度,以及坩埚与底部热屏之间的距离。



技术实现要素:

本发明的目的在于克服现有技术存在的以上问题,提供一种坩埚升降法单晶金属生长炉,能够对加热炉进行升降调节,并自由控制升降速度。

为实现上述技术目的,达到上述技术效果,本发明通过以下技术方案实现:

一种坩埚升降法单晶金属生长炉,包括炉体,所述炉体内部一侧顶端固定有步进电机,所述步进电机底端与丝杆进行传动连接,所述丝杆上安装有滑块;

所述炉体内部另一侧固定有加热炉,所述加热炉中间贯穿设置有炉管,所述炉管与滑块相互固定连接,所述炉管顶端连接有法兰,所述炉管底端连接有真空计;

所述炉体内部底端还固定有变压器。

进一步地,所述炉体外侧面设置有触摸屏,能够实现对步进电机自动化智能控制。

进一步地,所述炉体表面安装有双开门,打开与关闭操作方便,安装结构简单。

进一步地,所述炉体底部安装有福马轮,便于炉体的移动,摆脱了空间限制。

进一步地,所述加热炉与炉管之间安装有密封装置,提高生长炉的运转可靠性。

本发明的有益效果是:

本发明通过升降机构实现加热炉匀速起落,能够通过调节电机转速,自由控制升降速度,满足晶体结晶点的变化要求,整套设备结构设计简洁合理,科学实用,适合推广和使用。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本发明的进一步理解,构成本申请的一部分,本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明,并不构成对本发明的不当限定。在附图中:

图1是本发明的结构示意图;

图中标号说明:1-步进电机、2-丝杆、3-滑块、4-加热炉、5-炉管、6-法兰、7-真空计、8-变压器、9-炉体。

具体实施方式

下面将参考附图并结合实施例,来详细说明本发明。

如图1所示的一种坩埚升降法单晶金属生长炉,包括炉体9,炉体9内部一侧顶端固定有步进电机1,步进电机1底端与丝杆2进行传动连接,丝杆2上安装有滑块3;

炉体9内部另一侧固定有加热炉4,加热炉4中间贯穿设置有炉管5,加热炉4与炉管5之间安装有密封装置,提高生长炉的运转可靠性,炉管5与滑块3相互固定连接,炉管5顶端连接有法兰6,炉管5底端连接有真空计7;

炉体9内部底端还固定有变压器8,炉体9外侧面设置有触摸屏,能够实现对步进电机1自动化智能控制,炉体9表面安装有双开门,打开与关闭操作方便,安装结构简单,炉体9底部安装有福马轮,便于炉体9的移动,摆脱了空间限制。

当步进电机1工作时,丝杆2会随着步进电机1的转动而转动,并通过滑块3使热炉4进行升降调节,升降的速度可以通过调节步进电机1的转速而进行控制。

本发明通过升降机构实现加热炉匀速起落,能够通过调节电机转速,自由控制升降速度,满足晶体结晶点的变化要求,整套设备结构设计简洁合理,科学实用,适合推广和使用。

以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征和本发明的优点。本行业的技术人员应该了解,本发明不受上述实施例的限制,上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理,在不脱离本发明精神和范围的前提下,本发明还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。

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