一种用于碳化硅单晶生长的籽晶处理方法与流程

文档序号:12416663阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种用于碳化硅单晶生长的籽晶处理方法,其特征在于,包括如下步骤:

(1)在SiC籽晶背面涂覆聚合物,涂层厚度为5um-100um;

(2)将石墨纸的涂覆面与籽晶涂覆面相对放置于真空热压装置中,真空度保持在1pa-50000pa之间,加热升温至50℃-150℃,升温速率低于100℃/h;

(3)对石墨纸和籽晶施加压力,压强保持在1atm-10atm,并继续升温至200℃-300℃,升温速率低于100℃/h;

(4)把用聚合物粘接的籽晶和石墨纸放入碳化炉中,对籽晶施加压力,真空度保持在1Pa-50000Pa之间,按升温速率升温,逐步加热到1000℃至2000℃,使聚合物中小分子释放,逐步石墨化,在籽晶和石墨纸间形成致密没有孔洞的石墨过渡层;

(5)经上述处理后的籽晶通过机械方式固定在坩埚上盖上,使石墨纸紧贴坩埚上盖。

2.如权利要求1所述的籽晶处理方法,其特征在于,所述石墨纸替换为具有涂层石墨片。

3.如权利要求1或2所述的籽晶处理方法,其特征在于,所述步骤(1)中的聚合物含碳量高于50%,包括但不限于酚醛树脂、糠醛树脂、环氧树脂;所述SiC 籽晶的晶型包括4H、6H 、3C和15R 晶型。

4.如权利要求1或2所述的籽晶处理方法,其特征在于,所述石墨纸或所述具有涂层的石墨片为圆形,与籽晶涂覆面相对放置时圆心与籽晶圆心在同一条轴线上;所述石墨纸或所述具有涂层的石墨片的孔隙率小于1%,直径大于籽晶直径2mm-10mm。

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