技术特征：
1.一体式七段供气装置，其特征在于，包括通过螺栓依次连接设置的连接板、导流板、密封板；气体通过所述连接板上的进气口向所述导流板输送气体，所述导流板通过七段段试的铣槽向溅射环境输送气体；所述连接板连接七段供气与阴极盖板。2.根据权利要求1所述的一体式七段供气装置，其特征在于，工艺气体分别通过七个气体流量计送到与阴极盖板相连接的七段供气的七个进气孔，七段供气通过密封圈来密封气体管路，通过螺栓与腔体盖板相连接；气体到达连接板通过进气孔分别流向导流板，通过导流板内部铣槽引导气体流向指定位置；最后导流板上覆盖上密封板，用螺栓与导流板相连接；当想调节某一位置的工艺气体时，只需要调节相对应的气体流量计。