一种用于新能源汽车碳化硅器件的制备装置的制作方法

文档序号:11836584阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种用于新能源汽车碳化硅器件的制备装置,包括反应釜本体,其特征在于,所述的反应釜本体中间镂空设置有储料室,并在储料室的开口方向配合设置有伸缩杆,并在伸缩杆的前端有盛放装置,所述的盛放装置由支杆、托盘、热电偶组成,支杆固定设置在伸缩杆的前端,并在伸缩杆的前端设置有加热丝结构,所述的托盘与支杆固定连接,热电偶设置在支杆上,反应釜本体上设置有控制开关。

2.如权利要求1所述的用于新能源汽车碳化硅器件的制备装置,其特征在于,所述的储料室的周边设置有保温层。

3.如权利要求1所述的用于新能源汽车碳化硅器件的制备装置,其特征在于,所述的储料室的开口方向限位块。

4.如权利要求1所述的用于新能源汽车碳化硅器件的制备装置,其特征在于,所述的伸缩杆与储料室的开口接触部位设置有密封圈结构。

5.如权利要求1所述的用于新能源汽车碳化硅器件的制备装置,其特征在于,所述的反应釜本体的底部设置有防滑垫,并在防滑垫上均匀设置有若干螺栓孔。

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