一种硅芯拉制装置的制作方法

文档序号:11299864阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种硅芯拉制装置,包括挂接机构、连接盘、夹持件和高频线圈,其特征在于:在所述高频线圈的上方还设置若干导向孔,其数量及位置与所拉制的硅芯相对应。

2.如权利要求1所述的硅芯拉制装置,其特征在于:所述的连接盘为固定连接盘。

3.如权利要求1所述的硅芯拉制装置,其特征在于:所述的连接盘为旋转连接盘。

4.如权利要求1所述的硅芯拉制装置,其特征在于:所述的导向孔设置在高频线圈上方5~500mm的位置;所述的导向孔的直径与所拉制硅芯的直径差为0.5~4mm,硅芯与导向孔之间是间隙配合。

5.如权利要求4所述的硅芯拉制装置,其特征在于:所述的导向孔设置在高频线圈上方70mm的位置。

6.如权利要求4所述的硅芯拉制装置,其特征在于:所述的各导向孔被设置在一导心板上,该导心板被固定到炉室的侧壁上或通过支架固定在炉室的上下部,或者固定在高频线圈上方的吹气装置上。

7.如权利要求4所述的硅芯拉制装置,其特征在于:所述的各导向孔被独立设置,通过支架将各导向孔固定在炉壁上或高频线圈上方的吹气装置上。

8.如权利要求6所述的硅芯拉制装置,其特征在于:所述的导心板为金属材料,导心板中设有开口、引流槽、连接槽和中部孔,所述开口从中部孔贯通至导心板外缘面,所述引流槽的一侧通过连接槽连接导向孔的一侧。

9.如权利要求1或8所述的硅芯拉制装置,其特征在于:所述的导向孔中设置可拆卸的导向套。

10.如权利要求3所述的硅芯拉制装置,其特征在于:所述的旋转连接盘设有旋转机构,所述旋转机构的输入端连接动力源,连接盘的下部设有多个夹持件,旋转机构与夹持件相连接使夹持件旋转,所述连接盘的上部连接提拉装置。

11.如权利要求10所述的硅芯拉制装置,其特征在于:所述的旋转机构由主动齿轮和从动齿轮构成。

12.如权利要求10所述的硅芯拉制装置,其特征在于:所述的旋转机构由主动摩擦轮和从动摩擦轮构成。

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