一种制备电子级二氯二氢硅的装置的制作方法

文档序号:12774282阅读:来源:国知局
技术总结
本发明公开了一种制备电子级二氯二氢硅的装置。其中,该装置包括:反应器,用于芳香醛或芳香醛的衍生物与原料二氯二氢硅进行反应;提纯塔,用于将反应器中的反应产物先脱除部分重组分、再脱除轻组分和剩余的重组分得到电子级二氯二氢硅;以及吸附提纯单元,用于将二氯二氢硅进一步去除杂质,得到电子级二氯二氢硅应用本发明的技术方案,本工艺极大地的缩短流程,降低了设备投资和运行能耗,产品品质达到电子级。

技术研发人员:刘见华;赵雄;万烨;郭树虎;姜丽霞;王芳;杨永亮;杜俊平;汤传斌;严大洲
受保护的技术使用者:洛阳中硅高科技有限公司;中国恩菲工程技术有限公司
文档号码:201710226794
技术研发日:2017.04.06
技术公布日:2017.06.30

当前第3页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1