一种在高电场下具有稳定铁电性的HoSrMnZn共掺铁酸铋铁电薄膜及其制备方法与流程

文档序号:11222888阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明提供了一种在高电场下具有稳定铁电性的HoSrMnZn共掺铁酸铋铁电薄膜及其制备方法,以硝酸铋、硝酸钬、硝酸锶、硝酸铁、醋酸锰和硝酸锌为原料(硝酸铋过量5%),以乙二醇甲醚和乙酸酐为溶剂,用旋涂法和层层退火的工艺制备了在高电场下具有稳定铁电性的Bi0.89Ho0.08Sr0.03Fe0.95Mn0.03Zn0.02O3铁电薄膜。本发明采用溶胶凝胶工艺,并采用旋涂和层层退火法,设备要求简单,实验条件易于实现,适宜在大的表面和形状不规则的表面上制备薄膜,且化学组分精确可控,制得的在高电场下具有稳定铁电性的HoSrMnZn共掺铁酸铋铁电薄膜均匀性较好,能够有效提高其耐击穿性能,提高其剩余极化值。

技术研发人员:谈国强;郭美佑;杨玮;刘云;任慧君;夏傲
受保护的技术使用者:陕西科技大学
技术研发日:2017.04.18
技术公布日:2017.09.08
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