一种碳化硅加工籽晶夹持装置的制作方法

本实用新型涉及碳化硅加工设备技术领域，具体为一种碳化硅加工籽晶夹持装置。

背景技术：

籽晶夹具是碳化硅长晶制造的过程中一种重要而且是必需的部件，籽晶从最开始长晶准备工序到最终的长晶结束退火阶段需要被很好地固定到籽晶夹具中，确保在制备过程中籽晶不会脱落掉入熔汤，最终顺利完成碳化硅单晶的生长，为此，我们推出一种新的碳化硅加工籽晶夹持装置。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种碳化硅加工籽晶夹持装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种碳化硅加工籽晶夹持装置，包括夹持柱体，所述夹持柱体的底部设有夹持腔，所述夹持腔的上侧位于夹持柱体的上部设有夹持后腔，所述夹持腔的侧边设有凹槽，所述凹槽的内部通过螺杆连接有夹紧块，所述夹紧块的内部设有轴承，所述螺杆的一端套接于轴承的内部。

优选的，所述夹持后腔的表面设有后腔防护垫。

优选的，所述夹紧块的内侧表面设有防护垫。

优选的，所述夹紧块为等距对称设置。

优选的，所述夹持后腔和夹持腔的尺寸相等。

优选的，所述夹持柱体的上部侧边设有观察口。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型通过夹持后腔和夹持腔的尺寸相等的设置，便于碳化硅籽晶经由夹持腔进入夹持后腔，通过观察口的设置，可观察到碳化硅籽晶是否进入至夹持后腔的合适位置处，便于后续通过夹紧块对碳化硅籽晶的夹紧工作，在碳化硅籽晶经由夹持腔进入夹持后腔，碳化硅籽晶的上端以及上部侧边与夹持后腔接触时，通过后腔防护垫的设置，可起到保护碳化硅籽晶的作用，然后旋紧螺杆，使得夹紧块夹紧碳化硅籽晶时，此时，防护垫的设置起到很好的防护作用，通过夹紧块的等距对称设置，使得夹紧块之间相互配合夹紧后，对碳化硅籽晶起到很好的夹紧固定作用。

附图说明

图1为本实用新型夹持腔横截面结构示意图；

图2为本实用新型内部结构示意图；

图3为本实用新型正视结构示意图。

图中：1是夹持柱体，2是螺杆，3是凹槽，4是夹持腔，5是夹紧块，6是防护垫，7是轴承，8是观察口，9是夹持后腔，10是后腔防护垫。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。

请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：一种碳化硅加工籽晶夹持装置，包括夹持柱体1，所述夹持柱体1的底部设有夹持腔4，所述夹持腔4的上侧位于夹持柱体1的上部设有夹持后腔9，所述夹持腔4的侧边设有凹槽3，所述凹槽3的内部通过螺杆2连接有夹紧块5，所述夹紧块5的内部设有轴承7，所述螺杆2的一端套接于轴承7的内部。

进一步的，所述夹持后腔9的表面设有后腔防护垫10，在碳化硅籽晶经由夹持腔4进入夹持后腔9，碳化硅籽晶的上端以及上部侧边与夹持后腔9接触时，通过后腔防护垫10的设置，可起到保护碳化硅籽晶的作用。

进一步的，所述夹紧块5的内侧表面设有防护垫6，通过防护垫6的设置，可在旋紧螺杆2，使得夹紧块5夹紧碳化硅籽晶时，起到很好的防护作用。

进一步的，所述夹紧块5为等距对称设置，通过夹紧块5的等距对称设置，使得夹紧块5之间相互配合夹紧后，对碳化硅籽晶起到很好的夹紧固定作用。

进一步的，所述夹持后腔9和夹持腔4的尺寸相等，通过夹持后腔9和夹持腔4的尺寸相等的设置，便于碳化硅籽晶经由夹持腔4进入夹持后腔9。

进一步的，所述夹持柱体1的上部侧边设有观察口8，通过观察口8的设置，可观察到碳化硅籽晶是否进入至夹持后腔9的合适位置处，便于后续通过夹紧块5对碳化硅籽晶的夹紧工作。

具体的，使用时，通过夹持后腔9和夹持腔4的尺寸相等的设置，便于碳化硅籽晶经由夹持腔4进入夹持后腔9，通过观察口8的设置，可观察到碳化硅籽晶是否进入至夹持后腔9的合适位置处，便于后续通过夹紧块5对碳化硅籽晶的夹紧工作，在碳化硅籽晶经由夹持腔4进入夹持后腔9，碳化硅籽晶的上端以及上部侧边与夹持后腔9接触时，通过后腔防护垫10的设置，可起到保护碳化硅籽晶的作用，然后旋紧螺杆2，使得夹紧块5夹紧碳化硅籽晶时，此时，防护垫6的设置起到很好的防护作用，通过夹紧块5的等距对称设置，使得夹紧块5之间相互配合夹紧后，对碳化硅籽晶起到很好的夹紧固定作用。

本实施例的其他部分采用现有技术，在此不再赘述。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型。