一种直拉法生产单晶硅棒用的籽晶夹持装置的制作方法

文档序号:14322664阅读:来源:国知局
一种直拉法生产单晶硅棒用的籽晶夹持装置的制作方法

技术特征:

1.一种直拉法生产单晶硅棒用的籽晶夹持装置,其特征在于,包括相连的重锤部(1)和籽晶放置部(2),所述重锤部(1)的上端设有连接籽晶绳的销钉孔(5),所述籽晶放置部(2)内部具有放置石墨过渡部(3)的空腔,且所述石墨过渡部(3)穿过所述籽晶放置部(2)远离重锤部(1)的端面,所述石墨过渡部(3)设有竖向的通孔用于放置籽晶(4),所述重锤部(1)的下部至少设置有两个向外侧突出的挡块,所述籽晶放置部(2)靠近重锤部(1)的端面上开设有与所述挡块数量、形状均对应的开孔。

2.如权利要求1所述的一种直拉法生产单晶硅棒用的籽晶夹持装置,其特征在于,所述挡块的上端面上开设有凹槽(6),设有开孔的籽晶放置部(2)的顶端内表面设置有与所述凹槽(6)形状相适应的凸块(7)。

3.如权利要求1所述的一种直拉法生产单晶硅棒用的籽晶夹持装置,其特征在于,所述籽晶放置部(2)的内部空腔与石墨过渡部(3)外壁的相接触的部分为形状相适应的锥形。

4.如权利要求1所述的一种直拉法生产单晶硅棒用的籽晶夹持装置,其特征在于,所述籽晶放置部(2)的内部空腔为锥形,所述石墨过渡部(3)的上部设置有至少三个向外侧突出的接触块(8),所述接触块(8)的外表面形状与所述籽晶放置部(2)内部空腔的锥形相适应。

5.如权利要求1所述的一种直拉法生产单晶硅棒用的籽晶夹持装置,其特征在于,所述石墨过渡部(3)的通孔为圆锥形,所述籽晶(4)的形状与所述通孔的形状相适应。

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