一种直拉法生产单晶硅棒用的籽晶夹持装置的制作方法

文档序号:14322664阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型公开的一种直拉法生产单晶硅棒用的籽晶夹持装置,包括相连的重锤部和籽晶放置部,重锤部的上端设有连接籽晶绳的销钉孔,籽晶放置部内部具有放置石墨过渡部的空腔,且石墨过渡部穿过籽晶放置部远离重锤部的端面,石墨过渡部设有竖向的通孔用于放置籽晶,重锤部的下部至少设置有两个向外侧突出的挡块,籽晶放置部靠近重锤部的端面上开设有与挡块数量、形状均对应的开孔。本实用新型的一种直拉法生产单晶硅棒用的籽晶夹持装置各部件均使用耐高温金属材质,防止其自身破碎,各部件之间连接方式采用旋转卡扣方式,防止金属件之间用螺纹连接在高温下使用时烧死情况,而在籽晶夹持装置内部垫石墨材质过渡部件,防止籽晶受热冲击。

技术研发人员:李博一;梁永生;冉瑞应;李迎春;杨东;周宏坤
受保护的技术使用者:银川隆基硅材料有限公司
文档号码:201721171791
技术研发日:2017.09.13
技术公布日:2018.05.01

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