一种带有可调旋转样品架的离子溅射仪的制作方法

本发明属于溅射仪技术领域，具体涉及一种带有可调旋转样品架的离子溅射仪。

背景技术：

溅射仪可以将一些卤化物气体直接导向样品表面，在离子束轰击下，可以实现增强刻蚀:高能离子束将气体等离子化活化，对离子束刻蚀分为物理离子束刻蚀和反应离子束刻蚀。当高能束轰击样品时，动量会传递给样品中的原子或者分子，产生溅射效应。选择合适的离子束流，可以对不同材料的样品实施告诉微区刻蚀，可以对8英寸晶圆和12英寸晶圆进行刻蚀。

现有的离子溅射仪顶部的样品检测筒无法与离子溅射仪底箱进行固定，样品检测筒受到触碰后容易滑落损坏，而在离子溅射仪进行工作时，离子溅射仪内部产生的热量无法快速散失，容易使离子溅射仪内部的元件过度受热而老化，减少使用寿命的问题，为此我们提出一种带有可调旋转样品架的离子溅射仪。

技术实现要素：

本发明的目的在于提供一种带有可调旋转样品架的离子溅射仪，以解决上述背景技术中提出的现有的离子溅射仪顶部的样品检测筒无法与离子溅射仪底箱进行固定，样品检测筒受到触碰后容易滑落损坏，而在离子溅射仪进行工作时，离子溅射仪内部产生的热量无法快速散失，容易使离子溅射仪内部的元件过度受热而老化，减少使用寿命的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种带有可调旋转样品架的离子溅射仪，包括样品架、样品架外护罩和离子溅射仪底箱，所述还包括固定机构和散热机构，所述固定机构包括固定卡环与固定卡槽，所述固定卡环位于样品架底座的底部且固定卡环与样品架底座通过强胶粘合固定，所述离子溅射仪底箱的顶部设置有离子溅射仪底箱顶壳体，所述固定卡槽开设在离子溅射仪底箱顶壳体的顶端内部，所述样品架底座与离子溅射仪底箱顶壳体通过固定卡环与固定卡槽卡合固定，所述散热机构包括旋转护板和散热片，所述旋转护板与散热片的连接位置处设置有旋转轴，所述旋转护板的内部设置有固定锁，所述散热片与离子溅射仪底箱顶壳体之间设置有导热硅脂。

优选的，所述样品架安装在样品架外护罩的内部，所述离子溅射仪底箱位于样品架的底部。

优选的，所述离子溅射仪底箱的侧表面设置有指针表，所述指针表的底部设置有数显屏幕，所述数显屏幕的底部设置有操作按钮，所述操作按钮的一侧设置有开关。

优选的，所述散热片与离子溅射仪底箱顶壳体通过导热硅脂粘合固定。

优选的，所述旋转护板与离子溅射仪底箱顶壳体通过旋转轴卡合固定。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：离子溅射仪顶部的样品检测筒可以与离子溅射仪底箱进行固定，避免样品检测筒受到触碰后滑落损坏；而在离子溅射仪进行工作时，可以通过打开旋转护板，露出内部的散热片，使离子溅射仪内部产生的热量通过散热片快速散失，避免离子溅射仪内部的元件过度受热而老化。

附图说明

图1为本发明的离子溅射仪正面结构示意图；

图2为本发明的样品架外护罩固定结构示意图；

图3为本发明的离子溅射仪顶壳整体结构示意图；

图4为本发明的离子溅射仪顶壳侧面剖视结构示意图；

图中：1、样品架外护罩；2、样品架底座；3、离子溅射仪底箱；4、数显屏幕；5、操作按钮；6、指针表；7、开关；8、离子溅射仪底箱顶壳体；9、样品架；10、固定卡环；11、固定卡槽；12、散热片；13、旋转轴；14、固定锁；15、旋转护板；16、导热硅脂。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

请参阅图1、图2、图3和图4，本发明提供一种技术方案：一种带有可调旋转样品架的离子溅射仪，包括样品架9、样品架外护罩1和离子溅射仪底箱3，还包括固定机构和散热机构，固定机构包括固定卡环10与固定卡槽11，固定卡环10位于样品架底座2的底部且固定卡环10与样品架底座2通过强胶粘合固定，离子溅射仪底箱3的顶部设置有离子溅射仪底箱顶壳体8，固定卡槽11开设在离子溅射仪底箱顶壳体8的顶端内部，样品架底座2与离子溅射仪底箱顶壳体8通过固定卡环10与固定卡槽11卡合固定，散热机构包括旋转护板15和散热片12，旋转护板15与散热片12的连接位置处设置有旋转轴13，旋转护板15的内部设置有固定锁14，散热片12与离子溅射仪底箱顶壳体8之间设置有导热硅脂16。

为了使样品可以旋转进行不同部位刻蚀，本实施例中，优选的，样品架9安装在样品架外护罩1的内部，离子溅射仪底箱3位于样品架9的底部。

为了使离子溅射仪方便操作读数，本实施例中，优选的，离子溅射仪底箱3的侧表面设置有指针表6，指针表6的底部设置有数显屏幕4，数显屏幕4的底部设置有操作按钮5，操作按钮5的一侧设置有开关7。

为了使热量可以方便通过散热片12散失，本实施例中，优选的，散热片12与离子溅射仪底箱顶壳体8通过导热硅脂16粘合固定。

为了使旋转护板15方便旋转，本实施例中，优选的，旋转护板15与离子溅射仪底箱顶壳体8通过旋转轴13卡合固定。

本发明的工作原理及使用流程：该发明安装好以后，先使样品架底座2通过底部的固定卡环10卡入固定卡槽11内部，从而使样品架9固定，然后把样品放到固定卡槽9的表面，然后再旋转打开旋转护板15露出内部的散热片12，再旋转开关7使样品架9旋转，使溅射仪对样品的不同部位溅射刻蚀，可以在数显屏幕4和指针表6表面观察刻蚀情况，在离子溅射仪工作过程中，在离子溅射仪底箱3内部产生的热量传递给离子溅射仪底箱顶壳体8以后，可以通过散热片12快速散失，在完成样品溅射刻蚀以后，可以转动旋转护板15通过固定锁14与离子溅射仪底箱顶壳体8锁合固定，从而使旋转护板15盖住散热片12，非常方便。

尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

技术特征：

技术总结
本发明公开了一种带有可调旋转样品架的离子溅射仪，包括样品架、样品架外护罩和离子溅射仪底箱，所述还包括固定机构和散热机构，所述固定机构包括固定卡环与固定卡槽，所述固定卡环位于样品架底座的底部且固定卡环与样品架底座通过强胶粘合固定，所述离子溅射仪底箱的顶部设置有离子溅射仪底箱顶壳体，所述固定卡槽开设在离子溅射仪底箱顶壳体的顶端内部，所述样品架底座与离子溅射仪底箱顶壳体通过固定卡环与固定卡槽卡合固定，而在离子溅射仪进行工作时，可以通过打开旋转护板，露出内部的散热片，使离子溅射仪内部产生的热量通过散热片快速散失，避免离子溅射仪内部的元件过度受热而老化。

技术研发人员：倪阳柱;孙健;张慧;王倩
受保护的技术使用者：江苏纳沛斯半导体有限公司
技术研发日：2018.06.22
技术公布日：2018.12.18