专利名称：带吸气剂的溅射离子复合泵的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种获得清洁超高真空的真空泵，尤其涉及一种带吸气 剂的溅射离子复合泵。
背景技术：
目前获得清洁超高真空的真空泵一般有溅射离子泵和非蒸散吸气剂泵。 溅射离子泵的抽气机理是在强磁场和强电场作用下气体电离，正离子猛烈轰 击阴极钛板，溅射出吸气材料钛，钛淀积在阳极内壁和阴极板上，形成抽气 钛膜与活性气体发生化学作用生成化合物，同时覆盖掩埋惰性气体，达到抽 除气体的目的；基于溅射离子泵的工作原理，泵内必须有强磁场和强电场， 磁铁和导磁铁的重量占泵总重量的70% ，使泵体十分笨重， 一台抽速300 升/秒的离子泵重达69公斤，抽速质量比过小， 一定程度上限制了溅射离子 泵的应用范围；而非蒸散吸气剂泵具有结构简单、体积小、重量轻、造价低、 操作安全可靠、维修方便、清洁无油等优点。特别适用于抽除氢气。对氢抽 速500升/秒的非蒸散吸气剂泵只有300克重。非蒸散吸气剂泵的抽气机理 是将锆基合金粉末涂敷在金属带上制成锆基合金粉末吸气带，工作时将合金 粉末吸气带加热到40(TC左右，就能稳定地抽除活性气体，既合金对活性气 体的化学吸附；基于非蒸散吸气剂泵的工作原理，现有非蒸散吸气剂泵不能 抽除惰性气体，且激活温度在40(TC以上，必须配备加热装置，包括电源， 电流引入电极和温度计等。因此溅射离子泵抽速质量比小，泵体十分笨重； 而非蒸散吸气剂泵不能抽除惰性气体，且激活温度较高。发明内容本实用新型所要解决的技术问题是提供一种带吸气剂的溅射离子复合 泵，其真空度高，体积小，重量轻，抽速质量比高，能抽除惰性气体。为解决上述技术问题，本实用新型带吸气剂的溅射离子复合泵包括箱 体、箱体内安装有溅射离子泵，同时在箱体内还设置了以固定形式放置的吸 气剂，并放置在箱体内与溅射离子泵相对的另一侧；吸气剂为镀有锆、钒、 钛合金的金属薄板；该薄板在箱体内有若干片成折摺平行排列，且薄板横截 面成幵口矩形、开口梯形或圆弧形状。由于本实用新型的带吸气剂的溅射离子复合泵采用了特殊的吸气剂材 料，其激活温度低，约为15(TC，与超高真空烘烤除气温度相当，不必配备 加热装置，吸气剂金属薄板制成合理的形状与离子泵有机结合，因此本实用 新型带吸气剂的溅射离子复合泵抽氢能力提高，故极限真空度大大提高，抽 速质量比也获得了很大提高。
以下结合附图和实施方式对本实用新型作进一步的详细说明 图1为本实用新型带吸气剂的溅射离子复合泵的结构示意图具体实施方式
图1为本实用新型带吸气剂的溅射离子复合泵的结构示意图，其包括箱 体l、箱体l内安装有溅射离子泵2，同时在箱体l内还设置了以固定形式 放置的吸气剂3;吸气剂3由镀有锆、钒、钛合金的金属薄板组成，在箱体1内吸气剂3安放在与溅射离子泵2相对的另一侧，该吸气剂金属薄板在箱体内有四片平行排列，根据泵的具体技术数据，金属薄板的数量可有增减， 可将金属薄板成折摺地平行排列，且金属薄板横截面也可成开口矩形、开口 梯形或圆弧形状。由于采用了镀有锆、钒、钛合金的金属薄板为吸气剂材料，其激活温度 低，并制成合理的形状与离子泵有机结合，故本带吸气剂的溅射离子复合泵 极限真空度高，抽速质量比大。
权利要求1. 一种带吸气剂的溅射离子复合泵，包括箱体、所述箱体内的溅射离子泵，其特征在于在所述箱体内还设置有固定形式放置的吸气剂。
2. 根据权利要求1所述的一种带吸气剂的溅射离子复合泵，其特征在 于所述的吸气剂为镀有锆、钒、钛合金的金属薄板。
3. 根据权利要求1所述的一种带吸气剂的溅射离子复合泵，其特征在 于所述的吸气剂金属薄板安放在箱体内与溅射离子泵相对的另一侧。
4. 根据权利要求l、 2或3所述的一种带吸气剂的溅射离子复合泵，其 特征在于所述的吸气剂金属薄板成折摺平行排列。
5. 根据权利要求l、 2或3所述的一种带吸气剂的溅射离子复合泵，其特征在于所述的吸气剂金属薄板横截面成开口矩形或梯形形状。
6. 根据权利要求l、 2或3所述的一种带吸气剂的溅射离子复合泵，其特征在于所述的吸气剂金属薄板横截面成圆弧形状。
专利摘要本实用新型公开了一种带吸气剂的溅射离子复合泵，包括箱体、箱体内安装有溅射离子泵，同时在箱体内还设置了固定形式放置的吸气剂，吸气剂为镀有锆、钒、钛合金的金属薄板，该吸气剂金属薄板在箱内与溅射离子泵相对的另一侧安放，并可多片成折摺平行排列，其横截面成开口矩形、开口梯形或圆弧形状；由于采用了特殊的吸气剂材料，其激活温度低，约为150℃，与超高真空烘烤除气温度相当，不必配备加热装置，吸气剂制成合理的形状与离子泵有机结合，因此本实用新型带吸气剂的溅射离子复合泵抽氢能力提高，故极限真空度大大提高，体积小，质量轻，抽速质量比大。
文档编号F04B37/04GK201092948SQ20072007090
公开日2008年7月30日 申请日期2007年6月11日 优先权日2007年6月11日
发明者郑主安 申请人:上海三井真空设备有限公司