技术总结
本实用新型公开了一种VAD芯棒沉积用燃烧器反应稳定性控制装置，包括气柜、蒸发箱、第二载气管路、混合气体管路、燃烧器、反应釜，气柜和燃烧器之间用至少一条第一载气管路相连，蒸发箱连接有原料气体管路，燃烧器和反应釜相连，反应釜内设有产品，第二载气管路上设有加热区，加热区内设有第一温度传感器，第二载气管路两端分别和气柜、原料气体管路相连，混合气体管路上设有第二温度传感器和第三温度传感器，混合气体管路的前端与第二载气管路和原料气体管路之间的混合连接处相连，混合气体管路的后端和燃烧器相连。本实用新型具有气体输送稳定不易液化，加热效果好，气体在燃烧器中反应的均匀性稳定性好等优点。
技术研发人员：宋大吉;朱守标;金剑锋
受保护的技术使用者：杭州永通智造科技有限公司
技术研发日：2019.01.29
技术公布日：2019.10.18