一种玻璃蚀刻方法与流程

文档序号:23727176发布日期:2021-01-26 17:34阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种玻璃蚀刻方法,其特征在于,所述玻璃蚀刻方法包括:在超声条件下,采用蚀刻溶液对玻璃进行蚀刻;所述蚀刻溶液中含有碱和碳原子数≤10的醇类有机物。2.根据权利要求1所述的玻璃蚀刻方法,其特征在于,所述醇类有机物的碳原子数为2~4;优选地,所述醇类有机物为括乙醇或异丙醇;优选地,所述蚀刻溶液中醇类有机物的体积浓度为1~30%。3.根据权利要求1或2所述的玻璃蚀刻方法,其特征在于,所述超声的频率为200~1000khz。4.根据权利要求1~3任一项所述的玻璃蚀刻方法,其特征在于,所述超声的频率为200~300khz且不包括300khz时,所述蚀刻溶液中醇类有机物的体积浓度为10~30%且不包括10%。5.根据权利要求1~4任一项所述的玻璃蚀刻方法,其特征在于,所述超声的频率为300~500khz且不包括500khz时,所述蚀刻溶液中醇类有机物的体积浓度为5~10%且不包括5%。6.根据权利要求1~5任一项所述的玻璃蚀刻方法,其特征在于,所述超声的频率为500~1000khz时,所述蚀刻溶液中醇类有机物的体积浓度为1~5%。7.根据权利要求1~6任一项所述的玻璃蚀刻方法,其特征在于,所述蚀刻的温度为60~90℃,优选为80~90℃。8.根据权利要求1~7任一项所述的玻璃蚀刻方法,其特征在于,所述玻璃包括钠玻璃、硼玻璃或硅玻璃中的任意一种或至少两种的组合。9.根据权利要求1~8任一项所述的玻璃蚀刻方法,其特征在于,所述碱在蚀刻溶液的水中的质量浓度≥30%;优选地,所述碱包括氢氧化钠和/或氢氧化钾。10.根据权利要求1~9任一项所述的玻璃蚀刻方法,其特征在于,所述方法包括:在60~90℃以及超声条件下,采用蚀刻溶液对玻璃进行蚀刻;所述蚀刻溶液中含有碱和碳原子数≤10的醇类有机物;所述碱在蚀刻溶液的水中的质量浓度≥30%;其中,所述超声的频率为200~300khz且不包括300khz时,所述蚀刻溶液中醇类有机物的体积浓度为10~30%且不包括10%;所述超声的频率为300~500khz且不包括500khz时,所述蚀刻溶液中醇类有机物的体积浓度为5~10%且不包括5%;所述超声的频率为500~1000khz时,所述蚀刻溶液中醇类有机物的体积浓度为1~5%。
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