一种玻璃蚀刻方法与流程

文档序号:23727176发布日期:2021-01-26 17:34阅读:来源:国知局
技术总结
本发明提供一种玻璃蚀刻方法,所述玻璃刻蚀方法通过采用碱和碳原子数≤10的醇类有机物的溶液作为蚀刻液,并辅助采用超声,大大降低了蚀刻后玻璃内壁的粗糙度,其粗糙度能够达到≤6nm,能够广泛应用于各种玻璃的刻蚀,应用前景广阔。前景广阔。前景广阔。


技术研发人员:张轶鸣
受保护的技术使用者:泰极微技术(无锡)有限公司
技术研发日:2020.11.09
技术公布日:2021/1/26

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