技术特征：
1.一种坩埚及埚帮冷却组件，包括埚帮(1)，其特征在于，所述埚帮(1)的内侧开设有浅槽(11)，所述浅槽(11)的内部填充树脂为硅烷树脂层(12)，所述埚帮(1)的底部涂有耐磨层，所述耐磨层的边侧设置有高温隔热层(12)，所述埚帮(1)的顶部两侧帮壁倾斜设置为筒状，所述浅槽(11)之间对称设置。2.根据权利要求1所述的一种坩埚及埚帮冷却组件，其特征在于：所述埚帮(1)的内部套设有坩埚(2)，所述坩埚(2)的外侧涂有石墨粉层，所述埚帮(1)的软化温度大于所述坩埚(2)的软化温度。3.根据权利要求1所述的一种坩埚及埚帮冷却组件，其特征在于：所述埚帮(1)的底部开设有开槽(13)，所述开槽(13)内部滑动连接有支撑块(14)，所述支撑块(14)的两侧卡合块(15)，所述支撑块(14)底部位于中部开设有若干个第一散热槽(16)，所述坩埚(2)的底部底面与埚帮(1)的内部表面接触配合，所述埚帮(1)的底端两侧开设有若干个第二散热槽(17)。4.根据权利要求1所述的一种坩埚及埚帮冷却组件，其特征在于：所述埚帮(1)底部和坩埚(2)底部呈弧形，且密封封闭贴合，且所述埚帮(1)内部底端顶面支撑于埚帮(1)底端的顶面。5.根据权利要求1所述的一种坩埚及埚帮冷却组件，其特征在于：所述坩埚(2)外侧与埚帮(1)的内侧之间间隙，所述坩埚(2)外侧面与埚帮(1)的内侧面的间隙为d，且0mm＜d≤2.5mm。6.根据权利要求1所述的一种坩埚及埚帮冷却组件，其特征在于：所述坩埚(2)和埚帮(1)的底端为倒锥台形腔，所述倒锥台的母线与其中心线的夹角为α，且0
°
≤α≤3
°
，所述坩埚(2)的埚壁顶部高于埚帮(1)帮壁的顶部。7.根据权利要求1所述的一种坩埚及埚帮冷却组件，其特征在于：所述坩埚(2)的壁厚为7mm～25mm，所述埚帮(1)的壁厚为8mm～30mm。8.根据权利要求1所述的一种坩埚及埚帮冷却组件，其特征在于：所述埚帮(1)为碳埚帮或石墨埚帮；所述坩埚(2)为石英坩埚或碳化硅坩埚。9.根据权利要求8所述的一种坩埚及埚帮冷却组件，其特征在于：所述碳埚帮及石墨埚帮的密度为1.0g/cm3～1.3g/cm3；所述石英坩埚或碳化硅坩埚的密度为1.1g/cm3～1.84g/cm3。
技术总结
本发明提供一种坩埚及埚帮冷却组件，包括埚帮，埚帮的内侧开设有浅槽，浅槽的内部填充树脂为硅烷树脂层，埚帮的底部涂有耐磨层，耐磨层的边侧设置有高温隔热层，埚帮的顶部两侧帮壁倾斜设置为筒状，浅槽之间对称设置，埚帮的内部套设有坩埚，坩埚的外侧涂有石墨粉层，埚帮的软化温度大于坩埚的软化温度，本发明通过埚帮上的高温隔热层便于对坩埚在高温加工下进行隔热处理，起到一定防止坩埚发生膨胀的效果，避免坩埚膨胀无法从埚帮的内部脱离，且拆装坩埚后需要冷却一段时间，同时通过设置的高温隔热层降低石墨埚帮裂比例增加成本上升情况，保证埚帮的使用寿命，避免发生开裂，同时降低损坏的成本。降低损坏的成本。降低损坏的成本。
技术研发人员：温洋 周小渊 苏波 马占东 贺俊杰 董长海 周志鹏 沙彦文
受保护的技术使用者：宁夏中晶半导体材料有限公司
技术研发日：2022.07.28
技术公布日：2022/10/18