多晶铸锭炉防回油装置及其使用方法
【技术领域】
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[0001]本发明涉及多晶铸锭炉进气保压装置，尤其涉及多晶铸锭炉双管道进气转换保压
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【背景技术】
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[0002]在太阳能电池技术领域中，多晶铸锭是必不可少的一个重要环节，即用多晶铸锭炉将多晶原料铸造出多晶硅锭，多晶铸锭炉在运行前要保证炉内无空气，以保证正常运行及良锭的产出，所以在铸锭前需要将铸锭炉内抽真空，充入氩气排杂，以保证炉内无杂质气体。
[0003]现在使用多晶铸锭炉的大部分厂家都使用真空泵直接抽真空，真空泵与铸锭炉之间直接由抽气管相连通，若真空泵在使用过程中出现故障，如电机故障、皮带断裂、主轴断裂等，真空泵将停止工作。由于在初始加热状态下的铸锭炉炉内真空度0.006?0.008Pa，为极限真空状态，而在硅料融化阶段逐步加压到600Pa，外界大气压为980Pa，所以铸锭炉内的压力低于外界大气压，两者之间形成较大压力差，导致外界气体回流炉腔，从而导致真空泵内的机械油会通过抽气管倒流至炉腔内，由于炉腔内温度很高，机械油呈雾状直接喷入铸锭炉内，导致炉腔内的晶锭、加热器等被污染，直接报废，全部更换新零件，给厂家带来巨大的损失。针对现有技术的不足，本申请人经过长期的研宄，发明了一种多晶铸锭炉防回油装置。
【发明内容】
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[0004]为了解决真空泵回油污染铸锭炉带来的问题，本发明的目的是克服现有设备的技术缺陷，提供一种多晶铸锭炉防回油装置，它可在真空泵损坏时，外界气体无法回流炉腔，真空泵内的机械油无法通过抽气管倒流至炉腔内，不会污染炉腔内的晶锭与加热器等。
[0005]本发明所采用的技术方案是:
[0006]多晶铸锭炉防回油装置，其特征是:包括真空泵、单向阀、抽气管和铸锭炉，真空泵与铸锭炉之间由抽气管相通联，单向阀安装在真空泵与铸锭炉之间的抽气管上，真空泵将铸锭炉内的气体通过抽气管和单向阀排出。
[0007]本发明采用了多晶铸锭炉防回油装置，它在真空泵与铸锭炉之间的抽气管上安装单向阀，在真空泵出现故障时，外界气体不能通过抽气管回流，真空泵内的机械油也无法通过抽气管倒流入铸锭炉内。杜绝了机械油污染铸锭炉腔内的晶锭、加热器等，为厂家节约了大量的成本，不会对生产造成影响。
【附图说明】
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[0008]图1为本发明结构示意图；
[0009]图中:1-真空泵；2-单向阀；3_抽气管；4-铸锭炉。【具体实施方式】:
[0010]下面结合附图详细说明本发明的具体实施方案。
[0011]多晶铸锭炉防回油装置，如图1所示，包括真空泵1、单向阀2、抽气管3和铸锭炉4，真空泵I与铸锭炉4之间由抽气管3相通联，单向阀2安装在真空泵I与铸锭炉4之间的抽气管3上，真空泵I将铸锭炉4内的气体通过抽气管3和单向阀2排出。
【主权项】
1.多晶铸锭炉防回油装置，其特征是:包括真空泵(1)、单向阀(2)、抽气管(3)和铸锭炉(4)，真空泵⑴与铸锭炉(4)之间由抽气管(3)相通联，单向阀⑵安装在真空泵(I)与铸锭炉(4)之间的抽气管(3)上，真空泵(I)将铸锭炉(4)内的气体通过抽气管(3)和单向阀⑵排出。
【专利摘要】多晶铸锭炉防回油装置，包括真空泵、单向阀、抽气管和铸锭炉，真空泵与铸锭炉之间由抽气管相通联，单向阀安装在真空泵与铸锭炉之间的抽气管上，真空泵将铸锭炉内的气体通过抽气管和单向阀排出。由于采用了多晶铸锭炉防回油装置，它在真空泵出现故障时，外界气体不能通过抽气管回流，真空泵内的机械油也无法通过抽气管倒流入铸锭炉内。杜绝了机械油污染铸锭炉腔内的晶锭、加热器等，为厂家节约了大量的成本，不会对生产造成影响。
【IPC分类】C30B28-06, C30B29-06
【公开号】CN104611766
【申请号】CN201510048109
【发明人】谈军, 刘荣建, 季小军, 吕剑明, 孙东
【申请人】国电兆晶光电科技江苏有限公司
【公开日】2015年5月13日
【申请日】2015年1月29日