一种功能性碳毡整体成型的单晶硅生长炉导流筒制备方法

文档序号:9392453阅读:595来源:国知局
一种功能性碳毡整体成型的单晶硅生长炉导流筒制备方法
【技术领域】
[0001]本发明属于太阳能光伏领域,涉及一种单晶硅生长炉导流筒的制备方法,尤其涉及一种功能性碳毡整体成型的单晶硅生长炉导流筒制备方法。
【背景技术】
[0002]导流筒是目前单晶硅生长炉热场中必备的保温器件之一,位于熔硅坩祸液面的上方,其主要作用包括:定向对气流引导;增加纵向温度梯度,提高晶棒拉速;减少热能损耗,降低运行功率。常规的导流筒是一种高纯、等静压石墨器件,缺点是:
1.由于石墨材料热导率较高,致使热场的热量散失较快、保温效果较差;继而使热场内的纵向温度梯度达不到应有的差值,或成晶界面周围的热量散失不均匀,导致晶棒出现局部扭曲现象,这些情况都会直接影响硅晶体的正常生长,降低晶棒的成品率。为了改善石墨导流筒这种缺陷,常规做法是加大热场的运行功率,这势必加剧整个系统的热能消耗;
2.常规的石墨导流筒由内、外两层筒体组合而成,有时中间还填充有保温材料,因此不仅重量较大,而且还需要经常更换保温填料,既不便于拆装,又会在使用过程中出现“掉锅”现象,导致整锅材料报废,损坏坩祸、加热器甚至整个热场;
3.在颗粒性物质、硅蒸汽和氧化性气体的冲刷作用下,常规导流筒在短期使用后,表面易产生腐蚀、开裂和掉块等现象,从而大幅缩短其使用寿命。

【发明内容】

[0003]本发明的目的是:提供一种功能性碳毡整体成型的单晶硅生长炉导流筒制备方法,能够减少热场热量散失、减轻导流筒重量,增加导流筒表面强度。
[0004]本发明是由以下技术方案来实现的:一种功能性碳毡整体成型的单晶硅生长炉导流筒制备方法,其特征是:以功能性碳毡为原材料整体成型导流筒;并采用碳/碳复合浆料涂覆技术制作导流筒表面涂层,具体包括如下步骤:
O功能性碳毡预处理,将功能性碳毡在100°C烘箱内烘干I ~ 8 h ;
2)配制胶黏剂,按照质量配比分别配制环氧树脂胶黏剂和酚醛树脂胶黏剂,环氧树脂胶黏剂的质量比为环氧树脂A:环氧树脂B:溶剂A=I:3:2,酚醛树脂胶黏剂的质量比为酚醛树脂A:固化剂:溶剂B=7:0.5:3 ;
3)功能性碳毡的预浸料制备,使功能性碳毡充分浸渍步骤2)制得的环氧树脂胶黏剂,之后送入180°C烘箱内烘干9 ~ 18 h;碳毡表面再均匀涂覆步骤2)制得的酚醛树脂胶黏剂,在干燥环境中静置24 h,挥发水分、溶剂和游离酚等挥发分;
4)胎具制备,按照产品图纸要求的具体形状、尺寸,加工制备相应胎具;
5)裁剪功能性碳毡,依据导流筒胎具的形状和尺寸裁剪功能性碳毡;
6)制作导流筒预制体,将步骤5)得到的4~ 9层功能性碳毡预浸料叠合、包覆并固定于导流筒胎具外表面,获得导流筒预制体I ;
7)树脂固化处理,将导流筒预制体I送入烘箱,在160°C、5MPa条件下,固化10~ 20h,获得导流筒预制体II ;
8)树脂碳化处理,将导流筒预制体II送入碳化炉,先在100tC下碳化10~ 25h ;再于2000°C下高温碳化15 ~ 40h,获得导流筒预制体III ;
9)机械加工,对经过上述步骤所获得的导流筒预制体III进行机械加工,以保证外形尺寸符合要求;
10)表面涂层I制备,按质量配比获得碳/碳复合浆料,其质量比为增强剂A:酚醛树脂B:溶剂B=1: (2?3): (5?6)并将各原料混合、搅拌均匀;将所得碳/碳复合浆料均匀涂覆于导流筒预制体III的表面,涂覆层厚度0.2?1.5 mm ;然后送入固化炉中,在220°C下进行15?24h的烘烤处理;再将其送入碳化炉中,于1200°C下碳化10?30h,获得导流筒预制体IV ;
11)表面涂层II制备,按质量配比获得复合浆料,其质量比为增强剂B:酸醛树脂B:溶剂B=1: (2?3): (5?6)并将各原料混合、搅拌均匀;将所得复合浆料均匀涂覆于导流筒预制体IV的表面,涂覆层厚度0.2?1.5_;然后送入固化炉中,在220°C下进行15?24 h的烘烤处理;再将其送入碳化炉中,于1800°C下,碳化10?30h,获得导流筒预制体V ;
12)表面涂层III制备,按质量配比获得复合浆料,其质量比为增强剂A:酚醛树脂B:溶剂B=1: (2?3): (5?6)并将各原料混合、搅拌均匀;将所得浆料均匀涂覆于导流筒预制体V的表面,涂覆层厚度0.2?1.5_ ;然后送入固化炉中,在220°C下进行15?24 h的烘烤处理;再将其送入碳化炉中,于1800°C下,碳化10?30h,最终获得导流筒制品。
[0005]所述步骤2 )中的环氧树脂A为环氧树脂E-56D。
[0006]所述步骤2)中的环氧树脂B为环氧树脂E-51。
[0007]所述步骤2)中的溶剂A为乙醇。
[0008]所述步骤2)中的酚醛树脂A为6812热塑性酚醛树脂。
[0009]所述步骤2)中的固化剂为六亚甲基四胺。
[0010]所述步骤2)、10)、11)、12)中的溶剂B为丙酮。
[0011]所述步骤10)、12)中的增强剂A为碳化硼粉,其中步骤10)所用碳化硼粉的粒度为325目,步骤12)所用碳化硼粉的粒度为500目。
[0012]所述步骤10)、11)、12)中的酚醛树脂B为HK-2506型热固性酚醛树脂。
[0013]所述步骤11)中的增强剂B为CQ-300气相法白炭黑。
[0014]本发明的有益效果是:
1.热场热量散失少,保温效果好,运行功率低;提高拉晶速度,晶棒成品率大幅提升;
2.整体型导流筒重量轻;只需一次安装到位,无需传统的拆装工艺过程,彻底解决“掉锅”现象;
3.导流筒表面强度高,热稳定好,抗气流和颗粒性物质冲刷的性能较好。
【具体实施方式】
[0015]下面结合实施例对本发明进一步说明。
[0016]实施例1,一种功能性碳毡整体成型的单晶硅生长炉导流筒制备方法,具体的制作步骤如下:
O功能性碳毡预处理,将功能性碳毡在100°C烘箱内烘干I h ; 2)配制胶黏剂,按照质量配比分别配制环氧树脂胶黏剂和酚醛树脂胶黏剂,环氧树脂胶黏剂的质量比为环氧树脂A:环氧树脂B:溶剂A=I:3:2,酚醛树脂胶黏剂的质量比为酚醛树脂A:固化剂:溶剂B=7:0.5:3 ;
所述环氧树脂A为环氧树脂E-56D,环氧树脂B为环氧树脂E-51,溶剂A为乙醇,酚醛树脂A为6812热塑性酚醛树脂,固化剂为六亚甲基四胺,溶剂B为丙酮;
3)功能性碳毡预浸料制备,使功能性碳毡充分浸渍步骤2)制得的环氧树脂胶黏剂,之后送入180°C烘箱内烘干9h ;功能性碳毡表面再均匀涂覆步骤2)制得的酚醛树脂胶黏剂,在干燥环境中静置24 h,挥发水分、溶剂和游离酚等挥发分;
4)胎具制备,按照产品形状尺寸设计制备相应胎具;
5)裁剪功能性碳毡,依据导流筒胎具的形状和尺寸裁剪功能性碳毡;
6)制作导流筒预制体,将步骤5)得到的4层功能性碳毡预浸料叠合、包覆并固定于导流筒胎具外表面,获得导流筒预制体I ;
7)树脂固化处理,将导流筒预制体I送入烘箱,在160°C、5MPa条件下,固化10h,获得导流筒预制体II ;
8)树脂碳化处理,将导流筒预制体II送入碳化炉,先在100tC下碳化10h;再于2000°C下高温碳化15 h,获得导流筒预制体III ;
9)机械加工,对经过上述步骤所获得的导流筒预制体III进行机械加工,以保证外形尺寸符合要求;
10)表面涂层I制备,按质量配比获
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