玻璃板的加工方法以及玻璃板的加工装置的制造方法_5

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[0179] 实施例
[0180] [试验例1_1~试验例1_5]
[0181] 试验例1-1~试验例1-5中,对于矩形的玻璃板(长边100mm、短边50mm、板厚 1.1mm、旭硝子株式会社制的钠钙玻璃)的正面垂直入射激光。激光的光源使用Yb纤维激 光器(波长1070nm)。玻璃板对激光的吸收系数(α )为〇· 65cm \ a XM为0· 07 (即内部 透射率为93% )。激光使用从光源刚射出后截面形状是圆形、截面上的能量密度是高斯型 的分布的激光。
[0182] 试验例1-1~试验例1-4中,如图6所示用遮光部遮住激光的光束的一部分,将 玻璃板的正反两面上的激光的照射形状形成为如图8、图10所示的圆形的一部分欠缺的形 状。另一方面,试验例1-5中,不使用遮光部,将玻璃板的正反两面上的激光的照射形状形 成为无欠缺的圆形状。
[0183] 各试验例中,使玻璃板的正反两面上的激光的能量密度的峰值位置以与玻璃板的 短边平行的方式从玻璃板的一方的长边移动到另一方的长边。激光的能量密度的峰值位置 配置在自玻璃板的一方的短边起为15mm(自另一方的短边起为85mm)的位置。使用刀轮、 以达到玻璃板的上下表面的方式在玻璃板的端面形成初始裂纹。以玻璃板所形成的裂纹面 的形态和截面形状进行评价。
[0184] 将其他实验条件与评价结果一起在表1中示出。表1所示的条件以外的条件与试 验例1-1~试验例1-5中相同。以下的各表中,P表示光源的输出功率,V表示在玻璃板的上 下表面上的激光的照射位置的移动速度,f表示聚光透镜的焦点距离,d表示从玻璃板的正 面到激光的聚焦位置为止的距离。d为正表示激光的聚焦位置在玻璃板的正面的上方(光 源侧);d为负表示激光的聚焦位置在玻璃板的正面的下方(光源的相反侧)。其他符号的 意思与上述相同。此外,以下的各表中,裂纹的"形态"表示裂纹的深度,将如图3及图5所 示裂纹为槽状的情况记作"刮擦",将如图4所示裂纹贯穿玻璃板的情况记作"全切"。此外, 裂纹的"截面形状"表示正面侧裂纹面及反面侧裂纹面的斜率,这些斜率为图3及图4所示 的斜率的情况记作"类型A",这些斜率为图5所示的斜率的情况记作"类型B",正面侧裂纹 面及反面侧裂纹面形成为"类型A"或"类型B"以外的形状、例如正面侧裂纹面及反面侧裂 纹面垂直的情况或无法控制截面形状的情况记作"类型C"。此外,"类型C"包括形成沿板 厚方向贯穿玻璃板且与玻璃板的正反两面垂直的裂纹面的情况。
[0185] [表 1]
[0186] LlN 丄UO丄丄 Λ 、" 丄O/?Ζ ja
[0187] 试验例1-1~试验例1-4中,在玻璃板的正反面上形成以规定的基准线为中心呈 左右非对称的能量密度分布,所以形成了与玻璃板的正面倾斜地连接的正面侧裂纹面以及 与玻璃板的反面倾斜地连接的反面侧裂纹面。另一方面,试验例1-5中,在玻璃板的正反面 形成以规定的基准线为中心呈左右对称的能量密度分布,所以形成了 "类型C"的裂纹面。
[0188] [试验例2-1~试验例2-7]
[0189] 试验例2-1~试验例2-7中,对于矩形的玻璃板(长边100mm、短边50mm、板厚 3. 1mm、旭硝子株式会社制的钠钙玻璃)的正面垂直入射激光。激光的光源使用Yb纤维激 光器(波长1070nm)。玻璃板对激光的吸收系数(α )为2. 86cm \ a XM为0· 89 (即内部 透射率为41% )。激光使用从光源刚射出后截面形状是圆形、截面上的能量密度是高斯型 的分布的激光。
[0190] 试验例2-1~试验例2-6中,如图13所不用遮光部遮住激光的光束的一部分,将 玻璃板的正反两面上的激光的照射形状形成为如图16~图21所示的圆形的一部分欠缺的 形状。另一方面,试验例2-7中,不使用遮光部,将玻璃板的正反两面上的激光的照射形状 形成为无欠缺的圆形状。
[0191] 各试验例中,使玻璃板的正反两面上的激光的能量密度的峰值位置以与玻璃板的 短边平行的方式从玻璃板的一方的长边移动到另一方的长边。激光的能量密度的峰值位置 配置在自玻璃板的一方的短边起为15mm(自另一方的短边起为85mm)的位置。使用刀轮、 以达到玻璃板的上下表面的方式在玻璃板的端面形成初始裂纹。以玻璃板所形成的裂纹面 的形态和截面形状进行评价。
[0192] 将其他实验条件与评价结果一起在表2中示出。表2所示的条件以外的条件与试 验例2_1~试验例2_7中相同。
[0193] [表 2]
[0194] CN 105189381 A 说明书 18/32 页
[0195] 试验例2-1~试验例2-6中,在玻璃板的正反面上形成以规定的基准线为中心呈 左右非对称的能量密度分布,所以形成了与玻璃板的正面倾斜地连接的正面侧裂纹面以及 与玻璃板的反面倾斜地连接的反面侧裂纹面。另一方面,试验例2-7中,在玻璃板的正反面 形成以规定的基准线为中心呈左右对称的能量密度分布,所以形成了 "类型C"的裂纹面。 此外,因为由激光32的照射产生的热应力足够大,所以能形成将正面侧裂纹面和反面侧裂 纹面连接的中间裂纹面,可将玻璃板全切。
[0196] [试验例3-1~试验例3-2]
[0197] 试验例3-1~试验例3-2中,对于矩形的玻璃板(长边100mm、短边50mm、板厚 3. 1mm、旭硝子株式会社制的钠钙玻璃)的正面垂直入射激光。激光的光源使用Yb纤维激 光器(波长1070nm)。玻璃板对激光的吸收系数(α )为2. 86cm \ a XM为0· 89 (即内部 透射率为41% )。激光使用从光源刚射出后截面形状是圆形、截面上的能量密度是高斯型 的分布的激光。
[0198] 试验例3-1~试验例3-2中,如图25所不用遮光部遮住激光的光束的一部分,将 玻璃板的正反两面上的激光的照射形状形成为如图26、图28所示的圆形状。
[0199] 各试验例中,使玻璃板的正反两面上的激光的能量密度的峰值位置以与玻璃板的 短边平行的方式从玻璃板的一方的长边移动到另一方的长边。激光的能量密度的峰值位置 配置在自玻璃板的一方的短边起为15mm(自另一方的短边起为85mm)的位置。使用刀轮、 以达到玻璃板的上下表面的方式在玻璃板的端面形成初始裂纹。以玻璃板所形成的裂纹面 的形态和截面形状进行评价。
[0200] 将其他实验条件与评价结果一起在表3中示出。表3所示的条件以外的条件与试 验例3_1~试验例3_2中相同。
[0201] [表 3]
[0202] CN 105189381 A 说明书 20/32 页
[0203] 试验例3-1~试验例3-2中,在玻璃板的正反面上形成以规定的基准线为中心呈 左右非对称的能量密度分布,所以形成了与玻璃板的正面倾斜地连接的正面侧裂纹面以及 与玻璃板的反面倾斜地连接的反面侧裂纹面。
[0204] [试验例4-1~试验例4-2]
[0205] 试验例4-1~试验例4-2中,对于矩形的玻璃板(长边100mm、短边50mm、板厚 1.1mm、旭硝子株式会社制的钠钙玻璃)的正面垂直入射激光。激光的光源使用Yb纤维激 光器(波长1070nm)。玻璃板对激光的吸收系数(α )为〇· 65cm \ a XM为0· 07 (即内部 透射率为93% )。激光使用从光源刚射出后截面形状是圆形、截面上的能量密度是高斯型 的分布的激光。
[0206] 在试验例4-1~试验例4-2中,如图29所示使聚光透镜的光轴和入射至聚光透镜 的激光的光轴平行地错开,将玻璃板的正反两面上的激光的照射形状形成为如图31所示 的歪曲的圆形状。
[0207] 各试验例中,使玻璃板的正反两面上的激光的能量密度的峰值位置以与玻璃板的 短边平行的方式从玻璃板的一方的长边移动到另一方的长边。激光的能量密度的峰值位置 配置在自玻璃板的一方的短边起为15mm(自另一方的短边起为85mm)的位置。使用刀轮、 以达到玻璃板的上下表面的方式在玻璃板的端面形成初始裂纹。以玻璃板所形成的裂纹面 的形态和截面形状进行评价。
[0208] 将其他实验条件与评价结果一起在表4中示出。表4所示的条件以外的条件与试 验例4-1~试验例4-2中相同。表4中,"Da"表示玻璃板的正面上的激光的照射区域的面 积平均直径,"Db"表示玻璃板的反面上的激光的照射区域的面积平均直径。
[0209] [表 4]
[0210]
[0211] 试验例4-1~试验例4-2中,在玻璃板的正反面上形成以规定的基准线为中心呈 左右非对称的能量密度分布,所以形成了与玻璃板的正面倾斜地连接的正面侧裂纹面以及 与玻璃板的反面倾斜地连接的反面侧裂纹面。
[0212] [试验例5-1~试验例5-2]
[0213] 试验例5-1~试验例5-2中,对于矩形的玻璃板(长边100mm、短边50mm、板厚 2. Omm、旭硝子株式会社制的钠钙玻璃)的正面垂直入射激光。激光的光源使用Yb纤维激 光器(波长1070nm)。玻璃板对激光的吸收系数(α )为2. 86cm \ a XM为0· 57 (即内部 透射率为56% )。激光使用从光源刚射出后截面形状是圆形、截面上的能量密度是高斯型 的分布的激光。
[0214] 试验例5-1~试验例5-2中,如图33所示使用两个圆柱透镜,将玻璃板的正反两 面上的激光的照射形状形成为如图34、图36所示的椭圆形状。
[0215] 各试验例中,使玻璃板的正反两面上的激光的能量密度的峰值位置以与玻璃板的 短边平行的方式从玻璃板的一方的长边移动到另一方的长边。激光的能量密度的峰值位置 配置在自玻璃板的一方的短边起为15mm(自另一方的短边起为85mm)的位置。使用刀轮、 以达到玻璃板的上下表面的方式在玻璃板的端面形成初始裂纹。以玻璃板所形成的裂纹面 的形态和截面形状进行评价。
[0216] 将其他实验条件与评价结果一起在表5中示出。表5所示的条件以外的条件与试 验例5-1~试验例5-2中相同。
[0217] [表 5]
[0218] CN 105189381 A I兄明"fb 24/32 页
[0219] 试验例5-1~试验例5-2中,在玻璃板的正反面上形成以规定的基准线为中心呈 左右非对称的能量密度分布,所以形成了与玻璃板的正面倾斜地连接的正面侧裂纹面以及 与玻璃板的反面倾斜地连接的反面侧裂纹面。此外,因为由激光32的照射产生的热应力足 够大,所以能形成将正面侧裂纹面和反面侧裂纹面连接的中间裂纹面,可将玻璃板全切。
[0220] [试验例 6-1]
[0221] 试验例6-1中,对于矩形的玻璃板(长边100mm、短边50mm、板厚3. 4mm、旭硝子 株式会社制的钠钙玻璃)的正面垂直入射激光。激光的光源使用Yb纤维激光器(波长 1070nm)。玻璃板对激光的吸收系数(α)为3. 16cm1,a XM为1.07(即内部透射率为 34% )。激光使用从光源刚射出后截面形状是圆形、截面上的能量密度是高斯型的分布的激 光。如图13所示用遮光部遮住激光的光束的一部分,将玻璃板的正反两面上的激光的照射 形状形成为如图16所示的圆形的一部分欠缺的形状。
[0222] 此外,在试验例6-1中,对矩形的玻璃板的正面倾斜地入射加热光。加热光源使用 Yb纤维激光器(波长1070nm)。玻璃板的正面上的加热光的照射区域是直径20mm的圆形 状,加热光源的输出功率为60W,加热光的从X轴方向观察时的入射角(α)为30°,加热光 的从y轴方向观察时的入射角为0°。
[0223] 此外,试验例6-1中,使玻璃板的正反两面上的激光的能量密度的峰值位置以与 玻璃板的短边平行的方式从玻璃板的一方的长边移动到另一方的长边。激光的能量密度的 峰值位置配置在自玻璃板的一方的短边起为1〇_(自另一方的短边起为90_)的位置。加 热光的能量密度的峰值位置设为δ X = 8 (mm)、δ y = 8 (mm)的位置,使其与激光的能量密 度的峰值位置一起移动。使用刀轮、以达到玻璃板的上下表面的方式在玻璃板的端面形成 初始裂纹。以玻璃板所形成的裂纹面的形态和截面形状进行评价。
[0224] 将其他实验条件与评价结果一起在表6中示出。
[0225] [表 6]
[0226]
[0227]
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