聚酰亚胺/粘土感光纳米复合材料的制备方法

文档序号:3619488阅读:184来源:国知局
专利名称:聚酰亚胺/粘土感光纳米复合材料的制备方法
技术领域
本发明属于一种功能高分子材料的制备方法,特别是一种聚酰亚胺/粘土感光纳米复合材料的制备方法。
背景技术
聚酰亚胺是一类具有优良的热稳定性、化学稳定性、介电性能和机械性能的高性能聚合物材料,在航天工业和微电子工业等现代高技术领域有非常重要的应用。例如在微电子制造工业中,用作各类器件钝化保护和层间介电等。在这些方面的研究中,聚酰亚胺层必须形成微细的联接通孔或联接窗口。传统的做法是在非光敏性的聚酰亚胺膜上涂上一层光刻胶,然后曝光得到光刻胶图形,以光刻胶图作掩蔽层,采用腐蚀剂腐蚀下层的聚酰亚胺,再除去光刻胶层,才能得到聚酰亚胺图形,这个工艺过程繁琐低效。目前微电子工业对感光聚酰亚胺包括机械性能、热稳定性能以及线膨胀系数等的综合性能要求越来越高,因此,研究和开发具有较高综合性能的光敏聚酰亚胺材料意义深远。Journal of Polymer SciencePart APolymer Chemistry,31,2493-2498(1993)研究发现,将一定量的有机化粘土均匀的分散于聚酰亚胺中,所得聚酰亚胺/粘土纳米复合材料具有优良的气体阻隔性能和较低的线膨胀系数。

发明内容
本发明从提高材料综合性能的角度出发,合成了一种新型聚酰亚胺/粘土感光纳米复合材料。由于复合材料中含有大量剥离的粘土片层,在不影响材料光刻性能的同时,能有效提高材料的热稳定性、化学稳定性和机械性能,降低材料的线膨胀系数,将会在微电子制造领域有着良好的应用前景。
本发明聚酰亚胺/粘土感光纳米复合材料的制备方法如下将有机化粘土均匀的分散于25ml-100ml间甲酚溶剂中,其重量百分比为二酐及二胺单体总重的1%-5%,升温至50℃-100℃,剧烈搅拌30分钟,降至室温,再向其中加入等当量的二酐单体和二胺单体,其用量为0.005mol-0.02mol,以及催化剂异喹啉,异喹啉用量为0.05ml-0.2ml,在室温下搅拌1-2小时至两单体完全溶解,然后在氮气保护下升温至180℃继续反应1-2小时,得到聚酰亚胺/粘土感光纳米复合材料的间甲酚溶液。
本发明使用的二酐单体包括二苯酮四羧酸二酐、二苯酮基苯四羧酸二酐、二苯氧基二苯酮四羧酸二酐、蒽醌四羧酸二酐、呫吨酮四羧酸二酐、硫代呫吨酮四羧酸二酐。
本发明使用的二胺单体包括4,4′-二氨基-3,3′-二甲基二苯甲烷;4,4′-二氨基-3,3′-二乙基-二苯甲烷;4,4′-二氨基-3,3′-二丙基二苯甲烷;4,4′-二氨基-3,3′-二异丙基-二苯甲烷;4,4′-二氨基-3,3′-二甲硫基二苯甲烷;4,4′-二氨基-3,3′-二乙硫基-二苯甲烷;4,4′-二氨基-3,3′-二丙硫基二苯甲烷;4,4′-二氨基-3,3′-二异丙硫基-二苯甲烷;4,4′-二氨基-3,3′,5,5′-四甲基-二苯甲烷;4,4′-二氨基-3,3′,5,5′-四乙基二苯甲烷;4,4′-二氨基-3,3′,5,5′-四丙基-二苯甲烷;4,4′-二氨基-3,3′,5,5′-四异丙基二苯甲烷;4,4′-二氨基-3,3′,5,5′-四甲硫基-二苯甲烷;4,4′-二氨基-3,3′,5,5′-四乙硫基二苯甲烷;4,4′-二氨基-3,3′,5,5′-四丙硫基-二苯甲烷;4,4′-二氨基-3,3′,5,5′-四异丙硫基二苯甲烷。
本发明聚酰亚胺/粘土感光纳米复合材料的聚合反应方程式可表示为 其中,Ar为 (X=O,S)R为-CH3,-CH2CH3,-CH2CH2CH3,-CH(CH3)2,-SCH3,-SCH2CH3,-SCH2CH2CH3,-SCH(CH3)2;R′为-H,-CH3,-CH2CH3,-CH2CH2CH3,-CH(CH3)2,-SCH3,-SCH2CH3,-SCH2CH2CH3,-SCH(CH3)2。
将本发明制备的聚酰亚胺/粘土感光纳米复合材料的间甲酚溶液涂膜于玻璃板上,置于真空烘箱中进行热处理70℃12小时、120℃4小时、200℃4小时、260℃2小时、280℃2小时,得到聚酰亚胺/粘土感光纳米复合材料的薄膜,测试其各种性能。
本发明制备的聚酰亚胺/粘土感光纳米复合材料经X射线衍射、透射电子显微镜表征其结构。通过调节上述结构中的Ar,R和R′和选择不同的有机化粘土,可以得到多种聚酰亚胺/粘土感光纳米复合材料。
具体实施例方式以下的实例是对本发明的进一步说明,而不是限制本发明的范围。
实例1将0.0274克(二酐及二胺单体总重的1%)十六烷基季铵盐有机化蒙脱土分散于25ml间甲酚中,升温至100℃,同时剧烈搅拌30分钟。待溶液降至室温,向其中加入1.61克(0.005mol)二苯酮四羧酸二酐和1.13克(0.005mol)4,4′-二氨基-3,3′-二甲基二苯甲烷,继续搅拌大约2小时至两单体完全溶解,加入0.05ml异喹啉,然后在氮气保护下升温至180℃,继续反应2小时。反应结束,得到聚酰亚胺/粘土感光纳米复合材料的间甲酚溶液。
将上述制备的聚酰亚胺/粘土感光纳米复合材料的间甲酚溶液泼膜于玻璃板上,置于真空烘箱中进行热处理70℃12小时,120℃4小时,200℃4小时,260℃ 2小时,280℃2小时。得到聚酰亚胺/粘土感光纳米复合材料的薄膜。下表为相同化学组成的聚酰亚胺与上述复合材料的性能比较表。
TdTg模量 拉伸强度 断裂伸长线膨胀系数 吸水率(℃) (℃) (MPa) (MPa) 率(%) (×10-5K-1) (%)感光聚酰亚胺522 270 3.68 113.1 4.5 4.650.87感光复合材料541 273 4.37 124.5 4.7 3.700.8权利要求
1.聚酰亚胺/粘土感光纳米复合材料的制备方法,其特征在于将有机化粘土均匀的分散于25ml-100ml间甲酚溶剂中,其重量百分比为二酐及二胺单体总重的1%-5%,升温至50℃-100℃,剧烈搅拌30分钟,降至室温,再向其中加入等当量的二酐单体和二胺单体,其用量为0.005mol-0.02mol,以及催化剂异喹啉,异喹啉用量为0.05ml-0.2ml,在室温下搅拌1-2小时至两单体完全溶解,然后在氮气保护下升温至180℃继续反应1-2小时,得到聚酰亚胺/粘土感光纳米复合材料的间甲酚溶液。
2.根据权利要求1所述的聚酰亚胺/粘土感光纳米复合材料的制备方法,其特征在于二酐单体包括二苯酮四羧酸二酐、二苯酮基苯四羧酸二酐、二苯氧基二苯酮四羧酸二酐、蒽醌四羧酸二酐、呫吨酮四羧酸二酐、硫代呫吨酮四羧酸二酐。
3.根据权利要求1所述的聚酰亚胺/粘土感光纳米复合材料及其制备方法,其特征在于二胺单体包括4,4′-二氨基-3,3′-二甲基二苯甲烷;4,4′-二氨基-3,3′-二乙基-二苯甲烷;4,4′-二氨基-3,3′-二丙基二苯甲烷;4,4′-二氨基-3,3′-二异丙基-二苯甲烷;4,4′-二氨基-3,3′-二甲硫基二苯甲烷;4,4′-二氨基-3,3′-二乙硫基-二苯甲烷;4,4′-二氨基-3,3′-二丙硫基二苯甲烷;4,4′-二氨基-3,3′-二异丙硫基-二苯甲烷;4,4′-二氨基-3,3′,5,5′-四甲基-二苯甲烷;4,4′-二氨基-3,3′,5,5′-四乙基二苯甲烷;4,4′-二氨基-3,3′,5,5′-四丙基-二苯甲烷;4,4′-二氨基-3,3′,5,5′-四异丙基二苯甲烷;4,4′-二氨基-3,3′,5,5′-四甲硫基-二苯甲烷;4,4′-二氨基-3,3′,5,5′-四乙硫基二苯甲烷;4,4′-二氨基-3,3′,5,5′-四丙硫基-二苯甲烷;4,4′-二氨基-3,3′,5,5′-四异丙硫基二苯甲烷。
全文摘要
本发明公开了一种聚酰亚胺/粘土感光纳米复合材料的制备方法。以二酐及二胺单体和有机化粘土为原料,利用原位聚合方法制备而成的聚酰亚胺/粘土感光纳米复合材料与同化学组成的感光材料相比,其热稳定性能、机械性能都有所提高,线膨胀系数有一定程度的下降,将在感光聚酰亚胺领域有着广泛的应用前景。
文档编号C08L77/00GK1424355SQ0215772
公开日2003年6月18日 申请日期2002年12月25日 优先权日2002年12月25日
发明者梁竹梅, 印杰 申请人:上海交通大学
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1