技术特征：
1.一种半导体用树脂组合物，其是含有(a)环氧化合物、(b)无机粒子、(c)聚酰亚胺及(d)溶剂的半导体用树脂组合物，其特征在于，在从所述半导体用树脂组合物的总重量中除去所述(d)溶剂的重量而得到的全部固态成分的重量中，所述(b)无机粒子的比例为60重量％以上、92重量％以下，所述半导体用树脂组合物还含有(e)橡胶粒子。2.如权利要求1所述的半导体用树脂组合物，其特征在于，所述(c)聚酰亚胺具有通式(2)或通式(3)表示的结构、并且在侧链上具有至少一个可与环氧基反应的官能团、并且具有通式(1)表示的结构作为通式(2)及通式(3)中的R4，通式(1)表示的结构相对于(c)聚酰亚胺总量为5～15重量％；式(1)中，R1为2价的烃基，R2为1价的烃基；n表示1～10的整数；式(2)和式(3)中，R3为4～14价的有机基团，R4为2～12\t价的有机基团，R3、R4中的至少一个含有至少一个选自1,1,1,3,3,3－六氟丙基、异丙基、醚基、硫醚基及SO2基中的基团；R5及R6表示具有至少一个选自酚式羟基、磺酸基及巯基中的基团的有机基团；X表示1价的有机基团；m为8～200；α及β分别表示0～10的整数，α+β为0～10的整数；其中，在重复数为m的结构单元中，α+β为1～10的整数的结构单元为20～90摩尔％。3.如权利要求1或2所述的半导体用树脂组合物，其特征在于，所述(c)聚酰亚胺为有机溶剂可溶性。4.如权利要求1～3中任一项所述的半导体用树脂组合物，其特征在于，所述(b)无机粒子的平均粒径为10nm以上、5μm以下。5.如权利要求1～4中任一项所述的半导体用树脂组合物，其特征在于，所述(e)橡胶粒子的平均粒径小于或等于所述(b)无机粒子的平均粒径。6.如权利要求1～5中任一项所述的半导体用树脂组合物，其特征在于，所述(a)环氧化合物含有液态环氧化合物及固态环氧化合物，在(a)环氧化合物的重量中，液态环氧化合物的比例为10～50重量％。7.如权利要求6所述的半导体用树脂组合物，其特征在于，相对于100重量份的所述液态环氧化合物，所述(e)橡胶粒子为2～100重量份。8.如权利要求1～7中任一项所述的半导体用树脂组合物，其特征在于，所述(e)橡胶粒子为核壳橡胶粒子。9.一种半导体用树脂膜，其是在支承体上具有半导体用树脂层的半导体用树脂膜，所述半导体用树脂层含有(a)环氧化合物、(b)无机粒子、(c)聚酰亚胺，所述半导体用树脂膜的特征在于，在所述半导体用树脂层的重量中，所述(b)无机粒子的比例为60重量％以上、92重量％以下，所述半导体用树脂层还含有(e)橡胶粒子。10.如权利要求9所述的半导体用树脂膜，其特征在于，所述(c)聚酰亚胺具有通式(2)或通式(3)表示的结构、并且在侧链\t上具有至少一个可与环氧基反应的官能团、并且具有通式(1)表示的结构作为通式(2)及通式(3)中的R4，通式(1)表示的结构相对于所述(c)聚酰亚胺总量为5～15重量％；式(1)中，R1为2价的烃基，R2为1价的烃基；n表示1～10的整数；式(2)和式(3)中，R3为4～14价的有机基团，R4为2～12价的有机基团，R3、R4中的至少一个含有至少一个选自1,1,1,3,3,3－六氟丙基、异丙基、醚基、硫醚基及SO2基中的基团；R5及R6表示具有至少一个选自酚式羟基、磺酸基及巯基中的基团的有机基团；X表示1价的有机基团；m为8～200；α及β分别表示0～10的整数，α+β为0～10的整数；其中，在重复数为m的结构单元中，α+β为1～10的整数的结构单元为20～90摩尔％。11.如权利要求9或10所述的半导体用树脂膜，其特征在于，所述(c)聚酰亚胺为有机溶剂可溶性。12.如权利要求9～11中任一项所述的半导体用树脂膜，其特征在于，所述(b)无机粒子的平均粒径为10nm以上、5μm以下。13.如权利要求9～12中任一项所述的半导体用树脂膜，其特征在于，所述(e)橡胶粒子的平均粒径小于或等于所述(b)无机粒子的平均粒径。14.如权利要求9～13中任一项所述的半导体用树脂膜，其特征在于，所述(a)环氧化合物含有液态环氧化合物及固态环氧化合物，在所述(a)环氧化合物的重量中，液态环氧化合物的比例为10～50重量％。15.如权利要求14所述的半导体用树脂膜，其特征在于，相对于100重量份的所述液态环氧化合物，所述(e)橡胶粒子为2～100重量份。16.如权利要求9～15中任一项所述的半导体用树脂膜，其特征在于，所述(e)橡胶粒子为核壳橡胶粒子。17.一种半导体器件，其具有从权利要求1～8中任一项所述的半导体用树脂组合物中除去了(d)溶剂而得到的组合物的固化物或权利要求9～16中任一项所述的半导体用树脂层的固化物。