专利名称：剥离性粘合剂组合物的制作方法
技术领域：
本发明涉及剥离性粘合剂组合物。
背景技术：
在现有技术中，在对例如晶片等的从外部施加的力容易造成变形和破损的薄板材料的表面实施例如研磨等的加工时，是将薄板材料通过粘合剂固定在支撑用基底材料上进行加工，将加工完成后的材料从粘合剂和支撑用基底材料剥离，通过该方法得到加工过的薄板材料。
对用于这种用途的粘合剂，要求其具有粘接性，以在加工作业中能够将薄板材料牢固地固定在支撑用基底材料上，以及优异的剥离性，以将加工完成后的材料从粘合剂和支撑用基底材料上容易地剥离。
但是，在现有技术中没有发现在用于这种用途时，粘接性和剥离性都优异的粘合剂组合物。
发明内容
本发明的目的是提供粘接性和剥离性均优异的粘合剂组合物。
本发明的发明者为完成上述课题进行了专门研究，结果发现如果粘合剂组合物含有具有粘着性的树脂和由活性能量线照射产生气体的化合物时，发现其具有固定作为想要加工的材料的被粘附体所需的粘接性，而加工后通过用活性能量线照射产生气体，可容易地剥离被粘附体。
本发明的发明者基于这种发现，进一步反复进行了各种研究，直至完成了本发明。
即本发明提供如下所述的剥离性粘合剂组合物。
1.一种剥离性粘合剂组合物，其特征在于含有具有粘着性的树脂和由活性能量线照射产生气体的化合物。
2.如上述第1项所记载的剥离性粘合剂组合物，其中具有粘着性的树脂为感光性树脂。
3.如上述第1项或第2项所记载的剥离性粘合剂组合物，其中由活性能量线照射产生气体的化合物为醌重氮磺酸酯(キノンジアジドスルホン酸エステル )。
4.如上述第1项到第3项中任一项所记载的剥离性粘合剂组合物，其中具有粘着性的树脂和由活性能量线照射产生气体的化合物的使用比例为，相对于100重量份该树脂，该化合物为1到100重量份。
以下对本发明的剥离性粘合剂组合物进行详细说明。
剥离性粘合型组合物本发明的剥离性粘合剂组合物含有具有粘着性的树脂和由活性能量线照射产生气体的化合物。因此，对于采用本组合物粘接的被粘附体，通过用紫外线等的活性能量线对其粘接层进行照射产生气体，由该产生的气体可以容易地将粘接层和被粘附体剥离。
作为具有粘着性的树脂，优选是在-50～+150℃，特别是-40～+120℃的温度下具有粘着性的树脂。另外，该粘着性优选的是例如其粘接力(kgf/cm2)在5～40，特别是在7～30的范围内。
作为具有粘着性的树脂，可以是热塑性树脂，也可以是固化性树脂。作为热塑性树脂，包括例如丙烯酸树脂、氨基甲酸酯树脂、聚酯树脂、酚醛树脂清漆及其衍生物、聚乙烯基苯酚及其衍生物、硅树脂及其衍生物。而作为固化性树脂包括例如在上述任何一种树脂中导入聚合性不饱和基的树脂。
作为上述固化性树脂，也可以是在以下所述的紫外线等的活性能量线的作用下可固化的、具有粘着性的感光性树脂组合物中使用的具有粘着性的感光性树脂。此时，如果需要，可以适宜地添加光聚合引发剂、光增感染料等。
作为由活性能量线照射产生气体的化合物，可适合使用例如醌重氮磺酸酯。
醌重氮磺酸酯为在活性能量线照射下产生氮气的感光性化合物，其产生的氮气形成气泡，可以使粘接层剥离。
作为醌重氮磺酸酯，可适合使用多羟基二苯甲酮与1，2-苯醌重氮磺酸、1，2-萘醌重氮磺酸等的1，2-醌重氮磺酸类的酯化物。
在形成该酯时使用的多羟基二苯甲酮包含下式(I)表示的化合物。
式中，m和n分别表示0到3的整数，m+n之和为1到6。
作为多羟基二苯甲酮的具体实例可以举出2，3，4-三羟基二苯甲酮、2，3，4，4’-四羟基二苯甲酮等。
另一方面，与多羟基二苯甲酮发生酯化反应的1，2-苯醌重氮磺酸包含下式(II)表示的化合物，而1，2-萘醌重氮磺酸包含下式(III)表示的化合物。
作为1，2-苯醌重氮磺酸的具体实例可以举出1，2-苯醌重氮-4-磺酸。作为1，2-萘醌重氮磺酸的具体实例可以举出1，2-萘醌重氮-5-磺酸、1，2-萘醌重氮-4-磺酸等。
上述多羟基二苯甲酮和1，2-醌重氮磺酸类发生的酯化反应可以根据其本身已知的方法，例如多羟基二苯甲酮和1，2-醌重氮磺酸类或者其卤化物(例如氯化物)发生反应来进行。此时二者的反应比率没有特别的限制，一般优选的是对于多羟基二苯甲酮的羟基数q，使1，2-醌重氮磺酸类为1～q分子，以该比例进行反应。上述多羟基二苯甲酮和1，2-醌重氮磺酸类或者其卤化物可以单独使用，也可以将2种以上混合使用。
在本发明的粘合剂组合物中，具有粘着性的树脂和由活性能量线照射产生气体的化合物的使用比例通常为对于100重量份的该树脂，该化合物为1～100重量份，优选为5～50重量份。
本发明的粘合剂组合物可通过将具有粘着性的树脂和由活性能量线照射产生气体的化合物溶解或分散在介质中进行配制。
作为介质，可以将水、有机溶剂等的各种溶剂的一种或两种以上组合使用。作为有机溶剂可以使用，例如烃类溶剂、醇类溶剂、醚类溶剂、酮类溶剂、酯类溶剂、酰胺类溶剂等的各种溶剂。
材料的加工方法本发明的剥离性粘合剂组合物适合作为，在支撑用基底材料上粘接作为想要加工的材料的被粘附体，并在加工后，从支撑用基底材料剥离该材料时使用的粘接剂。
使用上述粘合剂组合物的材料的加工方法优选为以下的方法。
即，通过包括(1)通过本发明的剥离性粘合剂组合物层和具有粘着性的感光性树脂组合物层，将想要加工的材料的非加工表面固定在具有透明性的支撑用基底材料上的步骤，(2)对固定好的上述材料进行加工的步骤，(3)随后，通过从上述支撑用基底材料的外侧照射活性能量线而产生气体，由此剥离、取出加工好的材料的步骤的加工方法，可合适地对各种材料进行加工。
步骤(1)在步骤(1)中，通过在想要加工的材料的非加工表面上形成的本发明的剥离性粘合剂组合物层和具有粘着性的感光性树脂组合物层，将该材料固定在具有透明性的支撑用基底材料上。
作为上述想要加工的材料，可以使用例如必需进行研磨等的各种加工的各种材料，没有特别的限制。
上述材料的材质可以为塑料、金属、玻璃、纤维、纸等的任何一种，其形状可以为薄膜状、板状、线状、球状、圆盘状、圆锥状、长方体状以及这些形状组合而成的形状等的任何一种形状。特别是从外部施加的力易产生变形和破损的薄板状等的材料，作为必需进行研磨等的加工的材料可优选使用。
具体材料可以举出例如晶片等的电子材料。
在上述步骤(1)中使用的具有粘着性的感光性树脂组合物，适合使用通过紫外线等的活性能量线固化的水性或有机溶剂型树脂组合物，其含有具有粘着性的感光性树脂，根据需要还含有光聚合引发剂、光增感染料等。
具有粘着性的感光性树脂优选为在-50～+150℃，特别是在-40～+120℃的温度下具有粘着性的感光性树脂。该粘着性优选的是例如其粘接力(kgf/cm2)在5～40，特别是在7～30的范围内。
上述具有粘着性的感光性树脂的具体实例举例如下。
(i)具有(甲基)丙烯酰基等的聚合性基团作为感光性基团的感光性树脂上述感光性树脂(i)可以通过在含有羧基的丙烯酸类树脂上加成含有缩水甘油基的聚合性不饱和化合物的方法制造出来。
此时所使用的含羧基的丙烯酸类树脂，以例如丙烯酸、甲基丙烯酸等的α，β-乙烯性不饱和酸作为必需的单体成分，可通过将其与从例如(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸丙酯、(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸2-乙基己基酯、(甲基)丙烯酸羟乙酯等的(甲基)丙烯酸酯类；苯乙烯，(甲基)丙烯腈，(甲基)丙烯酰胺等中选取的至少一种不饱和单体共聚合得到。
另外，作为与上述含有羧基的丙烯酸类树脂加成的含缩水甘油基的聚合性不饱和化合物，可以举出例如丙烯酸缩水甘油酯，甲基丙烯酸缩水甘油酯，烯丙基缩水甘油醚等。
上述含羧基的丙烯酸类树脂和含缩水甘油基的不饱和化合物的加成反应，可根据其本身已知的方法，例如通过在四乙基溴化铵等的催化剂的存在下，在80～120℃的温度下反应1～5小时，可以容易地进行。
此外，上述感光性树脂(i)也可以通过将含羟基的聚合性不饱和化合物与二异氰酸酯化合物的反应产物加成在含羟基的丙烯酸类树脂上来制造。
上述含羟基的聚合性不饱和化合物，可举出例如丙烯酸2-羟乙酯，甲基丙烯酸2-羟乙酯、丙烯酸2-羟丙酯等的(甲基)丙烯酸羟烷基酯；N-羟甲基丙烯酰胺等。
另外，作为二异氰酸酯化合物可举出例如甲苯基二异氰酸酯、二甲苯基二异氰酸酯、1，6-己二异氰酸酯、赖氨酸二异氰酸酯等。
此外，作为含羟基的丙烯酸类树脂可以使用这样的树脂，其以上述含羟基的聚合性不饱和化合物作为必需的单体成分，通过将该单体成分与从例如(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸丙酯、(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸2-乙基己基酯、(甲基)丙烯酸羟乙酯等的(甲基)丙烯酸酯类；苯乙烯，(甲基)丙烯腈，(甲基)丙烯酰胺等中选取的至少一种不饱和单体共聚合得到。
将上述含羟基的聚合性不饱和化合物和二异氰酸酯化合物基本上以等摩尔比进行反应。所得的反应产物和含羟基的丙烯酸类树脂的加成反应可按照其本身已知的方法，在氮气气氛中，在50～100℃的温度下进行反应。
而且，在上述感光性树脂(i)中，含烯丙基作为感光性基团的感光性树脂可通过在上述含羟基的丙烯酸类树脂上加成(甲基)烯丙基醇和二异氰酸酯类化合物的反应产物得到。
(ii)含肉桂酰基作为感光性基团的感光性树脂可通过将例如含羟基的丙烯酸类树脂与取代或未取代的肉桂酸卤化物，在碱的存在下，例如在吡啶溶液中进行反应来制造上述感光性树脂(ii)。
上述含羟基的丙烯酸类树脂可使用上述(i)中叙述的树脂。
取代或未取代的肉桂酸卤化物包括苯环上有1～3个从硝基、低级烷氧基等中选取的取代基的肉桂酸卤化物，更具体地可以举出例如肉桂酸氯化物、对硝基肉桂酸氯化物、对甲氧基肉桂酸氯化物、对乙氧基肉桂酸氯化物等。
取代或未取代的肉桂酸卤化物的使用量范围一般可以为相对于每100重量份上述含羟基的丙烯酸类树脂，为6～180重量份，优选30～140重量份。上述含羟基的丙烯酸类树脂和取代或未取代的肉桂酸卤化物的反应可以根据其本身已知的方法，例如在如吡啶溶剂这样的碱的存在下，在30～70℃的温度下进行。
(iii)其它类型的感光性树脂作为其它类型的感光性树脂，还可以使用聚乙二醇二丙烯酸酯、聚丙二醇二丙烯酸酯等的预聚物作为感光性树脂。
在具有粘着性的感光性树脂组合物中，根据需要采用的光聚合引发剂可以使用现有技术中公知的引发剂，例如2-甲基-1-[4-(甲硫基)苯基]-2-吗啉代丙烷-1-酮、2-苄基-2-二甲胺基-1-(4-吗啉代苯基)-丁酮-1、2，2-二甲氧基-1，2-二苯基乙烷-1-酮、二(2，4，6-三甲基苯甲酰基)-苯基膦氧化物、二(2，6-二甲氧基苯甲酰基)-2，4，4-三甲基戊基膦氧化物、2-羟基-2-甲基-1-苯基-丙烷-1-酮、1-羟基环己基-苯基酮、对二甲胺基安息香酸、2，4-二乙基噻吨酮、异丙基噻吨酮等。作为市售产品，可举出例如Lucirin TPO(BASF公司制造、商品名)、Irg907、Irg369、Irg651、Irg819、Irg1700、Irg1800、Irg1850、DAROCURE 1173(以上为チバ·スペシヤルテイ·ケミカルズ公司制造、商品名)、KAYACURE DMBI、KAYACURE DETX(以上为日本化药公司制造、商品名)、SPEED CURE ITX(日本シイベルヘグナ一公司制造、商品名)等。
光聚合引发剂的使用比例合适的是对于100重量份感光性树脂，为10重量份以下，优选在0.1～5重量份的范围内。
在具有粘着性的感光性树脂组合物中，根据需要采用的光增感染料可以使用现有技术中公知的染料。具体地，可以采用例如酚噻嗪类染料、蒽类染料、六苯并苯类染料、苯并蒽类染料、二萘嵌苯类染料、芘类染料、部花青类染料、氧代香豆素(ケトクマリン)类染料等光增感染料。这些光增感染料的使用比例合适的是对于100重量份感光性树脂为10重量份以下，优选在0.1～5重量份的范围内。
在具有粘着性的感光性树脂组合物中，根据需要还可适当地含有乙烯性不饱和化合物、着色剂、塑化剂、平滑剂等。作为该乙烯性不饱和化合物，可以使用含1～4个乙烯性不饱和基团的单体等。
可通过将具有粘着性的感光性树脂和根据需要采用的光聚合引发剂、光增感染料等溶解或分散在溶剂中，来配制具有粘着性的感光性树脂组合物。
作为溶剂，可以将水、有机溶剂等的各种溶剂的一种或两种以上组合使用。作为有机溶剂，可以使用例如烃类溶剂、醇类溶剂、醚类溶剂、酮类溶剂、酯类溶剂、酰胺类溶剂等的各种溶剂。
在步骤(i)中的上述支撑用基底材料，通过剥离性粘合剂组合物层和具有粘着性的感光性树脂组合物层固定想要加工的材料，由此在进行例如研磨等的加工时，所施加的力不会造成该材料变形和破损。所采用的这种支撑用基底材料，可牢固地固定该材料，并具有使紫外线等的活性能量线透过的透明性。
支撑用基底材料的透明性是必要的，因为在步骤(3)中，从支撑用基底材料的外侧(与剥离性粘合剂组合物层和感光性组合物层相对的反方向)照射的活性能量线透过，使包含在剥离性粘合剂组合物层中的、由活性能量线照射产生气体的化合物分解，产生气体。但也没必要是无色透明的，如果对由活性能量线透过所引起的气体的产生没有实质上的阻碍，该基底材料还可以含有着色剂和填充剂等。
由上述步骤(1)可以得到以下列顺序想要加工的材料/剥离性粘合剂组合物层/具有粘着性的感光性树脂组合物层/支撑用基底材料层叠的的层叠体。
可通过如下的方法a获得该层叠体在想要加工的材料的非加工表面涂布剥离性粘合剂组合物并干燥，形成该粘合剂组合物层，在该粘合剂组合物层上涂布具有粘着性的感光性树脂组合物并干燥，形成该树脂组合物层，然后在该树脂组合物层上贴附支撑用基底材料。
此外，也可以通过如下的方法b获得上述层叠体将在上述材料的非加工表面上已形成剥离性粘合剂组合物层的产品，以及在支撑用基底材料上已形成具有粘着性的感光性树脂组合物膜的产品贴合在一起形成。
在上述方法b中，剥离性粘合剂组合物层的形成方式可以采用和方法a一样的方式进行。具有粘着性的感光性树脂组合物膜的形成方式，也可以采用和方法a一样的方式进行，也可以采用这样的方式进行预先在可脱离的薄板上涂布该感光性树脂组合物，并使其干燥，形成该感光性树脂组合物膜，此后将支撑用基底材料的表面和可脱离的薄板上的该树脂组合物膜相接触地贴附在一起，从可脱离的薄板的表面(与该感光性树脂组合物膜相对的反方向)进行按压，随后剥离该可脱离的薄板。
由上述步骤(1)得到的、按照顺序想要加工的材料/剥离性粘合剂组合物层/具有粘着性的感光性树脂组合物层/支撑用基底材料顺次层压的层叠体的制作方法不受上述的方法a、方法b等的限制，只要能得到该层叠体，可以任何次序进行制作。
在上述步骤(1)中，剥离性粘合剂组合物层或具有粘着性的感光性树脂组合物层的涂布可以采用例如辊、辊涂机、旋涂机、刮刀式涂布机、喷雾器、刷毛等公知的涂布器实施。涂布后的干燥条件可根据所用的各组合物的组分适当地进行设定。
在上述层叠体中，剥离性粘合剂组合物层的厚度通常为1～50μm，优选为2～30μm是合适的。此外，在上述层叠体中，具有粘着性的感光性树脂组合物层的厚度通常为1～200μm，优选为2～100μm是合适的。
步骤(2)步骤(2)是对步骤(1)中已固定了的想要加工的材料进行加工的步骤。在该步骤中，对上述材料的想要加工的表面实施例如研磨等的各种加工。实施该加工时，材料通过剥离性粘合剂组合物层和具有粘着性的感光性树脂组合物层牢固地固定在支撑用基底材料上，因此可以充分地进行所需的加工。
步骤(3)步骤(3)是通过从步骤(2)加工后的上述层叠体的支撑用基底材料的外侧照射活性能量线而产生气体，由此剥离和取出已加工的材料的步骤。
在该步骤中，从按照顺序想要加工的材料/剥离性粘合剂组合物层/具有粘着性的感光性树脂组合物层/具有透明性的支撑用基底材料层压的层叠体的支撑用基底材料的外侧(与剥离性粘合剂组合物层及感光性树脂组合物层相对的反方向)照射活性能量线，由此使感光性树脂组合物层固化，降低表面的粘着性或者使其不具有粘着性，同时由存在于该固化了的感光性树脂组合物层面和材料面之间的剥离性粘合剂组合物层中的、由活性能量线照射产生气体的化合物分解所产生的气体，使固化了的感光性树脂组合物层面变为粗糙面，从而可容易地将加工处理好的材料剥离。
上述活性能量线可以采用以例如超高压、高压、中压、低压的水银灯、化学灯、碳弧灯、氙灯、金属卤化物灯、钨灯等为光源的紫外线和可见光线。而活性能量线的照射量通常在500～10,000J/m2的范围内为合适。
根据本发明，可以获得如下的显著效果。
(a)本发明的剥离性粘合剂组合物具有为了对想要加工的材料进行加工而将其固定所需的粘接性，而且在加工后，通过活性能量线照射可容易地进行剥离，具有优异的剥离性。
(b)根据采用本发明剥离性粘合剂组合物的材料的加工方法，在将想要加工的材料通过该剥离性粘合剂组合物层和具有粘着性的感光性树脂组合物层固定在具有透明性的支撑用基底材料上后进行加工，加工后仅从该支撑用基底材料的外侧(与剥离性粘合剂组合物层和具有粘着性的感光性树脂组合物层相对的反方向)照射活性能量线，就可以使感光性树脂组合物层固化以及从剥离性粘合剂组合物层产生气体，由此可容易地将加工后的材料剥离。
(c)因此，在例如晶片等的从外部施加力时容易产生变形和破损的薄板材料的表面上实施例如研磨等的加工时，可以非常合适地采用使用本发明的剥离性粘合剂组合物的上述加工方法。
具体实施形式以下通过制造例、实施例、试验例和比较试验例对本发明进行更详细地说明。但是本发明不限于这些实施例。各例子中的“份”和“％”表示的是“重量份”和“％重量”。
制造例1制造具有甲基丙烯酰基作为感光性基团的感光性树脂在氮气气氛下，用3小时将由40份甲基丙烯酸甲酯，40份丙烯酸丁酯，20份丙烯酸和2份偶氮二异丁腈构成的混合液滴加到保持在110℃温度下的90份丙二醇单甲醚中。滴完后，熟化1小时，用1小时滴加由1份偶氮二异丁腈和10份丙二醇单甲醚构成的混合液，进一步熟化5小时，得到丙烯酸树脂溶液。
随后，向该溶液中加入24份甲基丙烯酸缩水甘油酯、0.12份氢醌和0.6份四乙基溴化铵，一边吹入空气，一边在110℃温度下反应5小时，得到玻璃化转变温度为20℃、数均分子量为约20,000的具有甲基丙烯酰基的感光性树脂溶液。
制造例2感光性树脂组合物的制造向100份由制造例1得到的感光性树脂(固态成分)中加入作为光引发剂的、溶解在20份丙二醇单甲醚醋酸酯中的2份2-甲基-1-[4-(甲硫基)苯基]-1-吗啉代丙烷-1-酮(商品名“Irg907”，チバスペシヤルテイ一ケミカルズ公司制造)和0.5份2，4-二乙基噻吨酮(商品名“Kayacure DETX”，日本化药株式会社制造)的溶液，用机械搅拌器进行搅拌，得到感光性树脂组合物1。
实施例1向100份由制造例1得到的感光性树脂(固态成分)中加入作为由活性能量线照射产生氮气的醌重氮类的感光性化合物的、溶解在50份丙二醇单甲醚醋酸酯中的10份2-羟基-3，4-二(6-重氮-5，6-二氢-5-氧代-1-萘磺酰氧基)-二苯甲酮的溶液。
进一步向其中加入作为光聚合引发剂的、溶解在20份丙二醇单甲醚醋酸酯中的2份2-甲基-1-[4-(甲硫基)苯基]-2-吗啉代丙烷-1-酮(商品名“Irg907”，チバスペシヤルテイ一ケミカルズ社制造)和0.5份2，4-二乙基噻吨酮(商品名“Kayacure DETX”，日本化药株式会社制造)的溶液，用机械搅拌器进行搅拌，得到本发明的剥离性粘合剂组合物1。
实施例2除了将实施例1中的2-羟基-3，4-二(6-重氮-5，6-二氢-5-氧代-1-萘磺酰氧基)-二苯甲酮的使用量改为30份之外，采用和实施例1一样的方法获得本发明的剥离性粘合剂组合物2。
实施例3除了在实施例1中使用等量的对乙烯基苯酚和苯乙烯的共聚物(商品名“マルカリンカ一CST15”，丸善石油化学公司制造)代替制造例1得到的感光性树脂之外，采用和实施例1一样的组成，获得本发明的剥离性粘合剂组合物3。
实施例4除了在实施例1中使用等量的丙烯酸树脂乳液(商品名“ビニプラン7043”，日信化学工业公司制造)代替制造例1得到的感光性树脂之外，采用和实施例1一样的组成，获得本发明的剥离性粘合剂组合物4。
对由实施例1～4获得的本发明粘合剂组合物1～4进行以下的试验，考查其对晶片的粘接性和剥离性。
试验例1在8英寸的晶片上，采用旋涂机涂布由实施例1得到的剥离性粘合剂组合物1，并使其干燥后的膜厚为5μm，在热板上、以65℃加热干燥2分钟。
进一步采用旋涂机在该膜上涂布由制造例2得到的感光性树脂组合物1，并使其干燥后的膜厚为15μm，在热板上、以65℃加热干燥2分钟。此后，用0.4MPa的压力，在它上面压接作为支撑用基底材料的玻璃板。
由此可以得到按照顺序晶片/剥离性粘合剂组合物1的层/感光性树脂组合物1的层/玻璃板层压的层叠体。
将上述层叠体的晶片表面用市售的双面胶带固定在作业台上，并采用吸盘使玻璃板的外侧结合在弹簧称上，测定初期粘接力(kgf/cm2)之后，用超高压水银灯从玻璃板的外侧照射6,000J/m2的UV光。采用同样的方式测定照射后的粘接力。
初期粘接力为7kgf/cm2，对固定晶片进行研磨的操作来说是足够的，粘接性为良好。粘接性为良好时，意味着粘接力为5kgf/cm2以上。
而紫外线照射后的粘接力为1kgf/cm2，从粘合剂层可容易剥离晶片，剥离性为良好。剥离性为良好时，意味着粘接力为2kgf/cm2以下。
试验例2除了用实施例2中所得的剥离性粘合剂组合物2代替试验例1中的剥离性粘合剂组合物1以外，采用同样的方法测定初期粘接力和紫外线照射后的粘接力。
试验例3除了用实施例3中所得的剥离性粘合剂组合物3代替试验例1中的剥离性粘合剂组合物1以外，采用同样的方法测定初期粘接力和紫外线照射后的粘接力。
试验例4除了用实施例4中所得的剥离性粘合剂组合物4代替试验例1中的剥离性粘合剂组合物1以外，采用同样的方法测定初期粘接力和紫外线照射后的粘接力。
试验例1～4中测定的初期粘接力和紫外线照射后的粘接力的结果示于表1。
表1
比较试验例将8英寸的晶片用市售的双面胶带固定在作为支撑用基底材料的玻璃板上。然后，在对晶片实施研磨操作后实施从玻璃板剥离该晶片的操作时，剥离困难，如果强迫地实施剥离，晶片破损。
权利要求
1.一种剥离性粘合剂组合物，其特征在于其含有具有粘着性的树脂和由活性能量线照射产生气体的化合物。
2.如权利要求1所述的剥离性粘合剂组合物，其中具有粘着性的树脂为感光性树脂。
3.如权利要求1或2所述的剥离性粘合剂组合物，其中由活性能量线照射产生气体的化合物为醌重氮磺酸酯。
4.如权利要求1到3中任一项所述的剥离性粘合剂组合物，其中具有粘着性的树脂和由活性能量线照射产生气体的化合物的使用比例为，对于100重量份该树脂，该化合物为1到100重量份。
全文摘要
本发明提供一种剥离性粘合剂组合物，其特征在于其含有具有粘着性的树脂和由活性能量线照射产生气体的化合物。
文档编号C09J9/00GK1487039SQ03154370
公开日2004年4月7日 申请日期2003年8月20日 优先权日2002年8月28日
发明者竹添浩司, 市川昭人, 田村孝一, 一, 人 申请人:关西涂料株式会社